ASML, ein niederländisches Unternehmen, der größte Anbieter von Fotolithografiesystemen für die Halbleiterindustrie, übernimmt ein weiteres niederländisches Unternehmen, Mapper Lithography.
Mapper Lithography wurde im Jahr 2000 gegründet und versuchte, eine andere Lithografietechnologie auf den Markt zu bringen: ein direktes E-Beam-Direktschreibwerkzeug mit mehr als 13.000 parallel arbeitenden E-Beams. Nach fast 20 Jahren gelang es ihnen jedoch nicht, ein Werkzeug in Produktionsqualität auf den Markt zu bringen. Die Investoren zogen 2018 den Stecker und am 28. Dezember 2018 wurde Mapper Lithography für bankrott erklärt.
Es gab mehrere Unternehmen, die daran interessiert waren, die bankrotte Mapper-Lithografie zu übernehmen. Einige von ihnen sollten die Mehrfach-E-Beam-Patterning-Technologie weiterentwickeln, andere wollten Mapper-Lithography-Technologien für verschiedene Zwecke einsetzen (z. B. E-Beam-Inspektion). ASML, das höchstwahrscheinlich an letzterem interessiert war, gewann das Angebot und übernahm Mapper Lithography im Januar 2019.
Es sei darauf hingewiesen, dass Mapper Lithography Mapper LLC besaß, eine
MEMS- Fabrik in Moskau, Russland, die in der zweiten Hälfte des Jahres 2018 an Rusnano verkauft wurde. Mapper LLC setzt seine Geschäftstätigkeit als unabhängige MEMS-Gießerei fort.