Installation de métallisation sous vide VTT 1000 "U"

Bonjour, aujourd'hui je voudrais vous parler de la métallisation sous vide par rapport à l'une des usines existantes.
Sur la photo, vous pouvez voir le processus de fonctionnement d'un évaporateur à arc cathodique, qui dépose un film de chrome de micron sur un produit en quelques minutes.
Ceux qui souhaitent savoir comment cela fonctionne et pourquoi je demande un chat. (Beaucoup de photos)




Commençons par le plus évident - une photo de l'installation à l'extérieur et une description générale des éléments, pour ceux qui le souhaitent, il y aura des détails sous le spoiler.



Les blocs à droite sont le contrôle des éléments de puissance individuels: magnétrons (pas comme dans un micro-ondes ), évaporateurs à arc cathodique , unité de nettoyage ionique, bloc d'alimentation de table avec produits.

Le rack de gauche contient un PC avec un diagramme mnémonique de ce qui se passe et la possibilité de contrôler le processus, la gestion de l'alimentation, la boîte à fusibles, la duplication du flux de fuites de gaz dopant et un bouton d'urgence.
Les possibilités de contrôle du diagramme mnémonique sont très grandes - l'inclusion de chaque élément individuel (évaporateurs, fuites, rotation de la table, etc.), le réglage de ses paramètres (courant, tension, débit de gaz), l'inclusion du refroidissement et de la rotation de la table.
Il vous permet également de définir une séquence d'actions et de créer un processus technique pour les tâches requises, ce qui est très pratique pour la maintenance de l'opérateur.
Le seul inconvénient a été causé par le clavier, qui n'était pas utilisé par l'opérateur en principe, où la flèche droite s'est coincée (en faisant défiler le menu contextuel) et, lors du choix des modes de fonctionnement, a organisé l'enfer et Israël sous la forme d'actions spontanées, ce qui a rendu les militaires un peu gris.



Le boîtier de l'appareil photo lui-même est assez grand, donc je ne me suis pas complètement intégré au cadre.

Si vous retirez le boîtier de la porte de la chambre à vide

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Un peu plus tard, nous allons l'ouvrir et voir ce qu'il y a à l'intérieur, et aussi voir comment le processus de pulvérisation se déroule directement.

Nous allons maintenant contourner l'installation pour inspecter le groupe de pompes et fixer les cathodes d'évaporation.

Les premiers à croiser les cathodes, il y en a trois d'affilée de chaque côté. Cela vous permet de mettre six matériaux différents.
Ils se composent d'un système magnétique (sous le cylindre gris, il y a 2 bobines inductives pour focaliser et stabiliser la décharge), des câbles d'alimentation (attachés à la machine de soudage et au corps), des câbles d'allumage (comme en soudage - touché, allumé l'arc et ensuite il se brûle) et tuyaux de refroidissement.
Sur la porte, vous voyez de petits cylindres fixes - ce sont des fuitespermettant un dosage très précis du gaz d'alliage, car il est important pour le procédé de maintenir la pression dans une certaine plage.

La version soviétique ne diffère que par la capacité d'observer

En savoir plus sur les cathodes

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Immédiatement en dessous d'eux se trouve une unité de distribution de refroidissement, ce n'est pas très visible, mais elle est entièrement automatisée, ce qui réchauffe l'âme, car si vous oubliez d'activer le refroidissement, un accident se produira.



Nous allons plus loin et voyons le cœur de l'installation - le groupe de pompage. Il se compose de trois pompes différentes, conçues pour fonctionner dans une plage de pression différente, qui peuvent être combinées en série pour se soutenir mutuellement.

Pompe à vide ( palette rotative ) - crée un vide préliminaire, vous permettant d'activer la pompe suivante.



Pompe Roots - crée un vide déjà perceptible et vous permet de conserver la caméra à intervalles réguliers.
À droite va à l'entrée de la pompe à vide avant, et à gauche va à la sortie de la pompe à vide élevé.



Eh bien, la star de notre spectacle - une pompe à diffusion ( plus sur l'application ), vous permet de créer des conditions pour le fonctionnement des magnétrons et des cathodes dans des conditions d'entrée de gaz dopant.
En haut, vous voyez l'actionneur pneumatique de l'obturateur à vide, qui vous permet de couper la pompe pendant le chargement de la chambre.
Un peu plus bas, vous voyez un rectangle, qui est un piège pour la vapeur d'huile bouillante dans la pompe. Un fluide frigorigène pénètre dans le piège, le refroidit et la vapeur d'huile se condense dessus sans quitter la chambre (en sortant bien sûr, mais en quantité négligeable).




L'examen externe est terminé, il est temps de regarder à l'intérieur.
Avec des mains tremblantes d'horreur, nous ouvrons la porte de la chambre à vide et la première chose qui attire votre attention est une table sur laquelle les détails qui doivent être couverts sont fixés.
Il est équipéengrenage planétaire pour que les pièces tournent autour de l'axe de la table et autour de son axe, pour un revêtement plus uniforme (le bleu est apparu après la pulvérisation).



Un peu plus haut, nous voyons les cathodes sur la face avant. Les tubes autour sont un élément chauffant qui vous permet de chauffer la paroi de la chambre sous vide pour éliminer la vapeur d'eau.
Un amortisseur légèrement à droite est visible (mais mal) protégeant les pompes des produits pulvérisés

Cathodes photo

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Le nettoyage ionique est visible un peu à gauche - il libère un «ruban» de particules chargées à travers un espace vide tombant sur les produits et pulvérisant un peu leur surface pour éliminer les impuretés et une meilleure adhérence du matériau pulvérisé.



Regardons à gauche, à la porte. Des magnétrons (ici du titane) y sont cachés.



Pour protéger le matériau des magnétrons contre les produits de pulvérisation des cathodes, ils peuvent être cachés derrière les volets contrôlés depuis un PC.

En savoir plus sur le magnétron

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Eh bien, à la fin du processus vidéo.

Et juste une belle vidéo de travail sans explication

Suppléments à la demande des travailleurs

Ce que nous avons fait nous-mêmes

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Ce que font les autres

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L'avantage de cette méthode est l'uniformité du revêtement, l'épaisseur du revêtement jusqu'à nanomètres, la possibilité de revêtement avec des diélectriques, la possibilité de combinaisons féroces de matériaux et un tas d'options pour la conception des évaporateurs.

Vous pouvez passer une commande par connaissance, enfin, ou en trouvant un employé de cette installation.
Le traitement d'une tige avec la photo ci-dessus a ajouté 1000r à sa valeur, je ne supporte pas le coût du travail pour les particuliers.

Source: https://habr.com/ru/post/fr385529/