Bonjour les esprits agités. Aujourd'hui, nous allons parler de l'installation de la pulvérisation magnétron, entièrement conçue et réalisée par vous-même.
Pour commencer, je vais essayer de répondre brièvement à la raison pour laquelle de telles installations sont nécessaires et à ce qu'est la pulvérisation ion-plasma.
Une cible est le produit pulvérisé.
Le substrat est ce que la pulvérisation est en cours.
De telles installations permettent de former les couches les plus fines de matériaux conducteurs (principalement des métaux) sur des substrats. Comme les substrats peuvent être utilisés à la fois des matériaux conducteurs et diélectriques. Et pour qu'une nanocouche se forme, par exemple, de tout métal sur le substrat, il est d'abord nécessaire d'attaquer correctement le métal avec des ions plasmogènes; pour cela, le plasma d'allumage d'une décharge luminescente à pression réduite et le magnétron sont utilisés comme piège pour les électrons.
Regardons le schéma de magnétron le plus simple et son travail, et vous comprendrez pourquoi c'est un piège (j'essaierai sans connaissances scientifiques spéciales, mais je pense que beaucoup seront contre, car certains points ne peuvent pas être expliqués sans cela, mais j'essaierai).
Une décharge luminescente classique s'allume à courant constant et le courant circule de l'anode à la cathode. La cathode est une cible plate sous laquelle se trouve un aimant annulaire. Les électrons volant de la cathode, ionisent le gaz dans un volume, dont les ions tombent dans la cible, des atomes en sont éliminés qui entrent en collision avec les électrons, de ce fait leur partie est ionisée ... En général, une avalanche d'électrons se forme, qui est tordue par un champ magnétique et les empêche de s'envoler après des collisions, ainsi, l'aimant retient les électrons et augmente ainsi la formation d'atomes qui se déposent sur le substrat, formant ainsi un film.
Et maintenant de la théorie à la pratique. Depuis que je suis engagé dans diverses technologies chimiques du plasma à la pression atmosphérique, après un certain temps, l'intérêt pour la pression réduite est également apparu. J'avais déjà une source d'énergie à décharge luminescente; je l'ai fait il y a longtemps. Et après avoir acheté une pompe à vide, des expériences ont commencé qui ont révélé des difficultés lors du travail avec une pression réduite.
En résumant les résultats de cette partie de l'article, nous pouvons dire que le travail bouge, une expérience considérable et des connaissances supplémentaires sont obtenues. Pour le moment, le boîtier en fer est prêt, il sera peint, après quoi l'assemblage commencera.
Je n'ai pas délibérément gonflé l'article parce que de nombreuses questions étaient couvertes dans les publicités, et sinon, dans les commentaires, j'essaierai de tout répondre.