क्या रूस में यूरोपीय स्तर का उच्च तकनीकी उत्पादन (उदाहरण के लिए MEMS ) बनाना संभव है? क्या उत्पादन की शुरुआत नियोजित तारीखों और बजट से होगी? क्या उत्पाद उच्च गुणवत्ता वाले होंगे और क्या उन्हें निर्यात किया जा सकता है? मैपर का जवाब है हां।

प्रागितिहास

मैं मूल से शुरू करूँगा। 2000 में, डेल्फ़ (नीदरलैंड) में डेल्फ़्ट यूनिवर्सिटी ऑफ़ टेक्नोलॉजी के आधार पर मैपर लिथोग्राफी की स्थापना की गई , जिसका मुख्य विचार उच्च-प्रदर्शन मास्कलेस इलेक्ट्रॉनिक लिथोग्राफी का निर्माण करना था। संक्षेप में, प्रौद्योगिकी का अर्थ इस प्रकार है: एक इलेक्ट्रॉन किरण को 13,000 किरणों में विभाजित किया जाता है, फिर इन किरणों में से प्रत्येक को अलग से नियंत्रित किया जाता है, ढाला जाता है, केंद्रित किया जाता है, आदि। विशेष इलेक्ट्रॉनिक लेंस, जो छिद्रों के माध्यम से बड़ी संख्या में प्लेट होते हैं। इस प्रकार, स्थापना का मुख्य तत्व लगभग 20 विभिन्न तत्वों का एक इलेक्ट्रॉन-ऑप्टिकल स्तंभ है। मैपर लिथोग्राफी कैसे काम करती है, इसके बारे में अधिक जानकारी के लिए, बार्समॉनस्टर लेख देखें । "माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक उत्पादन का संभावित भविष्य: मैपर लिथोग्राफी से मास्कलेस मल्टीप्थ इलेक्ट्रॉन लिथोग्राफी । " हम इस लेख के वाक्यांशों में से एक पर ध्यान केंद्रित करेंगे: "..." छेद "के साथ ये सभी माइक्रो-प्लेट्स सीरियल पौधों पर पहले से ही विकसित एमईएमएस तकनीकी प्रक्रियाओं के अनुसार बनाए गए हैं ..." जो हमारे पूरे भविष्य के इतिहास के लिए महत्वपूर्ण महत्व है।

इसलिए, प्रोटोटाइप के विकास और निर्माण की लंबी अवधि के बाद, मैपर लिथोग्राफी एक ऐसे समय में आया जब इसमें इलेक्ट्रॉनिक प्रकाशिकी के उच्च-गुणवत्ता और प्रजनन योग्य तत्वों का एक बहुत कुछ लिया गया था। प्रारंभिक नमूने डेल्फ़्ट विश्वविद्यालय में बनाए गए थे, लेकिन एक प्रोटोटाइप बनाने और साबित करने के लिए अवधारणा एक बात है, और सख्त गुणवत्ता नियंत्रण के साथ बड़े पैमाने पर उत्पादन स्थापित करना एक और है, और विश्वविद्यालय का कार्य नहीं है। स्पष्ट अगला चरण "सीरियल प्लांट्स में सिद्ध तकनीकी प्रक्रियाएं" हैं, लेकिन यहां मैपर लिथोग्राफी एक अप्रिय आश्चर्य की प्रतीक्षा कर रही थी - ऐसे कोई निर्माता नहीं थे जो ऐसे तत्व बनाना चाहते थे। सबसे पहले, पारंपरिक एमईएमएस प्रस्तुतियों के लिए इलेक्ट्रॉनिक ऑप्टिक्स के एमईएमएस तत्वों के लिए मैपर लिथोग्राफी की आवश्यकताएं बहुत अधिक थीं। उदाहरण के लिएपहले से मौजूद CMOS तर्क के साथ इलेक्ट्रॉन बीम के लिए छेद के संयोजन की सटीकता सौ नैनोमीटर से अधिक नहीं होनी चाहिए; पारंपरिक एमईएमएस कारखानों में, संपर्क लिथोग्राफी विधियों का मुख्य रूप से उपयोग किया जाता है, जो संरेखण की सटीकता को एक माइक्रोमीटर से बेहतर प्राप्त करने की अनुमति नहीं देते हैं। दूसरे, मैपर लिथोग्राफी को इलेक्ट्रॉनिक लेंस की गुणवत्ता को नियंत्रित करने के लिए विशेष रूप से विकसित मेट्रोलॉजिकल सिस्टम की आवश्यकता होती है, जो सामान्य एमईएमएस प्रक्रिया में उपयोग नहीं किए जाते हैं। तीसरा, तत्वों का उत्पादन मात्रा बहुत छोटा है (प्रति वर्ष अधिकतम कई हजार)। इस प्रकार, "सीरियल पौधों में सिद्ध तकनीकी प्रक्रियाएं" फिट नहीं हुईं।मैपर लिथोग्राफी को इलेक्ट्रॉनिक लेंस की गुणवत्ता नियंत्रण के लिए विशेष रूप से विकसित मेट्रोलॉजिकल सिस्टम की आवश्यकता होती है, जो सामान्य एमईएमएस प्रक्रिया में उपयोग नहीं किए जाते हैं। तीसरा, तत्वों का उत्पादन मात्रा बहुत छोटा है (प्रति वर्ष अधिकतम कई हजार)। इस प्रकार, "सीरियल पौधों में सिद्ध तकनीकी प्रक्रियाएं" फिट नहीं हुईं।मैपर लिथोग्राफी को इलेक्ट्रॉनिक लेंस की गुणवत्ता नियंत्रण के लिए विशेष रूप से विकसित मेट्रोलॉजिकल सिस्टम की आवश्यकता होती है, जो सामान्य एमईएमएस प्रक्रिया में उपयोग नहीं किए जाते हैं। तीसरा, तत्वों का उत्पादन मात्रा बहुत छोटा है (प्रति वर्ष अधिकतम कई हजार)। इस प्रकार, "सीरियल पौधों में सिद्ध तकनीकी प्रक्रियाएं" फिट नहीं हुईं।

जैसा कि डच ने ठीक ही निर्णय लिया था, यदि संयंत्र मोहम्मद के पास नहीं जाता है, तो मोहम्मद अपना खुद का संयंत्र बनाता है। यहाँ, हालांकि, एक अप्रिय प्रश्न उत्पन्न हुआ: पैसा कहाँ है, ज़िन? निवेशकों की आवश्यकता है, आप उन्हें पा सकते हैं, लेकिन निवेश के बदले में उन्हें पाई का एक बड़ा टुकड़ा चाहिए, विशेष रूप से बौद्धिक संपदा अधिकारों के क्षेत्र में। परियोजना लगभग एक गतिरोध पर पहुंच गई, लेकिन रूसनो एक दिलचस्प सुझाव के साथ क्षितिज पर दिखाई दिया: हम मुख्य शर्त के साथ निवेश करते हैं कि संयंत्र रूस में बनाया जाए। वे सब कुछ पर सहमत हुए और एक निर्णय लिया गया: मैपर लिथोग्राफी को अपनी आवश्यकताओं के लिए डिज़ाइन और निर्मित एक एमईएमएस कारखाना प्राप्त होता है; रूस एमईएमएस कारखाना विश्व स्तरीय प्रौद्योगिकी, कुशल रोजगार आदि प्राप्त करता है। जैसा कि अमेरिकियों का कहना है: "जीत की स्थिति।" इस प्रकार LLC Mapper का जन्म हुआ, जिसे डच को Mapper LLC के नाम से जाना गया।

मुझे आशा है कि मैं इस सवाल का जवाब देने में कामयाब रहा कि मुझसे अक्सर पूछा जाता है कि वे हमारे कारखाने को कैसे देखते हैं: "रूस में क्यों?"

मैपर फैक्टरी का इतिहास

अगला सवाल जो मैं आमतौर पर सुनता हूं वह है: "और यह सब आपके लिए कैसे काम करता है?" चलिए शुरू करते हैं।

प्रारंभिक चरण

मॉस्को में एक कारखाना बनाने का निर्णय लेने के बाद, मैपर की कहानी को दो समानांतर प्रक्रियाओं में विभाजित किया गया था: मॉस्को में और डेल्फ़्ट में। मैपर का मॉस्को हिस्सा, जिसमें जनरल डायरेक्टर और ऑपरेशंस (डच) के डायरेक्टर, चीफ अकाउंटेंट और ऑपरेशन इंजीनियर्स (रशियन) शामिल थे, फैक्ट्री के निर्माण में लगे हुए थे और प्रोडक्शन डिपार्टमेंट के डायरेक्टर की अध्यक्षता में प्रोडक्शन डिपार्टमेंट, डेल्फ़्ट में आधारित था और इंजीनियरिंग कर्मियों के प्रशिक्षण और उत्पादन के लिए उपकरणों के चयन में लगा हुआ था। लाइन।

सीट का चयन

कारखाने के संगठन के लिए, दो विकल्पों पर विचार किया गया था: तैयार किए गए स्वच्छ कमरे किराए पर लेना या अपना खुद का निर्माण करना। विभिन्न संभावनाओं पर विचार करने के बाद, डच इस नतीजे पर पहुंचे कि उनके स्वयं के साफ कमरों का निर्माण सबसे प्रभावी होगा, हालांकि खरोंच से नहीं, बल्कि टेक्नोपॉलिस "मॉस्को" (पूर्व में एएलएलके "मोस्कोविच") की छत के नीचे । टेक्नोपोलिस ने पुनर्निर्मित कार्यशालाएं प्रदान की (जिसमें केवल आंतरिक दीवारों का निर्माण करना आवश्यक था), बुनियादी ढांचे (पानी, बिजली, हीटिंग, सीवेज, आदि), सुविधाजनक स्थान, खुद के सीमा शुल्क पोस्ट, आदि। इसके अलावा, विभिन्न हाई-टेक कंपनियों को एक छत के नीचे इकट्ठा किया जाता है, और एक साथ, जैसा कि आप जानते हैं, जीवित रहना आसान है।

कारखाना निर्माण

निर्माण नवंबर 2013 में शुरू हुआ। फोटो 28 नवंबर, 2013 को निर्माण की स्थिति को दर्शाता है।

इसलिए 25 मार्च 2014 को फोटोलिथोग्राफ़ी ज़ोन ऐसा दिखता था:

टाइमलैप्स वीडियो (22 नवंबर से 11 अप्रैल तक तीन मिनट में) यूट्यूब पर देखा जा सकता है:

जून में, हम एक नए कार्यालय में चले गए, 2 जून को उत्पादों का पहला बैच जारी किया गया (ग्लास स्पेसर्स, जिसे मूल रूप से क्लीनर की आवश्यकता नहीं थी), और 3 जुलाई को सोबिनिन और चूबाइस की उपस्थिति में कारखाना खोला गया था

। इस घटना का एक वीडियो यहां देखा जा सकता है । । यह ध्यान दिया जाना चाहिए कि उत्पादों का वास्तविक उत्पादन अभी तक लॉन्च नहीं किया गया है, इसलिए, चौग़ा में लिप्तता की अनुमति है।

डच काल

कारखाने के निर्माण के अंत से, हमें चार निर्देशांक में ले जाया जाता है: मास्को से डेल्फ़्ट तक और समय में वापस - 2013 में, इसकी शुरुआत के लिए और अधिक सटीक रूप से। मॉस्को में कारखाना केवल डिजाइन चरण में है, हालांकि, डेल्फ़्ट में काम पहले से ही पूरे जोरों पर है - जब तक निर्माण पूरा नहीं हो जाता, तब तक कारखाने को उपकरण और योग्य कर्मियों दोनों से सुसज्जित किया जाना चाहिए। दोनों की तैयारी हॉलैंड में, डेल्फ़्ट में होती है।

एलएलसी मैपर के निर्माण के समय मैपर लिथोग्राफी में उपलब्ध तकनीक पर संक्षेप में ध्यान दें। जैसा कि ऊपर उल्लेख किया गया है, मैपर लिथोग्राफी का जन्म डेल्फ़्ट यूनिवर्सिटी ऑफ़ टेक्नोलॉजी की दीवारों के भीतर हुआ था और तदनुसार, इसके साथ हमेशा घनिष्ठ संबंध रहे हैं। इसलिए, जब इलेक्ट्रॉनिक ऑप्टिक्स के एमईएमएस तत्वों के निर्माण के बारे में सवाल उठा, तो विश्वविद्यालय के स्वच्छ कमरे एक प्राकृतिक विकल्प थे, अब विश्वविद्यालय प्रौद्योगिकी को उत्पादन में स्थानांतरित करना पड़ा।

इस प्रकार, हमारे पास निम्नलिखित कार्य थे: मौजूदा विश्वविद्यालय प्रौद्योगिकी को समझने के लिए, इसे उत्पादन रेल में स्थानांतरित करना और इन उत्पादन कार्यों के लिए उपयुक्त उपकरण चुनना। यदि विश्वविद्यालय प्रौद्योगिकी को "हम उन उपकरणों का उपयोग करते हैं, जो कि हमारे सिद्धांत का उपयोग करते हैं" के सिद्धांत पर बनाया गया था, तो "हम उन उपकरणों को खरीदते हैं जो उच्च गुणवत्ता वाले अंतिम परिणाम प्राप्त करने के लिए आवश्यक हैं।"

उपकरण चुनते समय, मेरा अनुभव काम में आया - यूरोपीय सेमीकंडक्टर आर एंड डी और उत्पादन में 15 साल का काम - पहले बेल्जियम में IMEC अनुसंधान केंद्र, फिर जर्मनी में GlobalFoundries के कारखाने (पूर्व में AMD कारखाने) में। उपकरण सावधानी से चुना गया था: पहले, उपकरण की आवश्यकताओं को संकलित, चर्चा और अनुमोदित किया गया था, संभावित आपूर्तिकर्ता (आमतौर पर 2-3 कंपनियां) पाए गए थे, प्रदर्शन प्रयोगों का आयोजन किया गया था (आमतौर पर उपकरण आपूर्तिकर्ता कंपनी की यात्रा के साथ), फिर सामान्य आवश्यकताओं के अनुपालन के आधार पर कई कंपनियों से एक आपूर्तिकर्ता का चयन किया गया था। कंपनी के छापे और उपकरण की कीमतें। यह ध्यान दिया जाना चाहिए कि पहली जगह में आवश्यकताओं का अनुपालन था, न कि कीमत का। उदाहरण के लिए,गहरी नक़्क़ाशीदार सिलिकॉन इंस्टॉलेशन को बाज़ार में सबसे महंगा (प्रतियोगियों की आधी लागत) खरीदा गया क्योंकि यह केवल तत्वों के उत्पादन के लिए कठोर आवश्यकताओं को पूरा करता था। इसके अलावा, निर्माता उत्पादन के लिए उपकरणों के निर्माण में विशेषज्ञता प्राप्त करता है, जबकि प्रतिस्पर्धी विश्वविद्यालयों और अनुसंधान केंद्रों के लिए उपकरणों के निर्माण में विशेषज्ञता प्राप्त करता है। दूसरी ओर, गुणवत्ता के क्षेत्र में समझौते की अनुपस्थिति के बावजूद, उपकरण लाइन को अनुकूलित करके और कई संभावित आपूर्तिकर्ताओं के साथ निविदाओं का संचालन करके, सभी उपकरणों को न केवल बजट की अधिकता के साथ खरीदा गया था, बल्कि 15% बचत के साथ (मैं ध्यान देता हूं कि बचाया गया पैसा था) साफ कमरे के निर्माण पर खर्च किया जाता है, क्योंकि वे, वास्तव में, मूल रूप से नियोजित लागत से अधिक हैं)।

उपकरणों के चयन और खरीद के समानांतर, हमारे इंजीनियरों को मैपर लिथोग्राफी में प्रशिक्षित किया गया था। चूँकि हमने जो उपकरण खरीदे थे, वे अधिकतर Delft में उपलब्ध थे, से अलग थे, लक्ष्य यह नहीं था कि उपकरण का उपयोग कैसे किया जाए, बल्कि यह समझना कि अंतिम उत्पाद के रूप में क्या करना चाहिए। इसके अलावा, मूल कंपनी में प्रयुक्त व्यावसायिक प्रक्रियाओं को सीखना आवश्यक था - रिपोर्ट कैसे तैयार की जाती है, निर्णय कैसे किए जाते हैं, आदि।

कारखाने के शुभारंभ की योजना पर बहुत ध्यान दिया गया था। उपकरण के प्रत्येक टुकड़े के लिए, आवश्यक क्रियाओं की एक सूची (कई सौ अंक) संकलित की गई थी - जैसे कि टेक-ऑफ से पहले पायलटों के लिए - जिसे ऑपरेशन के लिए उपकरण तैयार होने से पहले पूरा करना था। नतीजतन, सावधान योजना ने भुगतान किया - सभी उपकरण प्रसव समय पर पूरा हो गए, उपकरण शुरू होने में लगभग दो महीने लग गए (उपकरण के अलग-अलग टुकड़ों के अपवाद के साथ, जिसमें निर्माता दिवालियापन जैसी खराब भविष्यवाणी की गई समस्याएं थीं)।

जिस समय मैं कंपनी (मई 2013) में शामिल हुआ, उस समय तीन इंजीनियर, एक मुख्य लेखाकार और एक महाप्रबंधक थे। कारखाना (मई 2014) शुरू होने के समय तक, मैपर के पास नीदरलैंड में प्रशिक्षित 15 इंजीनियर थे।

फैक्टरी लॉन्च

सावधान योजना के लिए धन्यवाद, कारखाने बिना किसी अतिरिक्त के शुरू हो गए, उपकरण निर्माताओं में से एक के दिवालियापन को छोड़कर - यह अच्छा है कि वह उपकरण का उत्पादन करने और इसे आंशिक रूप से शुरू करने में कामयाब रहा, लेकिन उसे खुद को तीसरे पक्ष की कंपनियों की भागीदारी के साथ खत्म करना पड़ा।

टीम के समन्वित कार्य ने हमें अगस्त 2014 में पहला सिलिकॉन तत्व (प्रोजेक्शन इलेक्ट्रॉनिक लेंस) बनाने की अनुमति दी। पहली तकनीकी इकाई के अनपैकिंग को 4 महीने बीत चुके हैं।

आज - फैक्टरी सुविधाएँ

आज, हमारा कारखाना 100 मिमी प्लेटों पर आधुनिक एमईएमएस के निर्माण के लिए लगभग पूर्ण उत्पादन लाइन है। हमारे पास निम्नलिखित तकनीकी क्षमताएं हैं:

लिथोग्राफी (300 एनएम तक रिज़ॉल्यूशन, प्लेट के आगे और पीछे के संयोजन की संभावना)
प्लाज्मा रासायनिक नक़्क़ाशी (बॉश विधि का उपयोग करके गहरी नक़्क़ाशी सहित)
ढांकता हुआ और धातु फिल्मों का चित्रण
उच्च तापमान ऑक्सीकरण
तरल रासायनिक उपचार
मेट्रोलॉजी (दोनों मानक और विशेष, मैपर लिथोग्राफी द्वारा विकसित)

लगभग सभी प्रतिष्ठान रोबोटिक हैं - कारतूस से प्लेटों को रोबोट द्वारा प्रसंस्करण के लिए खिलाया जाता है।

हमने मैपर लिथोग्रापाही के लिए आवश्यक इलेक्ट्रॉनिक प्रकाशिकी के लगभग सभी तत्वों के उत्पादन में महारत हासिल की है, अब हम अंतिम शेष तत्व के लिए एक प्रक्रिया प्रौद्योगिकी विकसित कर रहे हैं - एक इलेक्ट्रोड जो इलेक्ट्रॉन बीम को नियंत्रित करता है। इलेक्ट्रोड स्वयं एक अनुबंधित प्लेट निर्माता द्वारा निर्मित होता है, हमारा कार्य मूल चिप को नुकसान पहुंचाए बिना इलेक्ट्रॉन बीम के पारित होने के लिए उच्च सटीकता के साथ छेद के माध्यम से खोदना है।

प्रारंभिक आशा है कि हमारा कारखाना कुछ उत्पादों का उत्पादन करने में सक्षम होगा, इसके अलावा मूल कंपनी के लिए इलेक्ट्रॉनिक प्रकाशिकी तत्व भी भौतिक नहीं थे। रूसी बाजार में मांग बेहद कम है, इसके अलावा, अनुबंध प्लेट निर्माता, जो हम हैं, मांग में नहीं हैं - हर किसी को तैयार-किए गए उपकरणों की आवश्यकता होती है, लेकिन ऐसी कंपनियां नहीं हैं जो तैयार किए गए प्लेटों से ऐसे उपकरण बना सकती हैं। लेकिन यह एक अलग लेख के लिए एक विषय है। अब तक, हमारे मुख्य आदेशों के अलावा, हमने 10 प्लेटों से एक्सेलेरोमीटर के केवल एक बैच का निर्माण किया है।

निष्कर्ष

हम अक्सर सुनते हैं: "ठीक है, आपने अपनी माइक्रोस्कोपिक फैक्ट्री शुरू की, 30 नौकरियों का सृजन किया, हमारी अर्थव्यवस्था के लिए यह बाल्टी में गिरावट है।" सिद्धांत रूप में, हाँ, रूसी अर्थव्यवस्था के दृष्टिकोण से, हम महत्वहीन हैं। लेकिन हमारी योग्यता कहीं और है। हमारे उदाहरण पर, हमने दिखाया कि रूस में यूरोपीय स्तर पर उच्च तकनीक उत्पादन बनाना काफी संभव है। यह पैसा चोरी नहीं हुआ है और लॉन्च कई सालों तक नहीं चलेगा। यह एक रूसी कंपनी उच्च गुणवत्ता के साथ काम कर सकती है, जो समय पर सभी संविदात्मक दायित्वों को पूरा करती है। कि शिलालेख "मेड इन रशिया" एक तड़का हुआ मुस्कराहट नहीं, बल्कि गर्व का कारण बन सकता है।

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