تركيب معدنة الفراغ VTT 1000 "U"

مرحباً ، أود اليوم أن أخبركم عن معدنة الفراغ فيما يتعلق بإحدى المصانع الموجودة.
في الصورة ، يمكنك رؤية عملية تشغيل مبخر قوس الكاثود ، الذي يودع طبقة ميكرون من الكروم على منتج في بضع دقائق.
أولئك الذين يرغبون في معرفة كيفية عملها ولماذا أطلب قطة. (العديد من الصور)




لنبدأ بالأكثر وضوحًا - صورة التثبيت بالخارج ووصف عام للعناصر ، لأولئك الذين يرغبون في أن تكون هناك تفاصيل تحت المفسد.



الكتل الموجودة على اليمين هي التحكم في عناصر الطاقة الفردية: المغنطرونات (ليس كما هو الحال في الميكروويف ) ، مبخرات قوس الكاثود ، وحدة التنظيف الأيوني ، وحدة تزويد طاقة الطاولة مع المنتجات.

يحتوي الرف الأيسر على جهاز كمبيوتر يحتوي على رسم تخطيطي لما يحدث والقدرة على التحكم في العملية وإدارة الطاقة وصندوق الصمامات وازدواجية تدفق تسرب المنشطات وغاز الطوارئ.
إن إمكانات التحكم في مخطط المحاكاة رائعة جدًا - تضمين كل عنصر فردي (المبخرات ، التسرب ، دوران الطاولة ، إلخ) ، إعداد معلماته (التيار ، الجهد ، تدفق الغاز) ، تضمين التبريد ودوران الجدول.
كما يسمح لك بتعيين تسلسل الإجراءات وإنشاء عملية فنية للمهام المطلوبة ، وهو أمر مناسب تمامًا في صيانة المشغل.
سبب الإزعاج الوحيد هو لوحة المفاتيح ، التي لم يتم استخدامها من قبل المشغل من حيث المبدأ ، حيث عالق السهم الأيمن (التمرير عبر قائمة السياق) ، وعند اختيار أوضاع التشغيل ، رتبت الجحيم وإسرائيل في شكل إجراءات عفوية ، مما تسبب في تحول الجنود إلى اللون الرمادي قليلاً.



جسم الكاميرا كبير بما فيه الكفاية ، لذلك لم أكن ملائمًا للإطار تمامًا.

إذا قمت بإزالة غلاف باب غرفة التفريغ

() ().

بعد ذلك بقليل سنفتحه ونرى ما بداخله ونرى أيضًا كيف تتم عملية الرش مباشرة.

الآن سوف نتخطى التركيب لفحص مجموعة المضخات وإرفاق الكاثود التبخيري.

أول من وصل عبر الكاثود ، هناك ثلاثة منهم على التوالي على كل جانب. هذا يسمح لك بوضع ست مواد مختلفة.
تتكون من نظام مغناطيسي (تحت الأسطوانة الرمادية هناك ملفان حثيان للتركيز واستقرار التفريغ) ، وكابلات الطاقة (متصلة بآلة اللحام والجسم) ، وكابلات الإشعال (كما في اللحام - مسة ، وأشعلت القوس ثم تحترق نفسها) و خراطيم تبريد.
على الباب ترى اسطوانات صغيرة ثابتة - هذه تسرباتالسماح بالجرعات الدقيقة للغاية لغاز السبائك ، لأنه من المهم للعملية الحفاظ على الضغط في نطاق معين.

تختلف النسخة السوفيتية فقط في القدرة على الملاحظة

المزيد عن الكاثود

( )







, . .

على الفور تحتها وحدة توزيع التبريد ، فهي ليست ملحوظة للغاية ، ولكنها مؤتمتة بالكامل ، مما يسخن الروح ، لأنه إذا نسيت تشغيل التبريد ، فسيحدث حادث.



نذهب أبعد من ذلك ونرى قلب التثبيت - مجموعة الضخ. يتكون من ثلاث مضخات مختلفة ، مصممة للعمل في نطاق ضغط مختلف ، والتي يمكن دمجها في سلسلة لدعم بعضها البعض.

مضخة Forvacuum ( ريشة دوارة ) - تخلق فراغًا أوليًا ، مما يسمح لك بتشغيل المضخة التالية.



مضخة الجذور - تخلق فراغًا ملحوظًا بالفعل وتسمح لك بالحفاظ على الكاميرا على فترات.
إلى اليمين يذهب إلى مدخل مضخة الفراغ ، وإلى اليسار يذهب إلى خروج مضخة التفريغ العالية.



حسنًا ، نجم برنامجنا - مضخة الانتشار ( المزيد عن التطبيق ) ، يتيح لك تهيئة الظروف لتشغيل المغنطرونات والكاثودات في ظروف مدخل غاز dopant.
في الجزء العلوي ترى المشغل الهوائي لغالق الفراغ ، والذي يسمح لك بقطع المضخة أثناء تحميل الغرفة.
أقل قليلاً ترى مستطيلاً ، وهو فخ لبخار الزيت المغلي في المضخة. يدخل المبرد في المصيدة ، ويبردها ويتكثف بخار الزيت عليها دون مغادرة الغرفة (ترك بالطبع ، ولكن بكمية لا تذكر).




تم الانتهاء من الفحص الخارجي ، فقد حان الوقت للنظر في الداخل.
مع ارتعاش اليدين في رعب ، نفتح باب غرفة الفراغ وأول ما يلفت انتباهك هو الطاولة التي يتم فيها إصلاح التفاصيل التي يجب تغطيتها.
إنه مجهزترس كوكبي بحيث تدور الأجزاء حول محور الطاولة وحول محوره ، للحصول على طلاء أكثر توازنًا (ظهر اللون الأزرق بعد الرش).



أعلى قليلاً نرى الكاثود على الجانب الأمامي. الأنابيب حولها عنصر تسخين يسمح لك بتدفئة جدار الغرفة في فراغ لإزالة بخار الماء.
يمكن رؤية مخمد إلى اليمين قليلاً (ولكن ضعيفًا) يعمل على حماية المضخات من منتجات الرش

كاثودات الصور

, .

تنظيف الأيونات مرئي قليلاً إلى اليسار - يطلق "شريط" من الجسيمات المشحونة عبر فجوة الفجوة ، ويسقط على المنتجات ويرش سطحها قليلاً لإزالة الشوائب وللتصاق أفضل بالمواد التي يتم رشها.



دعنا ننظر إلى اليسار عند الباب. يتم إخفاء Magnetrons (التيتانيوم هنا) فيه.



لحماية مواد المغنطرونات من منتجات الاخرق للكاثود ، يمكن إخفاؤها خلف مصاريع يتم التحكم فيها من جهاز كمبيوتر.

المزيد عن المغنطرون

, — .

حسنًا ، في نهاية عملية الفيديو.

ومجرد فيديو جميل للعمل بدون تفسير

المكملات الغذائية بناء على طلب العمال

ما صنعناه نحن أنفسنا

( ), , .

- .

.



, .

ما يفعله الآخرون

.

. .

ميزة هذه الطريقة هي التوحيد في الطلاء ، وسمك الطلاء حتى النانومتر ، وإمكانية الطلاء مع العوازل ، وإمكانية توليفات شرسة من المواد ومجموعة من الخيارات لتصميم المبخرات.

يمكنك تقديم طلب عن طريق التعارف ، أو حسنًا ، أو عن طريق العثور على موظف في هذا التثبيت.
أضافت معالجة قضيب واحد بالصورة أعلاه 1000r إلى قيمته ، ولا أملك تكلفة العمل للأفراد.

Source: https://habr.com/ru/post/ar385529/