Instalación de metalización al vacío VTT 1000 "U"
Hola, hoy me gustaría contarles sobre la metalización al vacío en relación con una de las plantas existentes.En la foto, puede ver el proceso de operación de un evaporador de arco catódico, que deposita una película de cromo en un producto en un par de minutos.Aquellos que deseen saber cómo funciona y por qué le pido un gato. (Muchas fotos)Comencemos con lo más obvio: una foto de la instalación exterior y una descripción general de los elementos, para aquellos que deseen que haya detalles debajo del spoiler.
Los bloques de la derecha son el control de elementos de potencia individuales: magnetrones (no como en un microondas ), evaporadores de arco catódico , unidad de limpieza de iones, unidad de fuente de alimentación de mesa con productos.El bastidor izquierdo contiene una PC con un diagrama mnemotécnico de lo que está sucediendo y la capacidad de controlar el proceso, la administración de energía, la caja de fusibles, la duplicación del flujo de fugas de gas antidopaje y un botón de emergencia.Las posibilidades de controlar el diagrama mnemónico son muy grandes: la inclusión de cada elemento individual (evaporadores, fugas, rotación de la mesa, etc.), la configuración de sus parámetros (corriente, voltaje, flujo de gas), la inclusión de enfriamiento y rotación de la mesa.También le permite establecer una secuencia de acciones y crear un proceso técnico para las tareas requeridas, lo cual es bastante conveniente en el mantenimiento del operador.El único inconveniente fue causado por el teclado, que no fue utilizado por el operador en principio, donde la flecha derecha se pegó (desplazándose por el menú contextual) y, al elegir los modos de operación, organizó el Infierno e Israel en forma de acciones espontáneas, haciendo que los militares se pusieran un poco grises.
El cuerpo de la cámara es lo suficientemente grande, por lo que no encajé completamente en el cuadro.
Si retira la carcasa de la puerta de la cámara de vacío() ().
Un poco más tarde lo abriremos y veremos qué hay dentro, y también veremos cómo se realiza el proceso de pulverización directamente.Ahora omitiremos la instalación para inspeccionar el grupo de bombas y conectar los cátodos evaporativos.Los primeros en encontrar los cátodos, hay tres de ellos en una fila a cada lado. Esto le permite poner seis materiales diferentes.Consisten en un sistema magnético (debajo del cilindro gris - 2 bobinas inductivas para enfocar y estabilizar la descarga), cables de alimentación (unidos a la máquina de soldar y al cuerpo), cables de encendido (como en la soldadura - tocados, encienden el arco y luego se queman) y mangueras de enfriamiento.En la puerta ves pequeños cilindros fijos: estas son fugaspermitiendo una dosificación muy precisa de gas dopante, ya que es importante para el proceso mantener la presión en un cierto rango.
La versión soviética difiere solo en la capacidad de observar Más acerca de los cátodos Inmediatamente debajo de ellos hay una unidad de distribución de enfriamiento, no es muy notable, pero está completamente automatizada, lo que calienta el alma, porque si olvida encender el enfriamiento, ocurrirá un accidente.
Vamos más allá y vemos el corazón de la instalación: el grupo de bombeo. Consiste en tres bombas diferentes, diseñadas para operar en un rango de presión diferente, que se pueden combinar en serie para apoyarse mutuamente.Bomba de vacío ( paleta rotativa ): crea un vacío preliminar que le permite encender la siguiente bomba.
Bomba de raíces : crea una aspiradora ya notable y le permite conservar la cámara a intervalos.A la derecha va a la entrada de la bomba de vacío anterior, y a la izquierda va a la salida de la bomba de alto vacío.
Bueno, la estrella de nuestro espectáculo: una bomba de difusión ( más sobre la aplicación ), le permite crear condiciones para la operación de magnetrones y cátodos en condiciones de entrada de gas dopante.En la parte superior, verá el actuador neumático de la persiana de vacío, que le permite cortar la bomba mientras carga la cámara.Un poco más abajo se ve un rectángulo, que es una trampa para el vapor de aceite que hierve en la bomba. Un refrigerante ingresa a la trampa, enfriándola y el vapor de aceite se condensa en ella sin salir de la cámara (dejando, por supuesto, pero en una cantidad insignificante).
Se completa el examen externo, es hora de mirar hacia adentro.Con manos temblorosas con horror, abrimos la puerta de la cámara de vacío y lo primero que llama la atención es una mesa en la que se fijan los detalles que deben cubrirse.El esta equipadoengranaje planetario para que las partes giren alrededor del eje de la mesa y alrededor de su eje, para un recubrimiento más uniforme (el azul apareció después de la pulverización).
Un poco más arriba vemos los cátodos en la parte frontal. Los tubos alrededor son un elemento calefactor que le permite calentar la pared de la cámara al vacío para eliminar el vapor de agua.Hay un amortiguador ligeramente a la derecha (pero mal) que protege las bombas de la pulverización de productos.
Cátodos fotográficos, .
La limpieza de iones es visible un poco a la izquierda: libera una "cinta" de partículas cargadas a través de un espacio de separación que cae sobre los productos y rocía un poco su superficie para eliminar las impurezas y una mejor adhesión del material rociado.
Miremos a la izquierda, a la puerta. Los magnetrones (titanio aquí) están ocultos en él.
Para proteger el material de los magnetrones de los productos de atomización de los cátodos, se pueden ocultar detrás de los obturadores controlados desde una PC.
Más acerca de magnetrón, —
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Bueno, al final del proceso de video.Y solo un hermoso video de trabajo sin explicación
Suplementos a solicitud de los trabajadores.Lo que nosotros mismos hicimos La ventaja de este método es la uniformidad del recubrimiento, el espesor del recubrimiento hasta nanómetros, la posibilidad de recubrir con dieléctricos, la posibilidad de combinaciones feroces de materiales y un montón de opciones para el diseño de evaporadores.Puede hacer un pedido por conocido, bien, o encontrando un empleado de esta instalación.Procesar una barra con la foto de arriba agregó 1000r a su valor, no soy dueño del costo del trabajo para las personas.Source: https://habr.com/ru/post/es385529/
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