
рд╣реЛрдо рдЪрд┐рдкреНрд╕ рдХреА рдореЗрд░реА рдкрд░рд┐рдпреЛрдЬрдирд╛ рдкрд░
рдкрд╣рд▓реЗ рд▓реЗрдЦ рдХреЗ рдкреНрд░рдХрд╛рд╢рди рдХреЗ рдмрд╛рдж рд╕реЗ, рдПрдХ рд╕рд╛рд▓ рдмреАрдд рдЪреБрдХрд╛ рд╣реИ (рдмрд▓реНрдХрд┐ рдЙрдбрд╝рд╛рди рднрд░реА), рдпрд╣ рдкреНрд░рдЧрддрд┐ рдФрд░ рдирдИ рд╕рдорд╕реНрдпрд╛рдУрдВ рдХреЛ рд╕рд╛рдЭрд╛ рдХрд░рдиреЗ рдХрд╛ рд╕рдордп рд╣реИред
рдкрд░рд┐рдпреЛрдЬрдирд╛ рдХрд╛ рдкреНрд░рд╛рд░рдВрднрд┐рдХ рд▓рдХреНрд╖реНрдп рд╕реИрдХрдбрд╝реЛрдВ / рд╣рдЬрд╛рд░реЛрдВ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ (рд╕реНрддрд░ 58080 / Z80) рд╕реЗ рдорд┐рд▓рдХрд░ рдШрд░ рдкрд░ рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрдХрд┐рд░реЗрдЯреНрд╕ рдмрдирд╛рдиреЗ рдХрд╛ рддрд░реАрдХрд╛ рд╕реАрдЦрдирд╛ рд╣реИред
рдЗрд╕ рддрдереНрдп рдХреЗ рдХрд╛рд░рдг рдХрд┐ рдкрд░рд┐рдпреЛрдЬрдирд╛ рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХ рд╕рдВрд╕рд╛рдзрдиреЛрдВ рдФрд░ рд╕рдордп рдХреЗ рдорд╛рдорд▓реЗ рдореЗрдВ рдХрд╛рдлреА рдмрдбрд╝реА рд╣реЛ рдЧрдИ рд╣реИ - рдореИрдВрдиреЗ рдПрдХ рдЕрддрд┐рд░рд┐рдХреНрдд рдкрд░рд┐рдгрд╛рдо рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ рдкреНрд░рд╛рдкреНрдд рдХрд░рдиреЗ рдХрд╛ рдлреИрд╕рд▓рд╛ рдХрд┐рдпрд╛, рдПрдХ рдкреНрд░рд▓реЗрдЦрд┐рдд, рдЕрдзрд┐рдХрддрдо рд░реВрдк рд╕реЗ рд╕рд░рд▓ рдУрдкрди-рд╕реЛрд░реНрд╕ рддрдХрдиреАрдХреА рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдЬреЛ рдЖрдкрдХреЛ рд╕реАрдорд┐рдд рдкрд░рд┐рд╕реНрдерд┐рддрд┐рдпреЛрдВ рдореЗрдВ рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрдХреНрд░реЗрд╕реАрдХреЗрдЯ рдмрдирд╛рдиреЗ рдХреА рдЕрдиреБрдорддрд┐ рджреЗрддреА рд╣реИред рд╕рдВрдпреБрдХреНрдд рд░рд╛рдЬреНрдп рдореЗрдВ, рд╢рд╛рдпрдж рдпрд╣ рдХрд┐рдХрд╕реНрдЯрд╛рд░реНрдЯрд░ рдкреНрд░реЛрдЬреЗрдХреНрдЯ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдПрдХ рдЕрдЪреНрдЫрд╛ рдмрд╣рд╛рдирд╛ рд╣реЛрдЧрд╛, рд▓реЗрдХрд┐рди рд╕реНрдкрд╖реНрдЯ рд░реВрдк рд╕реЗ рднрд╛рдЧреНрдп рдирд╣реАрдВ рд╣реЛрдЧрд╛ред
рдЬрдЯрд┐рд▓ рд╕рдорд╕реНрдпрд╛рдУрдВ рдФрд░ рдорд╛рдирд╡реАрдп рд╕реАрдорд╛рдУрдВ рдХреЛ рд╣рд▓ рдХрд░рдиреЗ рдкрд░
рдкрд╣рд▓реЗ рдЫрд╣ рдорд╣реАрдиреЛрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рдореЗрд░реЗ рд╕рд╛рдордиреЗ рдХрд╛рдо рдХрднреА-рдХрднреА рдмрд╕ рдЕрд╕рд╣рдиреАрдп рд▓рдЧрддрд╛ рдерд╛ред рд╣рд░ рдЬрдЧрд╣ рд╕рдм рдХреБрдЫ рд╕реНрдкрд╖реНрдЯ рдирд╣реАрдВ рд╣реИ, рдЙрди рдЪреАрдЬреЛрдВ рдХреА рд╕реВрдЪреА, рдЬрд┐рдиреНрд╣реЗрдВ рдХрд░рдиреЗ рдХреА рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХрддрд╛ рд╣реИ рдпрд╛ рдЬрд┐рдирдХреЗ рд╕рд╛рде рдЖрдкрдХреЛ рдирд┐рдкрдЯрдиреЗ рдХреА рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХрддрд╛ рдЕрдВрддрд╣реАрди рдереАред рдХреЗрд╡рд▓ рдмрд╛рдж рдореЗрдВ рдореИрдВрдиреЗ рдЬрдЯрд┐рд▓ рд╕рдорд╕реНрдпрд╛рдУрдВ рдХреЛ рд╣рд▓ рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдореВрд▓ рд╕рд┐рджреНрдзрд╛рдВрдд рдХреЛ рд╕рдордЭрд╛:
рд╕рд┐рджреНрдзрд╛рдВрдд рд░реВрдк рдореЗрдВ, рдЖрджрдореА рдЬрдЯрд┐рд▓ рд╕рдорд╕реНрдпрд╛рдУрдВ рдХреЛ рд╣рд▓ рдХрд░рдиреЗ рдореЗрдВ рд╕рдХреНрд╖рдо рдирд╣реАрдВ рд╣реИред рд╡рд╣ рдЬреЛ рдХреБрдЫ рднреА рдХрд░ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИ рд╡рд╣ рд╕рдорд╕реНрдпрд╛ рдХреЗ рд╕рдорд╛рдзрд╛рди рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЕрдЧреНрд░рдгреА рд▓рдВрдмреА рд╕реАрдврд╝реА рдХреЗ рд╕рд╛рде рдЕрдЧрд▓рд╛ рд╕рд░рд▓ рдФрд░ рд╕реНрдкрд╖реНрдЯ рдХрджрдо рдЙрдард╛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИред рдпрджрд┐ рдПрдХ рдЪрд░рдг рдореЗрдВ рдЗрд╕реЗ рд╣рд▓ рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЦрдбрд╝реА рд╕рдорд╕реНрдпрд╛ рд╕реНрдкрд╖реНрдЯ рдирд╣реАрдВ рд╣реИ, рддреЛ рдпрд╣ рдХреЗрд╡рд▓ рдЕрдзреНрдпрдпрди рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдмрдиреА рд░рд╣рддреА рд╣реИ рдФрд░ рдЬрдм рддрдХ рдпрд╣ рд╕реНрдкрд╖реНрдЯ рдирд╣реАрдВ рд╣реЛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ рддрдм рддрдХ рдЗрд╕реЗ рдЙрдк-рднрд╛рдЧреЛрдВ рдореЗрдВ рддреЛрдбрд╝ рд╕рдХрддреЗ рд╣реИрдВред рдЙрд╕рдХреЗ рдмрд╛рдж, рдпрд╣ рд╕рдмрд╕реЗ рдЦрд░рд╛рдм рд╕реНрдерд┐рддрд┐ рдореЗрдВ рдПрдХ рд▓реЙрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд┐рдХ рд╕рдорд╕реНрдпрд╛ рдореЗрдВ рдмрджрд▓ рдЬрд╛рддреА рд╣реИ - рдмрдбрд╝реА рд╕рдВрдЦреНрдпрд╛ рдореЗрдВ рд╕рд░рд▓ рдЙрдк-рдкреНрд░рдХрд╛рд░реЛрдВ рдХреЗ рдкреНрд░рдмрдВрдзрди рдХреА рд╕рдорд╕реНрдпрд╛ред
рдпрд╣ рдареАрдХ рд╡реИрд╕рд╛ рд╣реА рд╣реИ, рдЬреИрд╕рд╛ рдХрд┐ рдЗрд╕рдХрд╛ рдЕрдзреНрдпрдпрди рдХрд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛ рдФрд░ рдХрд╛рдо рдХрд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛, рдпрд╣ рдХрд╛рд░реНрдп рдПрдХ рддрд╛рд░реНрдХрд┐рдХ рдмрди рдЧрдпрд╛, рдФрд░ рд╕рднреА рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХ рдШрдЯрдХреЛрдВ рдХреЛ рдЦреЛрдЬрдиреЗ рдФрд░ рдЖрдХрд╛рд░, рд╡рд┐рддреНрдд рдФрд░ рд╕реБрд░рдХреНрд╖рд╛ рдкрд░ рдореМрдЬреВрджрд╛ рдкреНрд░рддрд┐рдмрдВрдзреЛрдВ рдХреЗ рдЖрдзрд╛рд░ рдкрд░ рдкреНрд░рддреНрдпреЗрдХ рддрдХрдиреАрдХреА рд╕рдорд╕реНрдпрд╛ рдХреЛ рд╣рд▓ рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдкреНрд░рд╕рд┐рджреНрдз рд╡рд┐рдХрд▓реНрдкреЛрдВ рдореЗрдВ рд╕реЗ рдЪреБрдирдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЙрдмрд▓рд╛ рд╣реБрдЖ рдерд╛ред
рддрдХрдиреАрдХреА рд╕рдорд╛рдзрд╛рди рдХреЗ рдмрд╛рд░реЗ рдореЗрдВ
- рдПрдХ рдкреНрд░рдХрд╛рд░ рдХреЗ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдФрд░ рдПрдХ рдбреЛрдкрд┐рдВрдЧ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдкреНрд░реМрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХреА рдПрдирдПрдордУрдПрд╕ (рдпрд╛ рдЕрдВрддрд┐рдо рдЙрдкрд╛рдп рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ рдкреАрдПрдордУрдПрд╕) рд╣реИред рдХреИрд╕реЗ рд╕рдм рдХреБрдЫ рдХрд╛рдо рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ рдФрд░ рд╡рд╣рд╛рдБ рдмрдирд╛рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рд╣реИ рд╕рдордЭ рдореЗрдВ рдЖрддрд╛ рд╣реИред рд╕реАрдПрдордУрдПрд╕ рдкреНрд░рд╕рд╛рд░ рдорд┐рд╢реНрд░ рдзрд╛рддреБ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдХрд╛рдлреА рдЬрдЯрд┐рд▓ рд╣реИ, рдФрд░ рдореИрдВ рдЗрд╕реЗ рдмрд╛рдж рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЫреЛрдбрд╝ рджреЗрддрд╛ рд╣реВрдВред
- рд╕рдВрдкреАрдбрд╝рд┐рдд рдЧреИрд╕реЛрдВ рд╕реЗ - рдзрд╛рддреБрдУрдВ рдХреЗ рдЙрдЪреНрдЪ-рддрд╛рдкрдорд╛рди annealing рдФрд░ рдЫрд┐рдбрд╝рдХрд╛рд╡ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдХреЗрд╡рд▓ рдЖрд░реНрдЧрди рд╣реЛрдЧрд╛ред рд▓реЗрдХрд┐рди рдореИрдВ рдЗрд╕рдХреЗ рдмрд┐рдирд╛ рдХрд░рдиреЗ рдХреА рдХреЛрд╢рд┐рд╢ рдХрд░реВрдВрдЧрд╛ - рд╣рд╛рдЗрдбреНрд░реЛрдЬрди / рдирд╛рдЗрдЯреНрд░реЛрдЬрди рдХреЗ рд╕рд╛рдеред
- рдСрдХреНрд╕реАрдЬрди (рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдкрд░ рдПрдХ рдСрдХреНрд╕рд╛рдЗрдб рдкрд░рдд рдмрдврд╝рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП) рдФрд░ рд╣рд╛рдЗрдбреНрд░реЛрдЬрди (рдПрдиреАрд▓рд┐рдВрдЧ рдХреЗ рд▓рд┐рдП) рдПрдХ рдХреНрд╖рд╛рд░реАрдп рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЛрд▓рд╛рдЗрдЯ рдореЗрдВ рдирд┐рдХрд▓ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЛрдб рдкрд░ рдкрд╛рдиреА рдХреЗ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЛрд▓рд┐рд╕рд┐рд╕ рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рдкреНрд░рд╛рдкреНрдд рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рдПрдЧрд╛ред рдереЛрдбрд╝рд╛ рдХреНрд╖рд╛рд░ рдзрд╛рддреБ рдкреНрд░рджреВрд╖рдг рдПрдХ рдмрдбрд╝реА рд╕рдорд╕реНрдпрд╛ рдирд╣реАрдВ рд╣реЛрдирд╛ рдЪрд╛рд╣рд┐рдПред рдореБрдЭреЗ рд▓рдЧрддрд╛ рд╣реИ рдХрд┐ рдпрд╣ рд╕реНрдкрд╖реНрдЯ рд╣реИ рдХрд┐ рдореИрдВ рдШрд░ рдореЗрдВ рдСрдХреНрд╕реАрдЬрди рдФрд░ рд╣рд╛рдЗрдбреНрд░реЛрдЬрди рд╕рд┐рд▓реЗрдВрдбрд░ рдШрд░ рдкрд░ рдирд╣реАрдВ рд▓рд╛рдирд╛ рдЪрд╛рд╣рддрд╛ред
- рдХреЛрдИ рдПрдкрд┐рдЯреИрдХреНрд╕рд┐рдпрд▓ рдкрд░рддреЗрдВ рдирд╣реАрдВ рд╣реЛрдВрдЧреА (рдпрд╛рдиреА, рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдкрд░рдд рдмрдврд╝ рд░рд╣реА рд╣реИ), рдХреНрдпреЛрдВрдХрд┐ рдореЛрдиреЛрд╕рд┐рд▓реАрди (рдЬрд┐рд╕ рдЧреИрд╕ рд╕реЗ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдкрд░рдд рдЙрдЧрд╛рдИ рдЬрд╛рддреА рд╣реИ) рдЙрд╕рдХреА рд╡рд┐рд╕реНрдлреЛрдЯрдХрддрд╛ рдХреЗ рдХрд╛рд░рдг рдШрд░ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдмрд╣реБрдд рдЦрддрд░рдирд╛рдХ рд╣реИ, рдФрд░ рдпрд╣ рд╕реВрдХреНрд╖реНрдо рдорд╛рддреНрд░рд╛ рдореЗрдВ рдЗрд╕реЗ "рдЬрдЧрд╣" рдореЗрдВ рд▓рд╛рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдХрд╛рдо рдирд╣реАрдВ рдХрд░реЗрдЧрд╛ред рддрджрдиреБрд╕рд╛рд░, рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдПрдХ рдзрд╛рддреБ рдЧреЗрдЯ рдХреЗ рд╕рд╛рде рд╣реЛрдЧрд╛, рдЕрд░реНрдерд╛рддред рдЕрдкреЗрдХреНрд╖рд╛рдХреГрдд рдзреАрдореА рдЧрддрд┐ рд╕реЗред
- рдлреЛрдЯреЛрд▓рд┐рдереЛрдЧреНрд░рд╛рдлреА - рдХреНрд╡рд╛рд░реНрдЯреНрдЬ рдСрдкреНрдЯрд┐рдХреНрд╕ рдХреЗ рдмрд╛рд░реЗ рдореЗрдВ рдореЗрд░реЗ рд╕рднреА рдкреБрд░рд╛рдиреЗ рдФрд░ рднреЛрд▓реЗ рд╡рд┐рдЪрд╛рд░, рд╣рд╛рд░реНрдб 253 / 184nm рдпреВрд╡реА - рд▓реИрдВрдбрдлрд┐рд▓ рдкрд░ рдЬрд╛рдПрдВред рдЗрд╕рдореЗрдВ рдорд╛рдирдХ рд▓реЗрдВрд╕ рдФрд░ 365 / 405nm рдбреВрдмрд╛ рд╣реБрдЖ рдпреВрд╡реА рдкреНрд░рдХрд╛рд╢ рд╣реЛрдЧрд╛ред рдпрд╣ рдЕрдкреЗрдХреНрд╖рд╛рдХреГрдд рд╡рд┐рджреЗрд╢реА рдлреЛрдЯреЛрд╕реНрдЯрд┐рд╕реНрдЯ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдореБрджреНрджреЛрдВ рдХреЛ рднреА рд╣рдЯрд╛рддрд╛ рд╣реИред
- рдПрдХ рд╡реИрдХреНрдпреВрдо рдореЗрдВ рдзрд╛рддреБ рдХрд╛ рдЫрд┐рдбрд╝рдХрд╛рд╡ - рдкреНрд▓рд╛рдЬреНрдорд╛ рджреНрд╡рд╛рд░рд╛, рдЯрдВрдЧрд╕реНрдЯрди рдирд╛рд╡ рдореЗрдВ рдЧрд░реНрдо рдХрд░рдХреЗ рдирд╣реАрдВред рдпрд╣ рдмрд╣реБрдд рд╕рд░рд▓ рдФрд░ рдЕрдзрд┐рдХ рд▓рдЪреАрд▓рд╛ рд╣реИ, рдЗрд╕реЗ рд╣реАрдЯрд┐рдВрдЧ рдФрд░ рддрд╛рдкрдорд╛рди рдирд┐рдпрдВрддреНрд░рдг рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдирд╛рд╡реЛрдВ рдФрд░ рдкрд░рд┐рд╖реНрдХреГрдд рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХреНрд╕ рдХреА рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХрддрд╛ рдирд╣реАрдВ рд╣реИред рдзрд╛рддреБ - рдПрд▓реНрдпреБрдорд┐рдирд┐рдпрдоред рдореБрдЭреЗ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреЗ рд╕рд╛рде рд╡рд╛рдВрдЫрд┐рдд 1% рдорд┐рд╢реНрд░ рдзрд╛рддреБ рдХреЗ рдмрд╛рд░реЗ рдореЗрдВ рдкрддрд╛ рд╣реИ, рд▓реЗрдХрд┐рди рдЕрдм рдореБрдЭреЗ рдирд╣реАрдВ рдкрддрд╛ рдХрд┐ рдореИрдВ рдЗрд╕рдХреЗ рд╕рд╛рде рдХреНрдпрд╛ рдХрд░реВрдВрдЧрд╛ред рд╢реБрджреНрдз рдПрд▓реНрдпреВрдореАрдирд┐рдпрдо рдХреЗ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХреЗ рдХрд╛рд░рдг рдкреАрдПрди рдЬрдВрдХреНрд╢рди рдкреНрд░реЛрдЯреЛрдХреЙрд▓ рдХреЛ рд╡рд┐рднрд┐рдиреНрди рддрд░реАрдХреЛрдВ рд╕реЗ рдЯрд╛рд▓рд╛ рдЬрд╛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИ, рдФрд░ рдЗрд╕ рдХрд╛рд░реНрдп рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЛрдорд╛рдЗрдЬреЗрд╢рди рдХреЛрдИ рдорд╣рддреНрд╡рдкреВрд░реНрдг рд╕рдорд╕реНрдпрд╛ рдирд╣реАрдВ рд╣реИред
- рд╕реНрдЯреЛрд╡ рдПрдХ рдХреНрд╡рд╛рд░реНрдЯреНрдЬ рдЯреНрдпреВрдм рдкрд░ рдПрдХ рдХреЗрд▓ рдирд┐рдЪреЗ рдХреНрд░реЛрдо рд╣реИред рддрд╛рдкрдорд╛рди рдирд┐рдпрдВрддреНрд░рдг - рдирд┐рдХреЛрдо рдХреНрд░реЛрдо рдкреНрд░рддрд┐рд░реЛрдз рдХреЛ рдмрджрд▓рдХрд░ рдпрд╛ рд╕рдмрд╕реЗ рдЦрд░рд╛рдм рд╕реНрдерд┐рддрд┐ рдореЗрдВ - рд╕рд░реНрдкрд┐рд▓ (рдпрд╛рдиреА рдиреЗрддреНрд░рд╣реАрди) рдХреЛ рдмрд┐рдЬрд▓реА рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ред рдореИрдВрдиреЗ рдЙрдЪреНрдЪ-рддрд╛рдкрдорд╛рди рд╡рд╛рд▓реЗ рдерд░реНрдореЛрдХреЙрдЙрдиреНрд╕ рдЦрд░реАрджреЗ - рд▓реЗрдХрд┐рди рд╡реЗ рдореЗрд░реЗ рдЕрд▓реНрдЯреНрд░рд╛-рдХреЙрдореНрдкреИрдХреНрдЯ рдЖрдХрд╛рд░реЛрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдмрд╣реБрдд рдмрдбрд╝реЗ рд╣реИрдВред
- Photoresist рдПрдХ alkaline рдбреЗрд╡рд▓рдкрд░ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдПрдХ рд╕рд╛рдорд╛рдиреНрдп рдиреМрд╕рд┐рдЦрд┐рдпрд╛ photoresist рд╣реИред рдлрд┐рд░ рд╕реЗ, рдХреНрд╖рд╛рд░ рдзрд╛рддреБ рдЖрдпрди рдкреНрд░рджреВрд╖рдг рдкреНрд░рд╛рд░рдВрднрд┐рдХ рдХрд╛рд░реНрдп рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдШрд╛рддрдХ рдирд╣реАрдВ рд╣реИ, рдЗрд╕рд▓рд┐рдП рдореИрдВрдиреЗ рдорд╣рдВрдЧреА рдзрд╛рддреБ рдореБрдХреНрдд рдбреЗрд╡рд▓рдкрд░реНрд╕ ( рдЯреАрдПрдордПрдПрдЪ рдкрд░ рдЖрдзрд╛рд░рд┐рдд) рдХреЗ рд╕рд╛рде рдкрд░реЗрд╢рд╛рди рдирд╣реАрдВ рдХрд░рдиреЗ рдХрд╛ рдлреИрд╕рд▓рд╛ рдХрд┐рдпрд╛ред
рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдХрд╛ рдкреНрд░рдЪрд╛рд░
рдиреАрд░рд╕ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рд╡реЗрдлрд░реНрд╕ рдХреЗ рдЕрд▓рд╛рд╡рд╛, рдиреАрд▓рдо рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди (рд╡рд┐рдХрд┐рд░рдг-рдкреНрд░рддрд┐рд░реЛрдзреА рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрдХрд┐рд░рд┐рдЯ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдореЗрдВ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ)ред рдореЗрд░реЗ рдорд╛рдорд▓реЗ рдореЗрдВ, рдХреБрдЫ рдЪрд░рдгреЛрдВ рдореЗрдВ рддрдХрдиреАрдХреА рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдХреЛ рд╕рд░рд▓ рдмрдирд╛рдпрд╛ рдЬрд╛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИ:

рд╕рд╛рдорд╛рди рдХреЗ рд╕рд╛рде рдПрдХ рджреЛ-рдЪрд░рдг рд╡реИрдХреНрдпреВрдо рдкрдВрдк (рдмрд┐рдЬрд▓реА рдХреЗ рдирд▓, рд╡реИрдХреНрдпреВрдо рд╣реЛрд╕реЗрд╕, рджрдмрд╛рд╡ рдЧреЗрдЬ рдЖрджрд┐) рдЪреАрди рд╕реЗ рдЖрдП рдереЗ - рдпрд╣ рдзрд╛рддреБрдУрдВ рдХреЛ рд╕реНрдкреНрд░реЗ рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдкрд░реНрдпрд╛рдкреНрдд рд╣реЛрдирд╛ рдЪрд╛рд╣рд┐рдП:

рдПрд╕рд┐рдб - рд╕рд▓реНрдлреНрдпреВрд░рд┐рдХ, рд╣рд╛рдЗрдбреНрд░реЛрдХреНрд▓реЛрд░рд┐рдХ, рдирд╛рдЗрдЯреНрд░рд┐рдХ, рдмреЛрд░рд┐рдХ, рдСрд░реНрдереЛрдлреЛрд╕реНрдлреЛрд░рд┐рдХ ... рдХрдИ рдкреВрд░реНрд╡рд╡рд░реНрддрд┐рдпреЛрдВ рдФрд░ рд░рд╛рдЬреНрдп рджрд╡рд╛ рдирд┐рдпрдВрддреНрд░рдг рдХреЗ рдмрд╛рд░реЗ рдореЗрдВ рдЪрд┐рдВрддрд┐рдд рд╣реИрдВ - рдЙрдЪрд┐рдд рдиреМрдХрд░рд╢рд╛рд╣реА рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛рдУрдВ рдХреЗ рдкрд╛рд░рд┐рдд рд╣реЛрдиреЗ рдХреЗ рд╕рд╛рде, рд╕рдм рдХреБрдЫ рдХрд╛рдиреВрдиреА рд░реВрдк рд╕реЗ рдореБрдЭрд╕реЗ рдкреНрд░рд╛рдкреНрдд рдХрд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛ред


рдФрд░ рд╡рд┐рджреЗрд╢реА, рд╢рд░рд╛рдмреАред рдпрд╣ рдореЗрд░реА рдЬрд┐рдВрджрдЧреА рдХреА рд╕рдмрд╕реЗ рдмрдбрд╝реА рдЧрд▓рддреА рд╣реИред рдЙрдиреНрд╣реЛрдВрдиреЗ рд╕реНрдЯреЛрд░ рдореЗрдВ рдбрд╛рд▓рдиреЗ рд╕реЗ рдЗрдирдХрд╛рд░ рдХрд░ рджрд┐рдпрд╛ (рдЗрд╕рдХреЗ рдЦрддрд░реЗ рдХреЗ рдХрд╛рд░рдг), рдФрд░ рдХрд╣рд╛ рдХрд┐ рд╡реЗ рдХреЗрд╡рд▓ рдкреВрд░реЗ 24 рдХрд┐рдЧреНрд░рд╛ рдмреЗрдЪ рд╕рдХрддреЗ рд╣реИрдВред рддрдм рдореИрдВрдиреЗ рдЕрдиреНрдп рд╡рд┐рдХрд▓реНрдк рдирд╣реАрдВ рджреЗрдЦреЗ, рдФрд░ рд╕рд╣рдордд рд╣реБрдПред рд▓реЗрдХрд┐рди рдореИрдВ рд╡рд╛рд╕реНрддрд╡ рдореЗрдВ рдЙрд╕рд╕реЗ рдбрд░рддрд╛ рдерд╛ - рдЬрдм рдореИрдВрдиреЗ
рдПрдХ рд▓рдВрдмреЗ рд╕рдордп рдХреЗ
рд▓рд┐рдП рд╣рд╛рдЗрдбреНрд░реЛрдлреНрд▓реЛрд░реЛрдЗрдХ рдПрд╕рд┐рдб рдХреЗ рд╕рд╛рде рдХрд╛рдо рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рдмрд╛рд░реЗ рдореЗрдВ рдПрдХ рд╡реАрдбрд┐рдпреЛ рджреЗрдЦрд╛ рдерд╛ - рддрдм рдПрдХ рдмреБрд░рд╛ рд╕рдкрдирд╛ рдЖрдпрд╛ рдХрд┐ рдореИрдВрдиреЗ рдЙрд╕реЗ рдЬрд╣рд░ рджрд┐рдпрд╛ рдерд╛, рдХреЛрдИ рдорд╛рд░рдХ рдирд╣реАрдВ рдерд╛ рдФрд░ рдпрд╣ рд╣реИ, рдЕрдВрдд (рдЬреЛ рд╕рдЪреНрдЪрд╛рдИ рд╕реЗ рдмрд╣реБрдд рджреВрд░ рдирд╣реАрдВ рд╣реИ, рдкреНрд░рдХрд░рдг
20 рдореЗрдВ рд╢рд╛рдорд┐рд▓ рд╣реИ
) рд╕реАрдЬрд╝рди рдИрдЖрд░ / рдПрдореНрдмреБрд▓реЗрдВрд╕ )ред рдпрд╣ рд╡рд┐рдЪрд╛рд░ "рд╕рд░рд▓" рдерд╛ - рдЗрд╕рдХреЗ рд╕рд╛рде рдирд░рдХ рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рдЗрд╕реЗ рдЦреБрдж рдХреЛ рдлреИрд▓рд╛рдирд╛ рдФрд░ рдЕрддрд┐рд░рд┐рдХреНрдд рдмреЗрдЪрдирд╛ред рд▓реЗрдХрд┐рди рдкрд╣рд▓реЗ 2 рдХрд┐рд▓реЛрдЧреНрд░рд╛рдо рдХреЗ рдмрд╛рдж, рдЬрд┐рд╕реЗ рдПрдХ рдЧреИрд╕ рдорд╛рд╕реНрдХ, рдЖрджрд┐ рдореЗрдВ 20 рд╕реАрд╕реА рд╕рд┐рд░рд┐рдВрдЬ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдЯреНрд░рд╛рдВрд╕рдлрд╝реНрдпреВрдЬрд╝ рдХрд░рдирд╛ рдкрдбрд╝рддрд╛ рдерд╛, рдЬрдм рдХрдВрдХреНрд░реАрдЯ рдЕрдкрдиреЗ рдкреИрд░реЛрдВ рдкрд░ рдЬрдордХрд░ рд╣рд┐рд╕рд┐рдВрдЧ рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ, рддреЛ рдЙрди рдЬрдЧрд╣реЛрдВ рдкрд░ рдШреБрд▓-рдорд┐рд▓ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ рдЬрд╣рд╛рдВ рдореИрдВрдиреЗ рдПрдХ-рджреЛ рдмреВрдВрджреЗрдВ рдмрд┐рдЦреЗрд░реА рдереАрдВ - рдореИрдВрдиреЗ рддрдп рдХрд┐рдпрд╛ - рдЕрдЪреНрдЫрд╛, рдХреНрдпрд╛ рдирд░реНрдХ рд╣реИред рдпрд╣ рдПрдХ рд╣реИрдВрдбрд▓ рдХреЗ рдмрд┐рдирд╛ рдПрдХ рдкреНрд░рдХрд╛рд░ рдХрд╛ рд╕реВрдЯрдХреЗрд╕ рдирд┐рдХрд▓рд╛, рдЬреЛ рдмрд╛рд╣рд░ рдлреЗрдВрдХрдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдХреЗрд╡рд▓ рдПрдХ рджрдпрд╛ рдирд╣реАрдВ рд╣реИ - рдЖрдк рдирд╣реАрдВ рдХрд░ рд╕рдХрддреЗ, рдХреНрдпреЛрдВрдХрд┐ рд▓рд╛рдирдд рд╣реИ рдЦрддрд░рдирд╛рдХред
рдирддреАрдЬрддрди, рдореИрдВрдиреЗ рд╡рд┐рдХреНрд░реЗрддрд╛ рдХреЛ рдкрд┐рдХ-рдЕрдк рдХреЗрдорд┐рд╕реНрдЯреНрд░реА рдХреЗ рд╕рд╛рде рдпрд╣ рд╕реВрдЯрдХреЗрд╕ рджрд┐рдпрд╛, рдЬрд┐рд╕рд╕реЗ рдЦреБрдж рдХреЛ рдиреНрдпреВрдирддрдо рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХ рд░рд╛рд╢рд┐ рдорд┐рд▓ рдЧрдИред рдпрд╣ рдПрдХ рдЕрдЪреНрдЫрд╛ рд╕рдмрдХ рдерд╛ред
рдЙрд╕рдХреЗ рдмрд╛рдж, рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрдХреНрд░рд┐рд╕реНрдХреЗрдЯреНрд╕ рдХреЗ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдореЗрдВ рд╕рдмрд╕реЗ рдЦрддрд░рдирд╛рдХ рдкрджрд╛рд░реНрде рдЬреЛ рдореБрдЭреЗ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░рдиреЗ рд╣реЛрдВрдЧреЗ, рд╡реЗ рдорд┐рд╢реНрд░ рдзрд╛рддреБ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдлрд╛рд╕реНрдлреЛрд░рд╕ рдФрд░ рдмреЛрд░рд╛рди рдХреЗ рд╕реНрд░реЛрдд рд╣реИрдВ: BBr3 рдФрд░ POCl3 - рдореИрдВрдиреЗ рдЙрдиреНрд╣реЗрдВ рдиреНрдпреВрдирддрдо рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХ рдорд╛рддреНрд░рд╛ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдЦрд░реАрджрд╛ред рд╕реБрд░рдХреНрд╖рд┐рдд рд╡рд┐рдХрд▓реНрдк рд╣реИрдВ - рддрдерд╛рдХрдерд┐рдд рд╕реНрдкрд┐рди-рдСрди рдбреЛрдкреЗрдВрдЯ - рд▓реЗрдХрд┐рди рджреЗрдпрддрд╛ рдХреЗ рдореБрджреНрджреЛрдВ рдХреЗ рдХрд╛рд░рдг рдирд┐рд░реНрдорд╛рддрд╛ рдореБрдЭреЗ рдЗрд╕реЗ рдмреЗрдЪрдирд╛ рдирд╣реАрдВ рдЪрд╛рд╣рддреЗ рд╣реИрдВред рдпрджрд┐ рдпрд╣ рдкреБрд░рд╛рдиреЗ рдврдВрдЧ рд╕реЗ рдХрд╛рдо рдирд╣реАрдВ рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ, рддреЛ рдореИрдВ рдирд┐рд░реНрдорд╛рддрд╛рдУрдВ рдХреЛ рдкреВрд░рд╛ рдХрд░реВрдБрдЧрд╛ред

1000C рддрдХ рдХреЗ рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛ рдУрд╡рди рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдХреНрд╡рд╛рд░реНрдЯреНрдЬ рд╡реНрдпрдВрдЬрди

рд╡рд┐рджреНрдпреБрдд рддрд╛рд░ (рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЛрдб 0.4) рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдирд┐рдХреЗрд▓ рдХреНрд░реЛрдо (рд╡реНрдпрд╛рд╕ 0.4 рдФрд░ 0.8 рдорд┐рдореА):

рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХ рдЕрдиреБрдкреНрд░рдпреЛрдЧреЛрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдФрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХ рдлреЛрдЯреЛрд░рд┐рд╕реНрдЯред рдореИрдВрдиреЗ рд╕рдмрд╕реЗ рдкрддрд▓реЗ рдкреНрд░рддрд┐рд░реЛрдз рдХрд╛ рдкреАрдЫрд╛ рдирд╣реАрдВ рдХрд░рдиреЗ рдХрд╛ рдлреИрд╕рд▓рд╛ рдХрд┐рдпрд╛, рдпрд╣ рдПрдХ рдУрдХ 2 рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрди рд╣реИред рдореЛрдЯрд╛ рдкрд░рдд - рдХрд╛рдо рдХрд░рдиреЗ рдореЗрдВ рдЖрд╕рд╛рди, рд╢реБрд░реБрдЖрдд рдореЗрдВ рдпрд╣ рдкрд░реНрдпрд╛рдкреНрдд рд╣реЛрдирд╛ рдЪрд╛рд╣рд┐рдПред рд╣рд╛рд▓рд╛рдВрдХрд┐ рдХреЛрдИ рдЖрд╕рдВрдЬрди рдкреНрд░рд╡рд░реНрддрдХ (
HMDS ) рдирд╣реАрдВ рд╣реИ - рдпрд╣ рдЙрдкрд▓рдмреНрдз рдирд╣реАрдВ рдерд╛, рдореИрдВ рдЗрд╕рдХреЗ рдмрд┐рдирд╛ рдкреНрд░рдпрд╛рд╕ рдХрд░реВрдВрдЧрд╛:


рдЬреИрд╕рд╛ рдХрд┐ рдХреБрдЫ рд▓реЛрдЧреЛрдВ рдиреЗ рд╕рд▓рд╛рд╣ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдореЗрд░реА рдорджрдж рдХреА, рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрдХреИрд░рд┐рд╕реНрдХреБрдЯ рдХреЗрд╡рд▓ рдкреНрд░рдпреЛрдЧрд╢рд╛рд▓рд╛ рдореЗрдВ рдмрдирд╛рдП рдЬрд╛ рд╕рдХрддреЗ рд╣реИрдВред рдЖрдк рдЙрдиреНрд╣реЗрдВ рдШрд░ рдкрд░ рд╣реА рдмрдирд╛ рд╕рдХрддреЗ рд╣реИрдВ рдЕрдЧрд░ рдШрд░ рдкрд░ - рдПрдХ рдкреНрд░рдпреЛрдЧрд╢рд╛рд▓рд╛ред рдпрд╣ рдорд╛рдорд▓рд╛ рд▓рдЧрддрд╛ рд╣реИ рдФрд░ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ

рд╕рд╛рдорд╛рдиреНрдп рддреМрд░ рдкрд░, рд░рд╕рдж рдореЗрдВ рд╕рдмрд╕реЗ рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХ рдЪреАрдЬреЗрдВ рдкрд╣рд▓реЗ рд╕реЗ рд╣реА рд╣реИрдВред
рдХреБрдЫ рдЪреАрдЬреЗрдВ рд╣реИрдВ рдЬреЛ рдореБрдЭреЗ рдЕрднреА рддрдХ рдирд╣реАрдВ рдХрд░рдиреЗ рджреЗрддреА рд╣реИрдВ:
- рдореЗрдЯрд▓реЛрдЧреНрд░рд╛рдлрд┐рдХ рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрд╕реНрдХреЛрдк - рд░реВрд╕ рдореЗрдВ, рдЪреАрдиреА рд╕реВрдХреНрд╖реНрдорджрд░реНрд╢реА рдкреНрд░рддреНрдпреЗрдХ рдХреА рдорд╛рддреГрднреВрдорд┐ рдореЗрдВ $ 100-300 рд╣рдЬрд╛рд░ рд░реВрдмрд▓ рд╕реЗ рдкреБрдирд░реНрд╡рд┐рдХреНрд░рдп рдХрд░рддреЗ рд╣реИрдВ, рд╡реЗ $ 1,500 -3,000 рд╣реИрдВред рдпрд╣ рд╢рд╛рдпрдж рдПрдХ рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХ рдмрд╛рдд рднреА рд╣реИ, рдореИрдВ рд╕рд┐рд░реНрдл рдЙрд╕ рдЪреАрдиреА рдХреЛ рдирд╣реАрдВ рдЦреЛрдЬ рд╕рдХрддрд╛ рдЬреЛ рдЗрд╕реЗ рдПрд╕реНрдХреНрд░реЛ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдореБрдЭреЗ рдмреЗрдЪреЗрдЧрд╛ред
- рдкреНрд░рдпреЛрдЧрд╢рд╛рд▓рд╛ рдирд╛рдЗрдЯреНрд░реЛрдЬрди рдЬрдирд░реЗрдЯрд░ - рдПрдХ рдЪрд╛рд▓ рдХрд╛ рдПрдХ рдирд░рдХред рдирд╛рдЗрдЯреНрд░реЛрдЬрди рд╣рд╡рд╛ рд╕реЗ рдорд┐рд▓рддрд╛ рд╣реИ, рдХреЛрдИ рдЙрдкрднреЛрдЧреНрдп рдирд╣реАрдВред рдЗрд╕рдХреЗ рд╕рд╛рде рдПрдХ рдСрдХреНрд╕реАрдЬрди рд░рд╣рд┐рдд рдмреЙрдХреНрд╕ рдмрдирд╛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИ рдФрд░ рдЕрдХреНрд░рд┐рдп рдЧреИрд╕ рдХреА рд╕рдорд╕реНрдпрд╛ рдХреЛ рджреВрд░ рдХрд░ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИред рд▓реЗрдХрд┐рди рдЗрд╕рдХреА рд▓рд╛рдЧрдд рд▓рдЧрднрдЧ 190 рд╣рдЬрд╛рд░ рд░реВрдмрд▓ рд╣реИред рдореИрдВ рдЙрд╕рдХреЗ рдмрд┐рдирд╛ рдХрд░реВрдВрдЧрд╛ред
- рд╡рд┐рдЖрдпрдиреАрдХреГрдд рдкрд╛рдиреА рдЬрдирд░реЗрдЯрд░ рднреА рдЦреЗрдд рдкрд░ рдПрдХ рдЙрдкрдпреЛрдЧреА рдЪреАрдЬ рд╣реИ, рд▓реЗрдХрд┐рди ~ 45 рд╣рдЬрд╛рд░ рд░реВрдмрд▓ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдмрд╣реБрдд рд╕рд░рд▓ рд╣реИред рдореИрдВ рдЖрдпрди-рдПрдХреНрд╕рдЪреЗрдВрдЬ рд░реЗрдЬрд┐рди рдкрд░ рдЕрдкрдирд╛ рд╕реНрд╡рдпрдВ рдХрд╛ "рд╕рд╛рдореВрд╣рд┐рдХ рдЦреЗрдд" рдмрдирд╛рдиреЗ рдХреА рдХреЛрд╢рд┐рд╢ рдХрд░реВрдВрдЧрд╛ (рд╡рд┐рд╢реБрджреНрдз рд░реВрдк рд╕реЗ рдмреНрдпрд╛рдЬ рд╕реЗ, рдпрд╣ рд╕реНрдкрд╖реНрдЯ рд╣реИ рдХрд┐ DI рдкрд╛рдиреА рднреА рдЦрд░реАрджрд╛ рдЬрд╛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИ)
рд╢реЗрд╖ рдореБрджреНрджреЛрдВ рдФрд░ рдореИрдВ рдХреНрдпрд╛ рджреЗрдЦ рд░рд╣рд╛ рд╣реВрдБ
- рд╡рд┐рд╢рд┐рд╖реНрдЯ рд╕рдВрдЦреНрдпрд╛рдУрдВ рдХреЗ рд╕рд╛рде (рдкреБрд░рд╛рдиреА) рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛рдУрдВ рдХрд╛ рд╡рд┐рд╕реНрддреГрдд рд╡рд┐рд╡рд░рдгред рдореИрдВрдиреЗ рдПрдХ рдкрд╛рдпрд╛, рдФрд░ рдЗрд╕рд╕реЗ рдореБрдЭреЗ рдмрд╣реБрдд рдорджрдж рдорд┐рд▓реА, рд▓реЗрдХрд┐рди рдПрдХ рдФрд░ 1-2 рд▓реБрдХ рдмреЗрд╣рдж рдЙрдкрдпреЛрдЧреА рд╣реЛрдЧрд╛ред
- "рдУрдкрди" (рдЕрд░реНрдерд╛рдд, рдЬрдм рдорд╛рдирдХ рдХреЛрд╢рд┐рдХрд╛рдУрдВ рдХреА рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдкрд░рддреЛрдВ рдХреЗ рдорд╛рдзреНрдпрдо рд╕реЗ рд╕реАрдзреЗ рджрд┐рдЦрд╛рдИ рджреЗрддреА рд╣реИ) рдЕрдкреЗрдХреНрд╖рд╛рдХреГрдд рдореЛрдЯреА рд╡рд┐рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛рдУрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдбрд┐рдЬрд┐рдЯрд▓ рд▓рд╛рдЗрдмреНрд░реЗрд░реА
- рдореИрдВ microcircuits рдбрд┐рдЬрд╛рдЗрди рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рд╕реЙрдлрд╝реНрдЯрд╡реЗрдпрд░ рд╕реНрдерд╛рдкрд┐рдд рдХрд░рдиреЗ рдореЗрдВ рдорджрдж рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдХрд┐рд╕реА рдХреЛ рдвреВрдВрдв рд░рд╣рд╛ рд╣реВрдВ рдФрд░ рдореБрдЭреЗ рдмрддрд╛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИ рдХрд┐ рд╕рд╛рдорд╛рдиреНрдп рд╡рд┐рдЪрд╛рд░ рд░рдЦрдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдХреНрдпрд╛ рд╣реИ, рдФрд░ рдореИрдВ рд╕рд░рд▓ рдкрд░реАрдХреНрд╖рдг рд╕рд░реНрдХрд┐рдЯреЛрдВ рдХреЛ рд╕рдВрд╢реНрд▓реЗрд╖рд┐рдд рдХрд░ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реВрдВред рдпрд╣ рд╕реНрдкрд╖реНрдЯ рд╣реИ рдХрд┐ рдореИрдВ рдХрд╛рдЧрдЬ рдХреЗ рдПрдХ рдЯреБрдХрдбрд╝реЗ рдкрд░ рд╢рд┐рдлреНрдЯ рд░рдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдЖрдХрд░реНрд╖рд┐рдд рдХрд░ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реВрдВ, рд▓реЗрдХрд┐рди рдХреБрдЫ рдЕрдзрд┐рдХ рдЬрдЯрд┐рд▓ рд╣реИ ...
- рдЕрдм рддрдХ, рдзрд╛рддреБ рдЫрд┐рдбрд╝рдХрд╛рд╡ рдХрдХреНрд╖ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рд╡реИрдХреНрдпреВрдо рд░рдмрд░ рдЦрд░реАрджрдирд╛ рд╕рдВрднрд╡ рдирд╣реАрдВ рд░рд╣рд╛ рд╣реИред
- рдореИрдВ рдЗрддреНрдореАрдирд╛рди рд╕реЗ рдпрд╣ рднреА рдЦреЛрдЬ рдХрд░реВрдВрдЧрд╛ рдХрд┐ рдЖрдИрдПрд▓рдбреА рдХреЗ рд▓рд┐рдП рд╕реНрдкрд┐рди-рдСрди рдбреЛрдкреЗрдВрдЯ рдФрд░ рд╕реНрдкрд┐рди-рдСрди рдЧреНрд▓рд╛рд╕ рдХреЗ рдирдореВрдиреЗ рдХрд╣рд╛рдВ рдЦрд░реАрджреЗрдВ (рдПрдХ рдврд╛рдВрдХрддрд╛ рд╣реБрдЖ рдЬреЛ рдзрд╛рддреБ рдХреЗ рддрд╛рд░реЛрдВ рдХреЗ рд╕реНрддрд░ рдХреЛ рдЕрд▓рдЧ рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ)ред
- TMAH , HMDS рдФрд░ TEOS рдХреЗ рдЫреЛрдЯреЗ рд╡реЙрд▓реНрдпреВрдоред
рдпрджрд┐ рдЖрдк рдЗрди рд╕рдорд╕реНрдпрд╛рдУрдВ рдХреЛ рд╣рд▓ рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рдмрд╛рд░реЗ
рдореЗрдВ рд╡рд┐рдЪрд╛рд░ рд░рдЦрддреЗ рд╣реИрдВ рддреЛ
рдореБрдЭреЗ рдореЗрд▓ рдореЗрдВ рд▓рд┐рдЦрдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рд╕реНрд╡рддрдВрддреНрд░ рдорд╣рд╕реВрд╕ рдХрд░реЗрдВред
рдЖрдЧреЗ рдХреЗ рдХрджрдо
рд╕рд╛рдорд╛рдиреНрдп рддреМрд░ рдкрд░, рдЕрднреА рднреА рдПрдХ рд▓рдВрдмрд╛ рд░рд╛рд╕реНрддрд╛ рддрдп рдХрд░рдирд╛ рд╣реИ, рд▓реЗрдХрд┐рди рдпрд╣ рдЕрдм рдкрд╣рд▓реЗ рдХреА рддрд░рд╣ рдХреЛрд╣рд░реЗ рдореЗрдВ рдирд╣реАрдВ рд╣реИред рдЕрдм рдЬрдмрдХрд┐ рдореБрдЦреНрдп рдШрдЯрдХ рдкрд╣рд▓реЗ рд╕реЗ рд╣реА рд╣реИрдВ, рддрд╛рдк рдирд┐рдпрдВрддреНрд░рдг (рдпрд╛ рдпрд╣рд╛рдВ рддрдХ тАЛтАЛрдХрд┐ рдПрдХ рд╕реНрд╡рдЪрд╛рд▓рд┐рдд рдСрдХреНрд╕рд╛рдЗрдб рдореЛрдЯрд╛рдИ рдХреИрд▓рдХреБрд▓реЗрдЯрд░) рдХреЗ рд╕рд╛рде рддрд╛рдкрджреАрдкреНрдд рднрдЯреНрдареА рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХ рдирд┐рдпрдВрддреНрд░рдг рдЗрдХрд╛рдЗрдпреЛрдВ рдХрд╛ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рдФрд░ рд╣рд╛рдЗрдбреНрд░реЛрдЬрди рдФрд░ рдСрдХреНрд╕реАрдЬрди рдХреЗ рдкреГрдердХреНрдХрд░рдг рдФрд░ рд╕реБрдЦрд╛рдиреЗ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдПрдХ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЛрд▓рд╛рдЗрдЬрд╝рд░ рдЖрдЧреЗ рд╣реИрдВред
рдореБрдЭреЗ рдзреНрдпрд╛рди рджреЗрдирд╛ рдЪрд╛рд╣рд┐рдП рдХрд┐ рдкрд┐рдЫрд▓реЗ рд▓реЗрдЦ рдкрд░ рдкреНрд░рддрд┐рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рджреЗрдиреЗ рд╡рд╛рд▓реЗ рд▓реЛрдЧреЛрдВ (рд╕реВрдЪрдирд╛ / рд╕рд▓рд╛рд╣ рдФрд░ рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рджреЛрдиреЛрдВ) рдХреА рдорджрдж рдХреЗ рдмрд┐рдирд╛ - рдореЗрд░реА рдкреНрд░рдЧрддрд┐ рдмрд╣реБрдд рдЕрдзрд┐рдХ рдорд╛рдореВрд▓реА рд░рд╣реА рд╣реЛрдЧреАред
рд╣рд╛рдВ, рдФрд░ рдПрдХ рдмрд╛рд░ рдлрд┐рд░ рд╣реИрдХ рдХрд┐рдП рдЧрдП рд╕рд╡рд╛рд▓ рдХреЗ рдмрд╛рд░реЗ рдореЗрдВ - "рдХреНрдпреЛрдВ рдпрд╣ рд╕рдм" рдореЗрд░реЗ рд▓рд┐рдП рд╡реНрдпрдХреНрддрд┐рдЧрдд рд░реВрдк рд╕реЗ рдФрд░ рд╕рд╛рдорд╛рдиреНрдп рддреМрд░ рдкрд░: рдореИрдВ рдРрд╕рд╛ рдЗрд╕рд▓рд┐рдП рдХрд░рддрд╛ рд╣реВрдВ рдХреНрдпреЛрдВрдХрд┐ рдореБрдЭреЗ рджрд┐рд▓рдЪрд╕реНрдкреА рд╣реИ, рдПрдХ рддрд░рд╣ рдХрд╛ рд╢реМрдХред рджреВрд╕рд░реА рдУрд░, рдЗрд╕ рдкрд░рд┐рдпреЛрдЬрдирд╛ рдкрд░ рдХрд╛рдо рдиреЗ рдореБрдЭреЗ рдкрд╣рд▓реЗ рд╣реА рд╕рдордЭрдиреЗ рдХреА рдЕрдиреБрдорддрд┐ рджреА рд╣реИ рдХрд┐ "рдмрдбрд╝рд╛" рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХ рдХреИрд╕реЗ рдХрд╛рдо рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ (рддрдХрдиреАрдХреА рдФрд░ рд╡рд┐рддреНрддреАрдп рджреГрд╖реНрдЯрд┐рдХреЛрдг рд╕реЗ)ред рдЗрд╕рдХреЗ рдЕрддрд┐рд░рд┐рдХреНрдд - рдЕрдм рдореИрдВ рдПрдХ "рдХреНрд▓рд╛рд╕рд┐рдХ" рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХ рдкреНрд░реЛрдЬреЗрдХреНрдЯ рдкрд░ рдХрд╛рдо рдХрд░ рд░рд╣рд╛ рд╣реВрдВ, рдЬреЛ (рдпрджрд┐ рд╕рдм рдХреБрдЫ рдпреЛрдЬрдирд╛ рдХреЗ рдЕрдиреБрд╕рд╛рд░ рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИ) рдмрдбрд╝реЗ рдкреИрдорд╛рдиреЗ рдкрд░ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдореЗрдВ рд▓рд╛рдЧреВ рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рдПрдЧрд╛: рдПрдХ рд╕рд╛рдорд╛рдиреНрдп рдЙрджреНрджреЗрд╢реНрдп рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрдХрдВрдЯреНрд░реЛрд▓рд░ - рд▓реЗрдХрд┐рди рдЙрд╕ рд╕рдордп рдкрд░ рдФрд░ рдЕрдзрд┐рдХред
рдкреНрд░рд╢реНрди / рд╕реБрдЭрд╛рд╡ / рдЯрд┐рдкреНрдкрдгрд┐рдпрд╛рдБ?