Russische Wissenschaftler zeigten, wie man Glas-Nanograving macht

Wissenschaftler des Moskauer Instituts für Physik und Technologie; Semenova, die Moskauer Staatsuniversität und IPCP entwickelten eine Methode zur schnellen und kostengünstigen Herstellung von Sensoren und nanoskaligen Mikroschaltungen. Dazu nutzen sie den Mechanismus der Laserabscheidung von Strukturen auf Glas mit einer Auflösung von weniger als 100 Nanometern. Um die Technologie vorzustellen, gravierten Wissenschaftler die Abkürzung des Instituts für Chemische Physik ICP auf Glas.



Wissenschaftler verwendeten einen Femtosekundenlaser, um Strukturen auf die Oberfläche eines transparenten Materials, in diesem Fall Glas, aufzubringen. Das Problem bei solchen Problemen ist die minimale Größe eines Teils einer solchen Struktur, die durch die Laserwellenlänge begrenzt ist. Zur Verbesserung der Auflösung wird der Nahfeldeffekt verwendet: Der Strahl wird mit Metallnanopartikeln oder einer Schicht dielektrischer Mikrokugeln als Linse fokussiert.

Russische Wissenschaftler verwendeten eine andere Methode - sie schufen eine Falle mit einem Lichtstrahl in einer Flüssigkeit und platzierten Glasmikrokugeln darin. Dieses Gerät kann bewegt werden, um den Laser auf den gewünschten Teil des Glases zu fokussieren. Wenn sie einem Laserstrahl ausgesetzt und erhitzt werden, bilden sich auf der Oberfläche Tuberkel, die dann mit Alkali behandelt werden, um glatte Vertiefungen zu erhalten. Die von Wissenschaftlern erhaltene Mindestbreite des Kraters beträgt 70 Nanometer.

Die neue Methode kann in der Mikrofluidik eingesetzt werden, um ultrapräzise Schaltkreise zu erstellen, die mit Flüssigkeiten arbeiten, sagt Alexander Shakhov , Mitautor des Artikels, Doktorand für angewandte Physik am MIPT.


Versuchsaufbau

Source: https://habr.com/ru/post/de389523/