Installation der Vakuummetallisierung VTT 1000 "U"

Hallo, heute möchte ich Ihnen etwas über die Vakuummetallisierung in Bezug auf eine der vorhandenen Anlagen erzählen.
Auf dem Foto sehen Sie den Betrieb eines Kathodenlichtbogenverdampfers, der in wenigen Minuten einen Mikrometer-Chromfilm auf einem Produkt ablagert.
Diejenigen, die herausfinden möchten, wie es funktioniert und warum ich nach einer Katze frage (viele Fotos)




Beginnen wir mit dem offensichtlichsten - einem Foto der Installation im Freien und einer allgemeinen Beschreibung der Elemente, für diejenigen, die wünschen, dass es Details unter dem Spoiler gibt.



Die Blöcke auf der rechten Seite dienen zur Steuerung einzelner Leistungselemente: Magnetrons (nicht wie in einer Mikrowelle ), Kathodenlichtbogenverdampfer , Ionenreinigungseinheit, Tischstromversorgung mit Produkten.

Das linke Rack enthält einen PC mit einem Mnemonikdiagramm des Geschehens und der Möglichkeit, den Prozess zu steuern, die Energieverwaltung, einen Sicherungskasten, die Verdoppelung des Flusses von Dotierungsgaslecks und einen Notfallknopf.
Die Möglichkeiten zur Steuerung des Mnemonikdiagramms sind sehr groß - die Einbeziehung jedes einzelnen Elements (Verdampfer, Leckagen, Tischdrehung usw.), die Einstellung seiner Parameter (Strom, Spannung, Gasfluss), die Einbeziehung von Kühlung und Tischdrehung.
Außerdem können Sie eine Abfolge von Aktionen festlegen und einen technischen Prozess für die erforderlichen Aufgaben erstellen, was bei der Wartung des Bedieners sehr praktisch ist.
Die einzige Unannehmlichkeit wurde durch die Tastatur verursacht, die vom Bediener im Prinzip nicht verwendet wurde. Der rechte Pfeil blieb hängen (Scrollen durch das Kontextmenü) und ordnete bei der Auswahl der Betriebsarten Hell und Israel in Form von spontanen Aktionen an, wodurch die Soldaten ein wenig grau wurden.



Das Kameragehäuse selbst ist groß genug, so dass ich nicht vollständig in den Rahmen passte.

Wenn Sie das Türgehäuse der Vakuumkammer entfernen

() ().

Wenig später werden wir es öffnen und sehen, was sich darin befindet und wie der Sprühvorgang direkt abläuft.

Jetzt umgehen wir die Installation zur Inspektion der Pumpengruppe und zum Anbringen der Verdunstungskathoden.

Die ersten, die auf die Kathoden stoßen, sind auf jeder Seite drei hintereinander. Auf diese Weise können Sie sechs verschiedene Materialien einsetzen.
Sie bestehen aus einem Magnetsystem (unter dem grauen Zylinder - 2 Induktionsspulen zur Fokussierung und Stabilisierung der Entladung), Stromkabeln (am Schweißgerät und am Gehäuse befestigt), Zündkabeln (wie beim Schweißen - berührt, den Lichtbogen gezündet und dann selbst verbrannt) und Kühlschläuche.
An der Tür sehen Sie kleine feste Zylinder - das sind UndichtigkeitenDies ermöglicht eine sehr genaue Dosierung des Legierungsgases, da es für den Prozess wichtig ist, den Druck in einem bestimmten Bereich zu halten.

Die sowjetische Version unterscheidet sich nur in der Beobachtungsfähigkeit

Mehr über Kathoden

( )







, . .

Unmittelbar darunter befindet sich eine Kühlverteilungseinheit, die nicht sehr auffällt, aber vollautomatisch ist, was die Seele wärmt, denn wenn Sie vergessen, die Kühlung einzuschalten, kommt es zu einem Unfall.



Wir gehen weiter und sehen das Herz der Installation - die Pumpgruppe. Es besteht aus drei verschiedenen Pumpen, die für einen unterschiedlichen Druckbereich ausgelegt sind und in Reihe geschaltet werden können, um sich gegenseitig zu unterstützen.

Vakuumpumpe ( Drehschaufel ) - Erzeugt ein vorläufiges Vakuum, mit dem Sie die nächste Pumpe einschalten können.



Wurzelpumpe - erzeugt ein bereits spürbares Vakuum und ermöglicht es Ihnen, die Kamera in Intervallen zu konservieren.
Rechts geht es zum Einlass der Vorvakuumpumpe und links zum Ausgang der Hochvakuumpumpe.



Nun, der Star unserer Show - eine Diffusionspumpe ( mehr über die Anwendung ) - ermöglicht es Ihnen, Bedingungen für den Betrieb von Magnetrons und Kathoden unter Bedingungen des Einlasses von Dotiergas zu schaffen.
Oben sehen Sie den pneumatischen Aktuator des Vakuumverschlusses, mit dem Sie die Pumpe beim Laden der Kammer abschalten können.
Etwas tiefer sehen Sie ein Rechteck, das eine Falle für den in der Pumpe kochenden Öldampf darstellt. Ein Kältemittel tritt in die Falle ein, kühlt sie ab und Öldampf kondensiert darauf, ohne die Kammer zu verlassen (natürlich verlassen, aber in vernachlässigbarer Menge).




Die externe Prüfung ist abgeschlossen, es ist Zeit, nach innen zu schauen.
Mit zitternden Händen öffnen wir entsetzt die Tür der Vakuumkammer und das erste, was auffällt, ist der Tisch, auf dem die Details befestigt sind, die abgedeckt werden müssen.
Er ist ausgerüstetPlanetengetriebe, so dass sich die Teile um die Achse des Tisches und um seine Achse drehen, um eine gleichmäßigere Beschichtung zu erzielen (das Blau erschien nach dem Sprühen).



Etwas höher sehen wir die Kathoden auf der Vorderseite. Die Röhren sind ein Heizelement, mit dem Sie die Kammerwand im Vakuum erwärmen können, um Wasserdampf zu entfernen.
Ein leicht nach rechts sichtbarer (aber schlecht) Dämpfer schützt die Pumpen vor Sprühprodukten

Fotokathoden

, .

Die Ionenreinigung ist etwas links sichtbar - sie setzt ein „Klebeband“ geladener Partikel durch einen Spalt frei, der auf die Produkte fällt und deren Oberfläche ein wenig besprüht, um Verunreinigungen und eine bessere Haftung des gesprühten Materials zu entfernen.



Schauen wir nach links zur Tür. Darin sind Magnetrons (hier Titan) versteckt.



Um das Material der Magnetrons vor den Sputterprodukten der Kathoden zu schützen, können sie hinter den von einem PC aus gesteuerten Verschlüssen versteckt werden.

Mehr über Magnetron

, — .

Nun, am Ende des Videoprozesses.

Und nur ein schönes Video der Arbeit ohne Erklärung

Ergänzungen auf Wunsch der Arbeitnehmer

Was wir selbst gemacht haben

( ), , .

- .

.



, .

Was andere tun

.

. .

Der Vorteil dieses Verfahrens ist die Gleichmäßigkeit der Beschichtung, die Beschichtungsdicke bis zu Nanometern, die Möglichkeit der Beschichtung mit Dielektrika, die Möglichkeit heftiger Materialkombinationen und eine Reihe von Optionen für die Konstruktion von Verdampfern.

Sie können eine Bestellung durch Bekanntschaft oder durch die Suche nach einem Mitarbeiter dieser Installation aufgeben.
Wenn ich einen Stab mit dem obigen Foto verarbeite, um 1000r zu seinem Wert hinzuzufügen, besitze ich nicht die Arbeitskosten für Einzelpersonen.

Source: https://habr.com/ru/post/de385529/