Hola mentes inquietas. Hoy hablaremos sobre la instalación de pulverización catódica de magnetrón, completamente diseñada y realizada por usted mismo.
Para comenzar, trataré brevemente de responder por qué se necesitan tales instalaciones y qué es la pulverización de plasma iónico.
Un objetivo es el material que se rocía.
El sustrato es en lo que está la pulverización.
Las instalaciones de este tipo permiten formar las capas más delgadas de materiales conductores (principalmente metales) sobre sustratos. Como los sustratos se pueden utilizar tanto materiales conductores como dieléctricos. Y para que se forme una nanocapa, por ejemplo, de cualquier metal en el sustrato, primero es necesario atacar adecuadamente el metal con iones formadores de plasma; para esto, el plasma de ignición de una descarga luminosa a presión reducida y el magnetrón se usan como una trampa para electrones.
Veamos el esquema de magnetrón más simple y su trabajo, y comprenderá por qué es una trampa (lo intentaré sin un conocimiento científico especial, pero creo que muchos estarán en contra, ya que algunos puntos no pueden explicarse sin esto, pero lo intentaré).
Una descarga luminiscente clásica se ilumina a una corriente constante, y la corriente fluye desde el ánodo al cátodo. El cátodo es un objetivo plano, debajo del cual hay un anillo magnético. Los electrones que vuelan desde el cátodo ionizan el gas en un volumen, los iones de los cuales caen en el objetivo, los átomos son expulsados que chocan nuevamente con los electrones, por lo tanto, su parte se ioniza ... En general, se forma una avalancha de electrones, que es retorcida por un campo magnético y no les permite volar lejos después de las colisiones, de este modo, el imán retiene los electrones y, por lo tanto, aumenta la formación de átomos que se depositan en el sustrato, formando así una película.
Y ahora de la teoría a la práctica. Como estoy involucrado en varias tecnologías químicas de plasma a presión atmosférica, después de un tiempo también surgió el interés en la presión reducida. Ya tenía una fuente de energía de descarga luminosa; la hice hace mucho tiempo. Y después de comprar una bomba de vacío, comenzaron los experimentos que revelaron algunas dificultades al trabajar con presión reducida.
Resumiendo los resultados de esta parte del artículo, podemos decir que el trabajo se está moviendo, se obtiene una experiencia considerable y un conocimiento adicional. Por el momento, la caja en hierro está lista, será pintada, luego de lo cual comenzará el ensamblaje.
No infliqué deliberadamente el artículo porque se cubrieron muchas preguntas en los comerciales, y si no, en los comentarios intentaré responder todo.