рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдореЗрдВ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреА рдЬрдЧрд╣ рд▓реЗ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИ рдФрд░ рдЙрдиреНрд╣реЗрдВ рдПрдХ рдирдП рд╕реНрддрд░ рдкрд░ рд▓реЗ рдЬрд╛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИ

рдЫрд╡рд┐
рдЕрд╡рдзрд╛рд░рдгрд╛ рдХреА рд╕рдВрдЪрд╛рд▓рди рдХреНрд╖рдорддрд╛ рдХрд╛ рдкреНрд░рджрд░реНрд╢рди рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рд▓реЗрдЦрдХ рдФрд░ рдЯреАрдо рдиреЗ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рд╕реЗ рдПрдХ рдЗрдВрд╕реБрд▓реЗрдЯрд░ рдкрд░ рд╕рдм рдкреНрд▓рд╛рдирд░ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдФрд░ рдлрд┐рд░ FinFET рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдпреБрдХреНрдд рдЗрдирд╡рд░реНрдЯрд░ рдмрдирд╛рдпрд╛ред

рд▓рдЧрднрдЧ 70 рд╕рд╛рд▓ рдкрд╣рд▓реЗ, рдмреЗрд▓ рдЯреЗрд▓реАрдлреЛрди рдкреНрд░рдпреЛрдЧрд╢рд╛рд▓рд╛ рдХреЗ рджреЛ рднреМрддрд┐рдХрд╡рд┐рджреЛрдВ - рдЬреЙрди рдмреЗрд░реНрдбрд┐рди рдФрд░ рд╡рд╛рд▓реНрдЯрд░ рдмреНрд░реЗрдЯрди [рдЬреЙрди рдмрд╛рд░рдбреАрди рдФрд░ рдЬреЙрдиред рд╡рд╛рд▓реНрдЯрд░ рдмреНрд░реЗрдЯрди] - рдПрдХ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдкреНрд▓реЗрдЯ рдореЗрдВ рд╕реЛрдиреЗ рдХреЗ рджреЛ рдкрддрд▓реЗ рд╕рдВрдкрд░реНрдХреЛрдВ рдХреЛ рджрдмрд╛рдпрд╛, рдФрд░ рдкреНрд▓реЗрдЯ рдХреЗ рдиреАрдЪреЗ рд╕реЗ рддреАрд╕рд░рд╛ рд╕рдВрдкрд░реНрдХ рдмрдирд╛рдпрд╛ред рдЗрд╕ рд╕рдВрд░рдЪрдирд╛ рд╕реЗ рдЧреБрдЬрд░рдиреЗ рд╡рд╛рд▓реЗ рд╡рд░реНрддрдорд╛рди рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрдордЬреЛрд░ рд╕рд┐рдЧреНрдирд▓ рдХреЛ рдордЬрдмреВрдд рдореЗрдВ рдмрджрд▓рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИред рдирддреАрдЬрддрди, рдкрд╣рд▓рд╛ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рджрд┐рдЦрд╛рдИ рджрд┐рдпрд╛ - рдПрдХ рдПрдореНрдкрд▓реАрдлрд╛рдпрд░ рдФрд░ рдПрдХ рд╕реНрд╡рд┐рдЪ, рдЬреЛ, рд╢рд╛рдпрдж, 20 рд╡реАрдВ рд╢рддрд╛рдмреНрджреА рдХрд╛ рд╕рдмрд╕реЗ рдмрдбрд╝рд╛ рдЖрд╡рд┐рд╖реНрдХрд╛рд░ рдмрди рдЧрдпрд╛ред рдореВрд░ рдХреЗ рдХрд╛рдиреВрди рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдзрдиреНрдпрд╡рд╛рдж, рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдиреЗ 1950 рдХреЗ рджрд╢рдХ рдореЗрдВ рдЬреЛ рдХреБрдЫ рднреА рд╕рдВрднрд╡ рд╣реЛ рдЙрд╕рд╕реЗ рдкрд░реЗ рдХрдВрдкреНрдпреВрдЯрд░реЛрдВ рдХреЛ рд╡рд┐рдХрд╕рд┐рдд рдХрд┐рдпрд╛ред

рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдХреЗ рдкреНрд░рд╛рд░рдВрднрд┐рдХ рдЗрддрд┐рд╣рд╛рд╕ рдореЗрдВ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдХреА рддрд╛рд░реЛрдВ рдХреА рднреВрдорд┐рдХрд╛ рдХреЗ рдмрд╛рд╡рдЬреВрдж, рдЗрд╕реЗ рдЬрд▓реНрдж рд╣реА рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рдмрджрд▓ рджрд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛ред рд▓реЗрдХрд┐рди рдЕрдм, рдЖрд╢реНрдЪрд░реНрдпрдЬрдирдХ рд░реВрдк рд╕реЗ, рдпрд╣ рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рд╡рд╛рдкрд╕ рдЖрдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рддреИрдпрд╛рд░ рд╣реИред рдЪрд┐рдк рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдореЗрдВ рдЕрдЧреНрд░рдгреА рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдХреЗ рджрд┐рд▓ рдореЗрдВ рдШрдЯрдХреЛрдВ рдХреЗ рдкреНрд░рддрд┐рд╕реНрдерд╛рдкрди рдХреЛ рд╕рдВрдЪрд╛рд▓рд┐рдд рдХрд░ рд░рд╣реЗ рд╣реИрдВ, рдкреНрд░рд╡рд╛рд╣рдХреАрдп рдЪреИрдирд▓ред рд╡рд┐рдЪрд╛рд░ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреЛ рдПрдХ рдРрд╕реА рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рд╕реЗ рдмрджрд▓рдирд╛ рд╣реИ рдЬреЛ рд╡рд░реНрддрдорд╛рди рдХреЛ рдмреЗрд╣рддрд░ рдврдВрдЧ рд╕реЗ рд╕рдВрдЪрд╛рд▓рд┐рдд рдХрд░ рд╕рдХреЗред рдЗрди рдЪреИрдирд▓реЛрдВ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдмрдирд╛рдиреЗ рд╕реЗ рдЗрдВрдЬреАрдирд┐рдпрд░реЛрдВ рдХреЛ рдЧрддрд┐ рдФрд░ рдКрд░реНрдЬрд╛ рджрдХреНрд╖рддрд╛ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рд╕рд░реНрдХрд┐рдЯ рдХреЗ рдкреНрд░рджрд░реНрд╢рди рдореЗрдВ рд╕реБрдзрд╛рд░ рдЬрд╛рд░реА рд░рдЦрдиреЗ рдореЗрдВ рдорджрдж рдорд┐рд▓ рд╕рдХрддреА рд╣реИ, рдЬрд┐рд╕рдХрд╛ рдЕрд░реНрде рд╣реЛрдЧрд╛ рдЖрдиреЗ рд╡рд╛рд▓реЗ рд╡рд░реНрд╖реЛрдВ рдореЗрдВ рдмреЗрд╣рддрд░ рдХрдВрдкреНрдпреВрдЯрд░, рд╕реНрдорд╛рд░реНрдЯрдлреЛрди рдФрд░ рдХрдИ рдЕрдиреНрдп рдЧреИрдЬреЗрдЯреНрд╕ рдХреА рдЙрдкрд╕реНрдерд┐рддрд┐ред

рд▓рдВрдмреЗ рд╕рдордп рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рд╡реИрдХрд▓реНрдкрд┐рдХ рдЪреИрдирд▓реЛрдВ рдореЗрдВ рд░реБрдЪрд┐ рдП III рдмреА рд╡реА рдХреЗ рдЖрд╕рдкрд╛рд╕ рдШреВрдорддреА рд╣реИ , рдЬреИрд╕реЗ рдЧреИрд▓рд┐рдпрдо рдЖрд░реНрд╕реЗрдирд╛рдЗрдб, рдЖрд╡рд░реНрдд рд╕рд╛рд░рдгреА рдореЗрдВ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреЗ рдмрд╛рдИрдВ рдФрд░ рджрд╛рдИрдВ рдУрд░ рд╕реНрдерд┐рдд рдкрд░рдорд╛рдгреБрдУрдВ рд╕реЗ рдорд┐рд▓рдХрд░ред рдФрд░ рдореИрдВрдиреЗ рдЙрд╕ рдЕрдзреНрдпрдпрди рдореЗрдВ рднрд╛рдЧ рд▓рд┐рдпрд╛ред рдЖрда рд╕рд╛рд▓ рдкрд╣рд▓реЗ, рдореИрдВрдиреЗ рдЗрд╕ рдкрддреНрд░рд┐рдХрд╛ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдПрдХ рд▓реЗрдЦ рд▓рд┐рдЦрд╛ рдерд╛ , рдЬрд┐рд╕рдореЗрдВ рдЗрд╕ рддрд░рд╣ рдХреЗ рдХрдиреЗрдХреНрд╢рди рдкрд░ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдХреЗ рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдореЗрдВ рд╣реБрдИ рдкреНрд░рдЧрддрд┐ рдХреЛ рд░реЗрдЦрд╛рдВрдХрд┐рдд рдХрд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛ред


FinFET- рдЖрдзрд╛рд░рд┐рдд рдЗрдиреНрд╡рд░реНрдЯрд░ рдореЗрдВ рджреЛ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдореЗрдВ рдлрд┐рди рдЪреИрдирд▓ рд╣реЛрддреЗ рд╣реИрдВ рдЬреЛ рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдкреНрд▓реЗрди (рд╕рдмрд╕реЗ рдКрдкрд░ рдЧреБрд▓рд╛рдмреА рдЪреИрдирд▓ рдФрд░ рдиреАрдЪреЗ рдПрдХ рдФрд░ рд╕реЗрдЯ рдХреЗ рдПрдХ рдмреЗрдЬрд▓ рд╡реНрдпреВ) рд╕реЗ рдмрд╛рд╣рд░ рдЦрдбрд╝реЗ рд╣реЛрддреЗ рд╣реИрдВред рдКрдкрд░ рдкрдВрдЦреЛрдВ рдХреЗ рдмреАрдЪ рдХреА рджреВрд░реА рджрд╕рд┐рдпреЛрдВ рдиреИрдиреЛрдореАрдЯрд░ рд╣реИред

рд▓реЗрдХрд┐рди рдкрд░рд┐рдгрд╛рдорд╕реНрд╡рд░реВрдк, рд╣рдордиреЗ рдкрд╛рдпрд╛ рдХрд┐ рдП III рдмреА рд╡реА рдХреЗ рд╕рд╛рде рджреГрд╖реНрдЯрд┐рдХреЛрдгрдореМрд▓рд┐рдХ рднреМрддрд┐рдХ рд╕реАрдорд╛рдПрдБ рд╣реИрдВред рдФрд░ рдпрд╣ рднреА, рд╕рдмрд╕реЗ рдЕрдзрд┐рдХ рд╕рдВрднрд╛рд╡рдирд╛ рд╣реИ, рдпрд╣ рдореМрдЬреВрджрд╛ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рддрдХрдиреАрдХ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдПрдХреАрдХреГрдд рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдмрд╣реБрдд рдорд╣рдВрдЧрд╛ рдФрд░ рдЬрдЯрд┐рд▓ рд╣реЛрдЧрд╛ред рдЗрд╕рд▓рд┐рдП рдХреБрдЫ рд╕рд╛рд▓ рдкрд╣рд▓реЗ, рдкрд░реНрдбреНрдпреВ рд╡рд┐рд╢реНрд╡рд╡рд┐рджреНрдпрд╛рд▓рдп рдореЗрдВ рдореЗрд░реА рдЯреАрдо рдиреЗ рдПрдХ рдЕрдиреНрдп рдЙрдкрдХрд░рдг рдХреЗ рд╕рд╛рде рдкреНрд░рдпреЛрдЧ рдХрд░рдирд╛ рд╢реБрд░реВ рдХрд┐рдпрд╛: рдПрдХ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдЬрд┐рд╕рдХрд╛ рдЪреИрдирд▓ рдЬрд░реНрдордиреА рд╕реЗ рдмрдирд╛ рд╣реИред рддрдм рд╕реЗ, рд╣рдордиреЗ CMOS (рдкреВрд░рдХ рдзрд╛рддреБ-рдСрдХреНрд╕рд╛рдЗрдб-рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХ) [CMOS, рдкреВрд░рдХ рдзрд╛рддреБ-рдСрдХреНрд╕рд╛рдЗрдб-рд╕реЗрдореАрдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░] рдХреА рдкрд╣рд▓реА рдЖрдХреГрддрд┐ рдХрд╛ рдкреНрд░рджрд░реНрд╢рди рдХрд┐рдпрд╛ рд╣реИред рдЙрд╕реА рддрд░реНрдХ рдХреЗ рдмрд╛рд░реЗ рдореЗрдВ рдЬреЛ рдЖрдзреБрдирд┐рдХ рдХрдВрдкреНрдпреВрдЯрд░реЛрдВ рдХреЗ рдЕрдВрджрд░ рд╣реИ, рдХреЗрд╡рд▓ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рд╕реЗ рдмрдирд╛рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рд╣реИ рдЬреЛ рд╕рд╛рдзрд╛рд░рдг рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдкрд░ рдЙрдЧрд╛рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред рд╣рдордиреЗ рдЗрд╕ рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рд╕реЗ рдХрдИ рдЕрд▓рдЧ-рдЕрд▓рдЧ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдЖрд░реНрдХрд┐рдЯреЗрдХреНрдЪрд░ рднреА рдмрдирд╛рдП рд╣реИрдВред рдЗрдирдореЗрдВ рдиреИрдиреЛрд╡рд╛рдпрд░ рдбрд┐рд╡рд╛рдЗрд╕ рд╢рд╛рдорд┐рд▓ рд╣реИрдВ рдЬреЛ рдЖрдЬ рдХрд╛ рд╕рдмрд╕реЗ рдЕрдЪреНрдЫрд╛ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░, FinFET, рдЬрдм рдЕрдЧрд▓рд╛ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдХрджрдо рд╣реЛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИредрдЗрд╕реЗ рдЕрдм рдФрд░ рдХрдо рдХрд░рдирд╛ рд╕рдВрднрд╡ рдирд╣реАрдВ рд╣реЛрдЧрд╛ред

рдФрд░ рдЗрд╕рд╕реЗ рднреА рджрд┐рд▓рдЪрд╕реНрдк рдмрд╛рдд рдпрд╣ рд╣реИ рдХрд┐ рдпрд╣ рдкрддрд╛ рдЪрд▓рддрд╛ рд╣реИ рдХрд┐ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдХреЛ рдХрд╛рдо рдкрд░ рд▓реМрдЯрдирд╛ рдЙрддрдирд╛ рдореБрд╢реНрдХрд┐рд▓ рдирд╣реАрдВ рд╣реИ рдЬрд┐рддрдирд╛ рд▓рдЧрддрд╛ рд╣реИред рдЪреИрдирд▓ рдореЗрдВ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдФрд░ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдХреЗ рд╕рдВрдпреЛрдЬрди рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░рдиреЗ рд╡рд╛рд▓реЗ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдкрд╣рд▓реЗ рд╕реЗ рд╣реА рдирдП рдЪрд┐рдкреНрд╕ рдореЗрдВ рдкрд╛рдП рдЬрд╛ рд╕рдХрддреЗ рд╣реИрдВ, рдФрд░ рд╡реЗ рдкрд╣рд▓реА рдмрд╛рд░ 2015 рдореЗрдВ рдЖрдИрдмреАрдПрдо рд╕реЗ рднрд╡рд┐рд╖реНрдп рдХреЗ рдЪрд┐рдк рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдкреНрд░реМрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХрд┐рдпреЛрдВ рдХреЗ рдкреНрд░рджрд░реНрд╢рди рдореЗрдВ рджрд┐рдЦрд╛рдИ рджрд┐рдПред рдпреЗ рдЙрджреНрдпреЛрдЧ рдЬрд░реНрдордиреА рдореЗрдВ рдЪреИрдирд▓реЛрдВ рдореЗрдВ рдЬрд░реНрдордиреА рдХреЗ рдмрдбрд╝реЗ рд╢реЗрдпрд░реЛрдВ рдХреЛ рд╢рд╛рдорд┐рд▓ рдХрд░рдиреЗ рдХреА рдорд╛рдВрдЧ рдХрд░рдиреЗ рд╡рд╛рд▓рд╛ рдкрд╣рд▓рд╛ рдХрджрдо рд╣реЛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИред рдХреБрдЫ рд╡рд░реНрд╖реЛрдВ рдХреЗ рдмрд╛рдж, рд╣рдо рдЗрд╕ рддрдереНрдп рдХрд╛ рд╕рд╛рдордирд╛ рдХрд░ рд╕рдХрддреЗ рд╣реИрдВ рдХрд┐ рдЬрд┐рд╕ рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдиреЗ рд╣рдореЗрдВ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рджрд┐рдП рд╣реИрдВ, рдЙрдиреНрд╣реЗрдВ рдЙрддреНрдХреГрд╖реНрдЯ рдкреНрд░рджрд░реНрд╢рди рдХреЗ рдЕрдЧрд▓реЗ рдпреБрдЧ рдореЗрдВ рд╕реНрдерд╛рдирд╛рдВрддрд░рд┐рдд рдХрд░рдиреЗ рдореЗрдВ рдорджрдж рдорд┐рд▓реАред

19 рд╡реАрдВ рд╢рддрд╛рдмреНрджреА рдХреЗ рдЕрдВрдд рдореЗрдВ рдЬрд░реНрдорди рд░рд╕рд╛рдпрдирд╢рд╛рд╕реНрддреНрд░реА рдХреНрд▓реЗрдореЗрдВрд╕ рд╡рд┐рдВрдХрд▓рд░ рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдХреЛ рд╕рдмрд╕реЗ рдкрд╣рд▓реЗ рдЕрд▓рдЧ рдФрд░ рдЦреЛрдЬрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛ред рдЗрд╕ рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдХрд╛ рдирд╛рдо рд╡реИрдЬреНрдЮрд╛рдирд┐рдХ рдХреА рдорд╛рддреГрднреВрдорд┐ рдХреЗ рдирд╛рдо рдкрд░ рд░рдЦрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛, рдФрд░ рдЗрд╕реЗ рд╣рдореЗрд╢рд╛ рдЦрд░рд╛рдм рд╕рдВрдЪрд╛рд▓рди рдорд╛рдирд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред рджреНрд╡рд┐рддреАрдп рд╡рд┐рд╢реНрд╡ рдпреБрджреНрдз рдХреЗ рджреМрд░рд╛рди рдпрд╣ рдмрджрд▓ рдЧрдпрд╛ рдерд╛, рдЬрдм рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдХреЗ рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХ рдЧреБрдгреЛрдВ рдХреА рдЦреЛрдЬ рдХреА рдЧрдИ рдереА - рдЕрд░реНрдерд╛рддреН, рд╡рд░реНрддрдорд╛рди рдХреЛ рд╕рдВрдЪрд╛рд▓рд┐рдд рдХрд░рдиреЗ рдФрд░ рдЕрд╡рд░реБрджреНрдз рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рдмреАрдЪ рд╕реНрд╡рд┐рдЪ рдХрд░рдиреЗ рдХреА рдХреНрд╖рдорддрд╛ред рдмрд╛рдж рдХреЗ рд╡рд░реНрд╖реЛрдВ рдореЗрдВ рдЬрд░реНрдордиреА рдореЗрдВ рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХ рдЙрдкрдХрд░рдгреЛрдВ рдХрд╛ рддреЗрдЬреА рд╕реЗ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рд╣реБрдЖред рд╕рдВрдпреБрдХреНрдд рд░рд╛рдЬреНрдп рдЕрдореЗрд░рд┐рдХрд╛ рдореЗрдВ, рдЙрддреНрдкрд╛рджрди, рдмрд╛рдЬрд╛рд░ рдХреА рдорд╛рдВрдЧреЛрдВ рдкрд░ рдкреНрд░рддрд┐рдХреНрд░рд┐рдпрд╛, 1946 рдореЗрдВ рдХреБрдЫ рд╕реМ рдкрд╛рдЙрдВрдб рд╕реЗ рдмрдврд╝рдХрд░ 1960 рддрдХ 45 рдЯрди рд╣реЛ рдЧрдпрд╛ред рд▓реЗрдХрд┐рди рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдЬреАрдд рдЧрдпрд╛; рдпрд╣ рддрд░реНрдХ рдФрд░ рдореЗрдореЛрд░реА рдЪрд┐рдкреНрд╕ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдПрдХ рд▓реЛрдХрдкреНрд░рд┐рдп рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдмрди рдЧрдпрд╛ рд╣реИред

рдФрд░ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреЗ рдкреНрд░рднреБрддреНрд╡ рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рдЕрдЪреНрдЫреЗ рдХрд╛рд░рдг рд╣реИрдВред рд╕рдмрд╕реЗ рдкрд╣рд▓реЗ, рдпрд╣ рдЕрдзрд┐рдХ рдФрд░ рд╕рд╕реНрддрд╛ рд╣реИред рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдореЗрдВ рдПрдХ рд╡реНрдпрд╛рдкрдХ рдмреИрдВрдб рдЧреИрдк рд╣реИ, рдПрдХ рдКрд░реНрдЬрд╛ рдЕрд╡рд░реЛрдзрдХ рдЬрд┐рд╕реЗ рдЪрд╛рд▓рдХрддрд╛ рдмрдирд╛рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рджреВрд░ рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рдирд╛ рдЪрд╛рд╣рд┐рдПред рдпрд╣ рдХреНрд╖реЗрддреНрд░ рдЬрд┐рддрдирд╛ рдмрдбрд╝рд╛ рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИ, рдЙрддрдирд╛ рд╣реА рдореБрд╢реНрдХрд┐рд▓ рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИ рдХрд┐ рдХрд░рдВрдЯ рдХреЗ рдЬрд░рд┐рдП рдЕрдирд╛рд╡рд╢реНрдпрдХ рдХреНрд╖рдг рдФрд░ рдмреЗрдХрд╛рд░ рдКрд░реНрдЬрд╛ рдореЗрдВ рдбрд┐рд╡рд╛рдЗрд╕ рдХреЗ рдорд╛рдзреНрдпрдо рд╕реЗ рд░рд┐рд╕рд╛рд╡ рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИред рдПрдХ рдмреЛрдирд╕ рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ, рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдореЗрдВ рдмреЗрд╣рддрд░ рддрд╛рдкреАрдп рдЪрд╛рд▓рдХрддрд╛ рдереА, рдЬрд┐рд╕рд╕реЗ рдЧрд░реНрдореА рдХреЛ рджреВрд░ рдХрд░рдирд╛ рдЖрд╕рд╛рди рд╣реЛ рдЬрд╛рддрд╛ рдерд╛ рддрд╛рдХрд┐ рд╕рд░реНрдХрд┐рдЯ рдЬрд╝реНрдпрд╛рджрд╛ рдЧрд░рдо рди рд╣реЛред

рд╕рднреА рд▓рд╛рднреЛрдВ рдХреЛ рджреЗрдЦрддреЗ рд╣реБрдП, рдЗрд╕рдореЗрдВ рд░реБрдЪрд┐ рд╣реЛрдирд╛ рд╕реНрд╡рд╛рднрд╛рд╡рд┐рдХ рд╣реИ - рд╣рдо рдЬрд░реНрдордиреА рдХреЛ рдЪреИрдирд▓ рдореЗрдВ рд╡рд╛рдкрд╕ рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рдмрд╛рд░реЗ рдореЗрдВ рдХреНрдпреЛрдВ рд╕реЛрдЪреЗрдВрдЧреЗред рдЬрд╡рд╛рдм рд╣реИ рдЧрддрд┐рд╢реАрд▓рддрд╛ред рдЬрд░реНрдордиреА рдореЗрдВ рдХрдорд░реЗ рдХреЗ рддрд╛рдкрдорд╛рди рдкрд░ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрди рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреА рддреБрд▓рдирд╛ рдореЗрдВ рд▓рдЧрднрдЧ рддреАрди рдЧреБрдирд╛ рдЕрдзрд┐рдХ рдЖрд╕рд╛рдиреА рд╕реЗ рдЪрд▓рддреЗ рд╣реИрдВред рдФрд░ рдЫреЗрдж - рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдореЗрдВ рдПрдХ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрди рдХреА рдЕрдиреБрдкрд╕реНрдерд┐рддрд┐, рдПрдХ рд╕рдХрд╛рд░рд╛рддреНрдордХ рдЪрд╛рд░реНрдЬ рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ рдорд╛рдирд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ - рд▓рдЧрднрдЧ рдЪрд╛рд░ рдЧреБрдирд╛ рдЕрдзрд┐рдХ рд╕реНрд╡реЗрдЪреНрдЫрд╛ рд╕реЗ рдЪрд▓рддрд╛ рд╣реИред


2015 рдореЗрдВ рд╢реБрд░реВ рдХреА рдЧрдИ рдиреМ рдЪрд░рдгреЛрдВ рд╡рд╛рд▓реА рд░рд┐рдВрдЧ CMOS рдСрд╕рд┐рд▓реЗрдЯрд░,

рддрдереНрдп рдпрд╣ рд╣реИ рдХрд┐ рдЬрд░реНрдордиреА рдореЗрдВ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрди рдФрд░ рдЫреЗрдж рдЗрддрдиреЗ рдореЛрдмрд╛рдЗрд▓ рд╣реИрдВ рдХрд┐ рдпрд╣ CMOS рд╕рд░реНрдХрд┐рдЯ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдПрдХ рд╕реБрд╡рд┐рдзрд╛рдЬрдирдХ рдЙрдореНрдореАрджрд╡рд╛рд░ рдмрди рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред рд╕реАрдПрдордУрдПрд╕ рджреЛ рдЕрд▓рдЧ-рдЕрд▓рдЧ рдкреНрд░рдХрд╛рд░ рдХреЗ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдХреЛ рдЬреЛрдбрд╝рддреА рд╣реИ: рдкреА-рдЪреИрдирд▓ рдПрдлрдИрдЯреА (рдкреАрдПрдлрдИрдЯреА), рдЬрд┐рд╕ рдЪреИрдирд▓ рдореЗрдВ рдЕрдзрд┐рдХ рдЫрд┐рджреНрд░ рд╣реЛрддреЗ рд╣реИрдВ, рдФрд░ рдПрди-рдЪреИрдирд▓ рдПрдлрдИрдЯреА (рдПрдирдПрдлрдИрдЯреА), рдЬрд┐рд╕рдореЗрдВ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдиреЛрдВ рдХреА рдЕрдзрд┐рдХрддрд╛ рд╣реЛрддреА рд╣реИред рдЬрд┐рддрдиреА рддреЗрдЬреА рд╕реЗ рд╡реЗ рдЪрд▓рддреЗ рд╣реИрдВ, рдЙрддрдиреА рд╣реА рддреЗрдЬреА рд╕реЗ рд╕рд░реНрдХрд┐рдЯ рдХрд╛рдо рдХрд░рддреЗ рд╣реИрдВред рдФрд░ рдЙрдирдХреЗ рдЖрдВрджреЛрд▓рди рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХ рд╡реЛрд▓реНрдЯреЗрдЬ рдореЗрдВ рдХрдореА рдХрд╛ рдорддрд▓рдм рдКрд░реНрдЬрд╛ рдХреА рдЦрдкрдд рдореЗрдВ рдХрдореА рд╣реИред

рдмреЗрд╢рдХ, рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдРрд╕реА рдХрдг рдЧрддрд┐рд╢реАрд▓рддрд╛ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдПрдХрдорд╛рддреНрд░ рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдирд╣реАрдВ рд╣реИред рдкрд╣рд▓реЗ рдЙрд▓реНрд▓реЗрдЦ рдХрд┐рдП рдЧрдП рдпреМрдЧрд┐рдХ рдП III рдмреА рд╡реА, рдЗрдВрдбрд┐рдпрдо рдЖрд░реНрд╕реЗрдирд╛рдЗрдб рдФрд░ рдЧреИрд▓рд┐рдпрдо рдЖрд░реНрд╕реЗрдирд╛рдЗрдб рдЬреИрд╕реА рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рднреА рдЙрдЪреНрдЪ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрди рдЧрддрд┐рд╢реАрд▓рддрд╛ рдХрд╛ рджрд╛рд╡рд╛ рдХрд░рддреА рд╣реИред рдЗрдгреНрдбрд┐рдпрдо рдЖрд░реНрд╕реЗрдирд╛рдЗрдб рдореЗрдВ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрди рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреА рддреБрд▓рдирд╛ рдореЗрдВ рд▓рдЧрднрдЧ 30 рдЧреБрдирд╛ рдЕрдзрд┐рдХ рдореЛрдмрд╛рдЗрд▓ рд╣реИрдВред рд▓реЗрдХрд┐рди рд╕рдорд╕реНрдпрд╛ рдпрд╣ рд╣реИ рдХрд┐ рдпрд╣ рд╕рдВрдкрддреНрддрд┐ рдЫреЗрджреЛрдВ рдкрд░ рд▓рд╛рдЧреВ рдирд╣реАрдВ рд╣реЛрддреА рд╣реИ - рд╡реЗ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреА рддреБрд▓рдирд╛ рдореЗрдВ рдмрд╣реБрдд рдЕрдзрд┐рдХ рдореЛрдмрд╛рдЗрд▓ рдирд╣реАрдВ рд╣реИрдВред рдФрд░ рдпрд╣ рд╕реАрдорд╛ рдЙрдЪреНрдЪ рдЧрддрд┐ рд╡рд╛рд▓реЗ pFETs рдмрдирд╛рдирд╛ рдЕрд╕рдВрднрд╡ рдмрдирд╛ рджреЗрддреА рд╣реИ, рдФрд░ рдЙрдЪреНрдЪ рдЧрддрд┐ pFETs рдХреА рдХрдореА рддреЗрдЬ CMOS рд╕рд░реНрдХрд┐рдЯ рдХреА рдкреНрд░рд╛рдкреНрддрд┐ рдХреЛ рдирдХрд╛рд░ рджреЗрддреА рд╣реИ, рдХреНрдпреЛрдВрдХрд┐ рд╡реЗ nFETs рдФрд░ pDETs рдХреА рдЧрддрд┐ рдореЗрдВ рдмрд╣реБрдд рдмрдбрд╝реЗ рдЕрдВрддрд░ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдХрд╛рдо рдирд╣реАрдВ рдХрд░ рд╕рдХрддреЗ рд╣реИрдВред

рдкреНрд░рддреНрдпреЗрдХ рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рд╕реЗ рд╕рд░реНрд╡рд╢реНрд░реЗрд╖реНрда рд▓реЗрдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдПрдХ рд╕рдорд╛рдзрд╛рди рд╣реИред рдХрдИ рдкреНрд░рдпреЛрдЧрд╢рд╛рд▓рд╛рдУрдВ рдореЗрдВ рд╢реЛрдзрдХрд░реНрддрд╛, рдЬреИрд╕реЗ рдХрд┐ рдпреВрд░реЛрдкреАрдп рд╕рдВрдЧрдарди рдлреЙрд░ рдж рд╕реНрдЯрдбреА рдСрдл рд╕реЗрдореАрдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░реНрд╕ рдЗрдореЗрдХ рдФрд░ рдЬреНрдпреВрд░рд┐рдЦ рд▓реЗрдмреЛрд░реЗрдЯрд░реА рдлрд╝реЗрдбрд░реЗрд╢рди, рдХреЛ рджрд┐рдЦрд╛рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рд╣реИрд▓реВрдк рдмрдирд╛рдиреЗ рдХреЗ рддрд░реАрдХреЗ рдЬрд┐рд╕рдореЗрдВ рдПрдирдПрдлрдИрдЯреА рдЪреИрдирд▓ рдП III рдмреА рд╡реА рдпреМрдЧрд┐рдХреЛрдВ рдФрд░ рдЬрд░реНрдордиреА рд╕реЗ рдкреАрдПрдлрдИрдЯреА рд╕реЗ рдмрдиреЗ рд╣реИрдВред рдФрд░ рдпрджреНрдпрдкрд┐ рдпрд╣ рддрдХрдиреАрдХ рдЖрдкрдХреЛ рдмрд╣реБрдд рддреЗрдЬрд╝ рдХрдВрдЯреНрд░реЛрд▓реНрд╕ рдмрдирд╛рдиреЗ рдХреА рдЕрдиреБрдорддрд┐ рджреЗ рд╕рдХрддреА рд╣реИ, рд▓реЗрдХрд┐рди рдпрд╣ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдХреЛ рдмрд╣реБрдд рдЬрдЯрд┐рд▓ рдмрдирд╛рддреА рд╣реИред

рдЗрд╕рд▓рд┐рдП, рд╣рдо рдЬрд░реНрдордиреА рдХреЗ рд╕рд╛рде рд╕рд░рд▓ рджреГрд╖реНрдЯрд┐рдХреЛрдг рдХреЛ рдкреНрд░рд╛рдердорд┐рдХрддрд╛ рджреЗрддреЗ рд╣реИрдВред рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдЪреИрдирд▓реЛрдВ рдХреЛ рдЧрддрд┐ рдмрдврд╝рд╛рдиреА рдЪрд╛рд╣рд┐рдП, рдФрд░ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдХреА рд╕рдорд╕реНрдпрд╛рдПрдВ рдЗрддрдиреА рдЧрдВрднреАрд░ рдирд╣реАрдВ рд╣реЛрдВрдЧреАред

рдЖрдк рдЬрд░реНрдордиреА рдореЗрдВ рдХреИрд╕реЗ рдХрд░ рд░рд╣реЗ рд╣реИрдВ?


рд╕рдВрдкрддреНрддрд┐рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди (Si)рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо (рдЬреАрдИ)рдЧреИрд▓рд┐рдпрдо рдЖрд░реНрд╕реЗрдирд╛рдЗрдб (GaAs)рдЗрдВрдбрд┐рдпрдо рдЖрд░реНрд╕реЗрдирд╛рдЗрдб (InAs)рдЗрдХрд╛рдЗрдпреЛрдВ
рдкреНрд░рддрд┐рдмрдВрдзрд┐рдд рдХреНрд╖реЗрддреНрд░1.120.661.420.35eV
300 K рдкрд░ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрди рдХреА рдЧрддрд┐рд╢реАрд▓рддрд╛1,3503,9008,50040,000рд╕реЗрдореА 2 / (рд╡реА рдПрд╕)
300 K рдкрд░ рдЫреЗрдж рдХреА рдЧрддрд┐рд╢реАрд▓рддрд╛4501,900400500рд╕реЗрдореА 2 / (рд╡реА рдПрд╕)
рдЕрдзрд┐рдХрддрдо рд╕рдВрднрд╡ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрди рд╡реЗрдЧ10.623.5x10 7 рд╕реЗрдореА / рд╕реЗ
рдорд╣рддреНрд╡рдкреВрд░реНрдг рд╡рд┐рджреНрдпреБрдд рдХреНрд╖реЗрддреНрд░0.250.10.0040.002x10 6 V / рд╕реЗрдореА
рддрд╛рдкреАрдп рдЪрд╛рд▓рдХрддрд╛1.50.580.50.27рдбрдмреНрд▓реНрдпреВ / (рд╕реЗрдореАрдХреЗ)


рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдХреЗ рд▓рд┐рдП - рдпрд╛ рдХрд┐рд╕реА рднреА рд╡реИрдХрд▓реНрдкрд┐рдХ рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА - рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдореЗрдВ рдЬрд╛рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рдЖрдкрдХреЛ рд╡рд░реНрддрдорд╛рди рдореЗрдВ рдЪрд┐рдкреНрд╕ рдмрдирд╛рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд┐рдП рдЬрд╛рдиреЗ рд╡рд╛рд▓реЗ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рд╕рдмрд╕реНрдЯреНрд░реЗрдЯреНрд╕ рдореЗрдВ рдЗрд╕реЗ рдЬреЛрдбрд╝рдиреЗ рдХрд╛ рдПрдХ рддрд░реАрдХрд╛ рдЦреЛрдЬрдиреЗ рдХреА рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХрддрд╛ рд╣реИред рд╕реМрднрд╛рдЧреНрдп рд╕реЗ, рдПрдХ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдкрд░ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдкрд░рдд рдЬрдорд╛ рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рдХрдИ рддрд░реАрдХреЗ рд╣реИрдВ, рдЬрд┐рдирд╕реЗ рдЪреИрдирд▓ рддрдм рдмрдирд╛рдпрд╛ рдЬрд╛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИред рдПрдХ рдкрддрд▓реА рдкрд░рдд рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдЬрд░реНрдордиреА рдХреА рджреЛ рдкреНрд░рдореБрдЦ рд╕рдорд╕реНрдпрд╛рдУрдВ рдХреЛ рд╕рдорд╛рдкреНрдд рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ - рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреА рддреБрд▓рдирд╛ рдореЗрдВ рдЙрдЪреНрдЪ рд▓рд╛рдЧрдд, рдФрд░ рдЕрдкреЗрдХреНрд╖рд╛рдХреГрдд рдЦрд░рд╛рдм рддрд╛рдкреАрдп рдЪрд╛рд▓рдХрддрд╛ред

рд▓реЗрдХрд┐рди рдПрдХ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдореЗрдВ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреЛ рдмрджрд▓рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рдпрд╣ рдХреЗрд╡рд▓ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдХреА рдПрдХ рдкрддрд▓реА рдФрд░ рдЙрдЪреНрдЪ рдЧреБрдгрд╡рддреНрддрд╛ рд╡рд╛рд▓реА рдкрд░рдд рдХреЛ рдзрдХреНрдХрд╛ рджреЗрдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдкрд░реНрдпрд╛рдкреНрдд рдирд╣реАрдВ рд╣реИред рдЪреИрдирд▓ рдХреЛ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдХреЗ рдЕрдиреНрдп рдШрдЯрдХреЛрдВ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдирд┐рд░реНрджреЛрд╖ рд░реВрдк рд╕реЗ рдХрд╛рдо рдХрд░рдирд╛ рдЪрд╛рд╣рд┐рдПред

рд╕рд░реНрд╡рд╡реНрдпрд╛рдкреА рдЖрдзреБрдирд┐рдХ рд╕реАрдПрдордУрдПрд╕ рдЪрд┐рдкреНрд╕ рдПрдордУрдПрд╕ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ (рдореЗрдЯрд▓-рдСрдХреНрд╕рд╛рдЗрдб-рд╕реЗрдореАрдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░ - рдПрдордУрдПрд╕ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░; рдореЗрдЯрд▓-рдСрдХреНрд╕рд╛рдЗрдб-рд╕реЗрдореАрдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░ рдХреНрд╖реЗрддреНрд░ рдкреНрд░рднрд╛рд╡ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ - рдПрдордУрдПрд╕рдПрдлрдИрдЯреА) рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░рддреЗ рд╣реИрдВред рдЗрд╕рдХреЗ рдЪрд╛рд░ рдЖрдзрд╛рд░ рднрд╛рдЧ рд╣реИрдВред рд╕реНрд░реЛрдд рдФрд░ рдирд╛рд▓реА - рд╡рд░реНрддрдорд╛рди рд╡рд┐рд╕реНрдерд╛рдкрди рдХрд╛ рдкреНрд░рд╛рд░рдВрднрд┐рдХ рдФрд░ рдЕрдВрддрд┐рдо рдмрд┐рдВрджреБ; рдЙрдиреНрд╣реЗрдВ рдЬреЛрдбрд╝рдиреЗ рд╡рд╛рд▓рд╛ рдЪреИрдирд▓; рд╡рд╛рд▓реНрд╡ рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ рд╕реЗрд╡рд╛рд░рдд рдПрдХ рд╢рдЯрд░ рдЬреЛ рдЪреИрдирд▓ рдореЗрдВ рд╡рд░реНрддрдорд╛рди рдХреА рдЙрдкрд╕реНрдерд┐рддрд┐ рдХреЛ рдирд┐рдпрдВрддреНрд░рд┐рдд рдХрд░рддрд╛ рд╣реИред

рд╡рд╛рд╕реНрддрд╡ рдореЗрдВ, рдЕрдиреНрдп рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдЙрдЪреНрдЪ рдЧреБрдгрд╡рддреНрддрд╛ рд╡рд╛рд▓реЗ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдореЗрдВ рдореМрдЬреВрдж рд╣реИрдВред рд╕рдмрд╕реЗ рдорд╣рддреНрд╡рдкреВрд░реНрдг рдореЗрдВ рд╕реЗ рдПрдХ рдЧреЗрдЯ рдЗрдВрд╕реБрд▓реЗрдЯрд░ рд╣реИ, рдЬреЛ рдЧреЗрдЯ рдФрд░ рдЪреИрдирд▓ рдХреЛ рдЫреЛрдЯрд╛ рдХрд░рдиреЗ рд╕реЗ рд░реЛрдХрддрд╛ рд╣реИред рд╕реЗрдореАрдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░реНрд╕ рдореЗрдВ рдкрд░рдорд╛рдгреБ рдЬреИрд╕реЗ рдХрд┐ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди, рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдФрд░ рдпреМрдЧрд┐рдХ рдП III рдмреА рд╡реАрддреАрди рдЖрдпрд╛рдореЛрдВ рдореЗрдВ рд╕реНрдерд┐рдд рд╣реИрдВред рдПрдХ рдЖрджрд░реНрд╢ рд░реВрдк рд╕реЗ рд╕рдкрд╛рдЯ рд╕рддрд╣ рдирд╣реАрдВ рдмрдирд╛рдИ рдЬрд╛ рд╕рдХрддреА рд╣реИ, рдЗрд╕рд▓рд┐рдП, рдЪреИрдирд▓ рдХреЗ рд╢реАрд░реНрд╖ рдкрд░ рдкрд░рдорд╛рдгреБрдУрдВ рдореЗрдВ рдХрдИ рдЙрднрд╛рд░реЗ рд╣реБрдП рдмрдВрдзрди рд╣реЛрдВрдЧреЗред рдЖрдкрдХреЛ рдПрдХ рдЗрдиреНрд╕реБрд▓реЗрдЯрд░ рдХреА рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХрддрд╛ рд╣реЛрддреА рд╣реИ рдЬреЛ рдЗрди рдмреЙрдиреНрдбреЛрдВ рдореЗрдВ рд╕реЗ рдпрдерд╛рд╕рдВрднрд╡ рдмрд╛рдБрдзрддрд╛ рд╣реИ, рдФрд░ рдЗрд╕ рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдХреЛ рдкреИрд╢рди, рдпрд╛ рд╕рддрд╣ рдирдХрд╝реНрдХрд╝рд╛рд╢реА рдХрд╣рд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред рдЦрд░рд╛рдм рд╡рд┐рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдХреЗ рдорд╛рдорд▓реЗ рдореЗрдВ, рдЖрдк "рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░рд┐рдХ рдЧрдбреНрдвреЛрдВ" рдХреЗ рд╕рд╛рде рдПрдХ рдЪреИрдирд▓ рдкреНрд░рд╛рдкреНрдд рдХрд░ рд╕рдХрддреЗ рд╣реИрдВ, рдЙрди рдЬрдЧрд╣реЛрдВ рд╕реЗ рднрд░рд╛ рд╣реБрдЖ рд╣реИ рдЬрд╣рд╛рдВ рдЪрд╛рд░реНрдЬ рд╡рд╛рд╣рдХ рдЕрд╕реНрдерд╛рдпреА рд░реВрдк рд╕реЗ рдЕрд╕реНрддрд░ рдХрд░ рд╕рдХрддреЗ рд╣реИрдВ, рдЬреЛ рдЙрдирдХреА рдЧрддрд┐рд╢реАрд▓рддрд╛ рдХреЛ рдХрдо рдХрд░ рджреЗрддрд╛ рд╣реИ рдФрд░, рдкрд░рд┐рдгрд╛рдорд╕реНрд╡рд░реВрдк, рдбрд┐рд╡рд╛рдЗрд╕ рдХреА рдЧрддрд┐ред


рд╡рд╛рдо: nFET рд░рдЪрдирд╛рдУрдВ рд╕реЗ рдП III рдмреА рд╡реА , рдФрд░ рдЬрд░реНрдордиреА рд╕реЗ pFET, рдЗрдиреНрд╕реБрд▓реЗрд╢рди рдХреЗ рд╕рд╛рде рдПрдХ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдкрд░ рдЙрдЧрд╛рдП рдЧрдП рджреЛрдиреЛрдВ рд╕рд╛рдордЧреНрд░рд┐рдпреЛрдВ рдХреЗ рдЯреБрдХрдбрд╝реЗред
рджрд╛рдПрдВ: рджреЛрдиреЛрдВ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рд╕реЗ рдмрдиреЗ рд╣реЛрддреЗ рд╣реИрдВ рдЬреЛ рдПрдХ рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рд╕реЗ рдЬреБрдбрд╝реЗ рд╣реЛрддреЗ рд╣реИрдВред


рд╕реМрднрд╛рдЧреНрдп рд╕реЗ, рдкреНрд░рдХреГрддрд┐ рдиреЗ рдкреНрд░рд╛рдХреГрддрд┐рдХ рдЗрдиреНрд╕реБрд▓реЗрдЯрд░ рдХреЗ рд╕рд╛рде рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреА рдЖрдкреВрд░реНрддрд┐ рдХреА, рдЬреЛ рдЗрд╕рдХреА рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓реАрдп рд╕рдВрд░рдЪрдирд╛ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдЕрдЪреНрдЫреА рддрд░рд╣ рд╕реЗ рдореЗрд▓ рдЦрд╛рддрд╛ рд╣реИ: рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдбрд╛рдЗрдСрдХреНрд╕рд╛рдЗрдб (SiO 2 )ред рдФрд░ рдпрджреНрдпрдкрд┐ рдЖрдзреБрдирд┐рдХ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдореЗрдВ рдЕрдзрд┐рдХ рд╡рд┐рджреЗрд╢реА рдЗрдиреНрд╕реБрд▓реЗрдЯрд░ рдкрд╛рдП рдЬрд╛рддреЗ рд╣реИрдВ, рдлрд┐рд░ рднреА рдЙрдирдХреЗ рдкрд╛рд╕ рдЗрд╕ рдСрдХреНрд╕рд╛рдЗрдб рдХреА рдПрдХ рдкрддрд▓реА рдкрд░рдд рд╣реЛрддреА рд╣реИ, рдЬреЛ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдЪреИрдирд▓ рдХреЛ рдирд┐рд╖реНрдХреНрд░рд┐рдп рдХрд░рдиреЗ рдХрд╛ рдХрд╛рд░реНрдп рдХрд░рддреА рд╣реИред рдЪреВрдВрдХрд┐ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдФрд░ SiO 2 рд╕рдВрд░рдЪрдирд╛ рдореЗрдВ рдХрд░реАрдм рд╣реИрдВ, рдПрдХ рдЕрдЪреНрдЫреА рддрд░рд╣ рд╕реЗ рдмрдирд╛рдИ рдЧрдИ SiO 2 рдкрд░рдд 100,000 рдореБрдХреНрдд рдмрд╛рдВрдбреЛрдВ рдореЗрдВ рд╕реЗ 99,999 рдХреЛ рдмрд╛рдВрдзрддреА рд╣реИ - рдФрд░ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреЗ рдПрдХ рд╡рд░реНрдЧ рд╕реЗрдВрдЯреАрдореАрдЯрд░ рдкрд░ рдЙрдирдореЗрдВ рд╕реЗ рд▓рдЧрднрдЧ рдЗрддрдиреЗ рд╣реА рд╣реИрдВред

рдЧреИрд▓рд┐рдпрдо рдЖрд░реНрд╕реЗрдирд╛рдЗрдб рдФрд░ рдЕрдиреНрдп рдпреМрдЧрд┐рдХ рдП III рдмреА рд╡реАрдЙрдирдХреЗ рдкрд╛рд╕ рдкреНрд░рд╛рдХреГрддрд┐рдХ рдЖрдХреНрд╕рд╛рдЗрдб рдирд╣реАрдВ рд╣реИ, рд▓реЗрдХрд┐рди рдЬрд░реНрдордиреА рдХреЗ рдкрд╛рд╕ рд╣реИ - рдЗрд╕рд▓рд┐рдП, рд╕рд┐рджреНрдзрд╛рдВрдд рд░реВрдк рдореЗрдВ, рдпрд╣ рдЪреИрдирд▓ рдХреЗ рдкрд╛рд░рд┐рдд рд╣реЛрдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЖрджрд░реНрд╢ рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рд╣реЛрдиреА рдЪрд╛рд╣рд┐рдПред рд╕рдорд╕реНрдпрд╛ рдпрд╣ рд╣реИ рдХрд┐ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдбрд╛рдЗрдСрдХреНрд╕рд╛рдЗрдб (GeO 2 ) SiO 2 рдХреА рддреБрд▓рдирд╛ рдореЗрдВ рдХрдордЬреЛрд░ рд╣реИ рдФрд░ рдЪрд┐рдк рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдХреЗ рджреМрд░рд╛рди рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдХреЛ рд╕рд╛рдл рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд┐рдП рдЧрдП рдкрд╛рдиреА рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рдЕрд╡рд╢реЛрд╖рд┐рдд рдФрд░ рднрдВрдЧ рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИред рдЗрд╕рд╕реЗ рднреА рдмрджрддрд░, рдЬрд┐рдпреЛ 2 рдХреА рд╡реГрджреНрдзрд┐ рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдХреЛ рдирд┐рдпрдВрддреНрд░рд┐рдд рдХрд░рдирд╛ рдореБрд╢реНрдХрд┐рд▓ рд╣реИред рдПрдХ рдЖрджрд░реНрд╢ рдЙрдкрдХрд░рдг рдХреЗ рд▓рд┐рдП, 1-2 рдПрдирдПрдо рдореЛрдЯреА рдХреА рдПрдХ GeO 2 рдкрд░рдд рдХреА рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХрддрд╛ рд╣реЛрддреА рд╣реИ , рд▓реЗрдХрд┐рди рд╡рд╛рд╕реНрддрд╡ рдореЗрдВ рдкрд░рдд рдХреЛ 20 рдПрдирдПрдо рд╕реЗ рдЕрдзрд┐рдХ рдкрддрд▓рд╛ рдмрдирд╛рдирд╛ рдЕрдзрд┐рдХ рдХрдард┐рди рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИред

рд╢реЛрдзрдХрд░реНрддрд╛ рд╡рд┐рднрд┐рдиреНрди рд╡рд┐рдХрд▓реНрдкреЛрдВ рдХреА рдЦреЛрдЬ рдХрд░ рд░рд╣реЗ рд╣реИрдВред рд╕реНрдЯреИрдирдлреЛрд░реНрдб рдореЗрдВ рдПрдХ рдкреНрд░реЛрдлреЗрд╕рд░, рдХреГрд╖реНрдгрд╛ рд╕рд╛рд░рд╕реНрд╡рдд, рдФрд░ рдЙрдирдХреЗ рд╕рд╣рдпреЛрдЧреА, рдЬрд┐рдиреНрд╣реЛрдВрдиреЗ 2000 рдХреЗ рджрд╢рдХ рдореЗрдВ рд╡реИрдХрд▓реНрдкрд┐рдХ рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░рдиреЗ рдореЗрдВ рд░реБрдЪрд┐ рджрд┐рдЦрд╛рдИ, рдкрд╣рд▓реЗ рдЕрдзреНрдпрдпрди рдХрд┐рдпрд╛рдЬрд╝рд┐рд░рдХреЛрдирд┐рдпрд╛, рдЙрдЪреНрдЪ-рдЧрддрд┐ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдореЗрдВ рдЖрдЬ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд┐рдП рдЬрд╛рдиреЗ рд╡рд╛рд▓реЗ рдкреНрд░рдХрд╛рд░ рдХреЗ рдЙрдЪреНрдЪ рдврд╛рдВрдХрддрд╛ рд╣реБрдЖ рдирд┐рд░рдВрддрд░ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдПрдХ рд╕рд╛рдордЧреНрд░реАред рдЙрдирдХреЗ рдХрд╛рдо рдХреЗ рдЖрдзрд╛рд░ рдкрд░, рдмреЗрд▓реНрдЬрд┐рдпрдо рдореЗрдВ Imec рдХреА рдПрдХ рдЯреАрдо рдиреЗ рдЕрдзреНрдпрдпрди рдХрд┐рдпрд╛ рдХрд┐ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдФрд░ рдЗрд╕реА рддрд░рд╣ рдХреА рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдХреЗ рдмреАрдЪ рдЗрдВрдЯрд░рдлреЗрд╕ рдореЗрдВ рд╕реБрдзрд╛рд░ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдПрдХ рдЕрд▓реНрдЯреНрд░рд╛-рдкрддрд▓реА рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдкрд░рдд рдХреЗ рд╕рд╛рде рдХреНрдпрд╛ рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИред

рд▓реЗрдХрд┐рди 2011 рдореЗрдВ рдЯреЛрдХреНрдпреЛ рд╡рд┐рд╢реНрд╡рд╡рд┐рджреНрдпрд╛рд▓рдп рд╕реЗ рдкреНрд░реЛрдлреЗрд╕рд░ рд╢рд┐рдирд┐рдЪреА рддрд╛рдХрдЧреА рдХреА рдЯреАрдо рдиреЗ рдкреНрд░рджрд░реНрд╢рди рдХрд░рддреЗ рд╣реБрдП рдЬрд░реНрдордиреА рдХреЗ рдЙрддреНрддреАрд░реНрдгрддрд╛ рдХреЛ рдЧрдВрднреАрд░ рд░реВрдк рд╕реЗ рд╕реБрдзрд╛рд░ рджрд┐рдпрд╛рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдЗрдиреНрд╕реБрд▓реЗрдЯрд░ рдХреЗ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рдХреЛ рдирд┐рдпрдВрддреНрд░рд┐рдд рдХрд░рдиреЗ рдХреА рдПрдХ рд╡рд┐рдзрд┐ред рд╕рдмрд╕реЗ рдкрд╣рд▓реЗ, рд╢реЛрдзрдХрд░реНрддрд╛рдУрдВ рдиреЗ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдЪреИрдирд▓ рдкрд░ рдПрдХ рдЕрдиреНрдп рдЗрдиреНрд╕реБрд▓реЗрдЯрд░, рдПрд▓реНрдпреВрдорд┐рдирд╛ рдХреА рдПрдХ рдиреИрдиреЛрдореАрдЯрд░ рдкрд░рдд рд╡рд┐рдХрд╕рд┐рдд рдХреАред рдЙрд╕рдХреЗ рдмрд╛рдж, рдЙрдиреНрд╣реЗрдВ рдПрдХ рдСрдХреНрд╕реАрдЬрди рдХрдХреНрд╖ рдореЗрдВ рд░рдЦрд╛ рдЧрдпрд╛ред рдСрдХреНрд╕реАрдЬрди рдХрд╛ рдПрдХ рд╣рд┐рд╕реНрд╕рд╛ рдПрд▓реНрдпреВрдорд┐рдирд╛ рдХреА рдПрдХ рдкрд░рдд рдХреЗ рдиреАрдЪреЗ рд╕реЗ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рддрдХ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ, рдФрд░ рдЗрд╕рдХреЗ рд╕рд╛рде рдорд┐рд╢реНрд░рд┐рдд рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИ, рдЬрд┐рд╕рд╕реЗ рдПрдХ рдкрддрд▓реА рдСрдХреНрд╕рд╛рдЗрдб рдкрд░рдд рдмрдирддреА рд╣реИ (рдСрдХреНрд╕реАрдЬрди рдХреЗ рд╕рд╛рде рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдХрд╛ рдПрдХ рдпреМрдЧрд┐рдХ, рд▓реЗрдХрд┐рди рддрдХрдиреАрдХреА рд░реВрдк рд╕реЗ GeO 2 рдирд╣реАрдВ )ред рдПрд▓реНрдпреВрдорд┐рдирд╛ рди рдХреЗрд╡рд▓ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рдХреЛ рдирд┐рдпрдВрддреНрд░рд┐рдд рдХрд░рдиреЗ рдореЗрдВ рдорджрдж рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ, рдмрд▓реНрдХрд┐ рдПрдХ рдХрдо рд╕реНрдерд┐рд░ рдкрд░рдд рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдПрдХ рд╕реБрд░рдХреНрд╖рд╛рддреНрдордХ рдХреЛрдЯрд┐рдВрдЧ рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ рднреА рдХрд╛рд░реНрдп рдХрд░рддрд╛ рд╣реИред


рдиреИрдиреЛрд╡рд╛рдпрд░ рдЪреИрдирд▓

рдХреБрдЫ рд╕рд╛рд▓ рдкрд╣рд▓реЗ, рдЗрд╕ рдЦреЛрдЬ рд╕реЗ рдкреНрд░реЗрд░рд┐рдд рд╣реЛрдХрд░ A III B V рд╕реЗ рдЪреИрдирд▓реЛрдВ рдХреЗ рд╕рд╛рде pFETs рдмрдирд╛рдиреЗ рдХреА рдЬрдЯрд┐рд▓рддрд╛ рдХреЛ рджреЗрдЦрддреЗ рдереЗрдореЗрд░рд╛ рд╕рдореВрд╣ рдкрд░реНрдбреНрдпреВ рдореЗрдВ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдЪреИрдирд▓реЛрдВ рдкрд░ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдмрдирд╛рдиреЗ рдХреЗ рддрд░реАрдХреЗ рддрд▓рд╛рд╢рдиреЗ рд▓рдЧрд╛ред рд╣рдордиреЗ рдлреНрд░рд╛рдВрд╕реАрд╕реА рдирд┐рд░реНрдорд╛рддрд╛ Soitec рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рд╡рд┐рдХрд╕рд┐рдд рдПрдХ рдЗрдиреНрд╕реБрд▓реЗрдЯрд░ рдкрд░ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдХреЗ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХреЗ рд╕рд╛рде рд╢реБрд░реВ рдХрд┐рдпрд╛ред рдпреЗ 100 рдПрдирдПрдо рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдкрд░рдд рдХреЗ рдиреАрдЪреЗ рдПрдХ рдЗрдиреНрд╕реБрд▓реЗрдЯ рдкрд░рдд рдХреЗ рд╕рд╛рде рдорд╛рдирдХ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рд╣реИрдВред

рдЗрди рд╕рдмрд╕реНрдЯреНрд░реЗрдЯреНрд╕ рдХреЗ рд╕рд╛рде, рдЖрдк рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдмрдирд╛ рд╕рдХрддреЗ рд╣реИрдВ рдЬрд┐рд╕рдореЗрдВ рд╕рднреА рдорд╛рдирдХ рднрд╛рдЧ - рд╕реНрд░реЛрдд, рдЪреИрдирд▓ рдФрд░ рдирд╛рд▓реА - рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рд╕реЗ рдмрдиреЗ рд╣реЛрддреЗ рд╣реИрдВред рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдирд┐рд░реНрдорд╛рддрд╛ рдХреЛ рдЗрд╕ рдбрд┐рдЬрд╛рдЗрди рдХрд╛ рдкрд╛рд▓рди рдХрд░рдиреЗ рдХреА рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХрддрд╛ рдирд╣реАрдВ рд╣реИ, рд▓реЗрдХрд┐рди рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдЙрдкрдХрд░рдгреЛрдВ рдХреЗ рдореВрд▓ рдЧреБрдгреЛрдВ рдХрд╛ рдЕрдзреНрдпрдпрди рдХрд░рдирд╛ рд╣рдорд╛рд░реЗ рд▓рд┐рдП рдЖрд╕рд╛рди рдерд╛ред

рдкрд╣рд▓реА рдмрд╛рдзрд╛рдУрдВ рдореЗрдВ рд╕реЗ рдПрдХ рдерд╛, рдмрд╛рд╣рд░реА рджреБрдирд┐рдпрд╛ рдХреЛ рдЬреЛрдбрд╝рдиреЗ рд╡рд╛рд▓реЗ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдФрд░ рдзрд╛рддреБ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЛрдб рдХреЗ рд╕реНрд░реЛрдд рдФрд░ рдирд╛рд▓реА рдХреЗ рдмреАрдЪ рдкреНрд░рддрд┐рд░реЛрдз рдХреЗ рдЦрд┐рд▓рд╛рдл рд▓рдбрд╝рд╛рдИред рдкреНрд░рддрд┐рд░реЛрдз рдкреНрд░рд╛рдХреГрддрд┐рдХ Schottky рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХ рдЕрд╡рд░реЛрдз рдХреЗ рдХрд╛рд░рдг рдЙрддреНрдкрдиреНрди рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИ рдЬреЛ рдзрд╛рддреБ рдФрд░ рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХ рдХреЗ рдмреАрдЪ рд╕рдВрдкрд░реНрдХ рдХреЗ рдмрд┐рдВрджреБ рдкрд░ рджрд┐рдЦрд╛рдИ рджреЗрддрд╛ рд╣реИред рдЗрд╕ рдЕрд╡рд░реЛрдз рдХреЛ рдХрдо рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдХреЛ рдЕрдердХ рд░реВрдк рд╕реЗ рдЕрдиреБрдХреВрд▓рд┐рдд рдХрд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рд╣реИ, рддрд╛рдХрд┐ рдЪрд╛рд░реНрдЬ рд╡рд╛рд╣рдХ рдЖрд╕рд╛рдиреА рд╕реЗ рдЗрд╕реЗ рдкрд╛рд░ рдХрд░ рд╕рдХреЗрдВред рд▓реЗрдХрд┐рди рдПрдХ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдбрд┐рд╡рд╛рдЗрд╕ рдХреЛ рдЪрд╛рд▓рд╛рдХ рдЗрдВрдЬреАрдирд┐рдпрд░рд┐рдВрдЧ рд╕рдорд╛рдзрд╛рди рдХреА рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХрддрд╛ рд╣реЛрддреА рд╣реИред рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХ рд╕рдВрд░рдЪрдирд╛ рдХреА рдмрд╛рд░реАрдХрд┐рдпреЛрдВ рдХреЗ рдХрд╛рд░рдг, рдЫреЗрдж рдЖрд╕рд╛рдиреА рд╕реЗ рдзрд╛рддреБ рд╕реЗ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рддрдХ рдЪрд▓реЗ рдЬрд╛рддреЗ рд╣реИрдВ, рд▓реЗрдХрд┐рди рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрди рдмрд╣реБрдд рдЕрдЪреНрдЫреЗ рдирд╣реАрдВ рд╣реИрдВред рдЗрд╕рдХрд╛ рдорддрд▓рдм рд╣реИ рдХрд┐ nFETs, рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдиреЛрдВ рдХреЗ рдЖрдВрджреЛрд▓рди рдкрд░ рднрд░реЛрд╕рд╛ рдХрд░рддреЗ рд╣реБрдП, рдмрд╣реБрдд рдЕрдзрд┐рдХ рдкреНрд░рддрд┐рд░реЛрдз, рдЧрд░реНрдореА рдФрд░ рд╡рд░реНрддрдорд╛рди рдиреБрдХрд╕рд╛рди рд╣реЛрдВрдЧреЗред

рдмреИрд░рд┐рдпрд░ рдХреЛ рдкрддрд▓рд╛ рдмрдирд╛рдиреЗ рдХрд╛ рдорд╛рдирдХ рддрд░реАрдХрд╛ рд╕реНрд░реЛрдд рдФрд░ рдирд╛рд▓реА рдореЗрдВ рдЕрдзрд┐рдХ рдбреЛрдкреЗрдВрдЯ рдЬреЛрдбрд╝рдирд╛ рд╣реИред рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдХреА рднреМрддрд┐рдХреА рдЬрдЯрд┐рд▓ рд╣реИ, рд▓реЗрдХрд┐рди рдЗрд╕реЗ рдирд┐рдореНрдирд╛рдиреБрд╕рд╛рд░ рджрд░реНрд╢рд╛рдпрд╛ рдЬрд╛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИ: рдЕрдзрд┐рдХ рдЕрд╢реБрджреНрдзрддрд╛ рдкрд░рдорд╛рдгреБ рдЕрдзрд┐рдХ рдореБрдХреНрдд рдЖрд╡реЗрд╢реЛрдВ рдХрд╛ рдкрд░рд┐рдЪрдп рджреЗрддреЗ рд╣реИрдВред рдирд┐: рд╢реБрд▓реНрдХ рдЪрд╛рд░реНрдЬ рд╡рд╛рд╣рдХ рдХреА рдПрдХ рдмрд╣реБрддрд╛рдпрдд рдХреЗ рд╕рд╛рде, рдзрд╛рддреБ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЛрдб рдФрд░ рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХ рд╕реНрд░реЛрдд рдФрд░ рдирд╛рд▓реА рдХреЗ рдмреАрдЪ рд╡рд┐рджреНрдпреБрдд рд╕рдВрдкрд░реНрдХ рдмрдврд╝рд╛рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред рдпрд╣ рд╕реБрд░рдВрдЧ рдХреЗ рдкреНрд░рднрд╛рд╡ рдХреЛ рдмрдврд╝рд╛рдиреЗ рдореЗрдВ рдорджрдж рдХрд░рддрд╛ рд╣реИред

рджреБрд░реНрднрд╛рдЧреНрдп рд╕реЗ, рдпрд╣ рддрдХрдиреАрдХ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреА рддреБрд▓рдирд╛ рдореЗрдВ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдХреЗ рд╕рд╛рде рдмрджрддрд░ рдХрд╛рдо рдХрд░рддреА рд╣реИред рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдбреЛрдкреЗрдВрдЯ рдХреА рдмрдбрд╝реА рд╕рд╛рдВрджреНрд░рддрд╛ рдХрд╛ рд╕рд╛рдордирд╛ рдирд╣реАрдВ рдХрд░рддреА рд╣реИред рд▓реЗрдХрд┐рди рд╣рдо рдЙрди рдЬрдЧрд╣реЛрдВ рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░ рд╕рдХрддреЗ рд╣реИрдВ рдЬрд╣рд╛рдВ рдЕрд╢реБрджреНрдзрд┐рдпреЛрдВ рдХрд╛ рдШрдирддреНрд╡ рдЕрдзрд┐рдХрддрдо рд╣реИред

рдРрд╕рд╛ рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рд╣рдо рдЗрд╕ рддрдереНрдп рдХрд╛ рд▓рд╛рдн рдЙрдард╛рддреЗ рд╣реИрдВ рдХрд┐ рдкрд░рд╛рдмреИрдВрдЧрдиреА рд╡рд┐рджреНрдпреБрдд рдХреНрд╖реЗрддреНрд░реЛрдВ рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рдЖрдзреБрдирд┐рдХ рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХреЛрдВ рдореЗрдВ рдЕрд╢реБрджреНрдзрд┐рдпреЛрдВ рдХреЛ рдЬреЛрдбрд╝рд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ рдЬреЛ рдЖрдпрдиреЛрдВ рдХреЛ рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдореЗрдВ рдзрдХреЗрд▓рддреЗ рд╣реИрдВред рдЗрдирдореЗрдВ рд╕реЗ рдХреБрдЫ рдкрд░рдорд╛рдгреБ рддреБрд░рдВрдд рдмрдВрдж рд╣реЛ рдЬрд╛рддреЗ рд╣реИрдВ, рдЬрдмрдХрд┐ рдЕрдиреНрдп рдЧрд╣рд░рд╛рдИ рд╕реЗ рдкреНрд░рд╡реЗрд╢ рдХрд░рддреЗ рд╣реИрдВред рдирддреАрдЬрддрди, рдЖрдкрдХреЛ рдПрдХ рд╕рд╛рдорд╛рдиреНрдп рд╡рд┐рддрд░рдг рдорд┐рд▓реЗрдЧрд╛: рдПрдХ рдирд┐рд╢реНрдЪрд┐рдд рдЧрд╣рд░рд╛рдИ рдкрд░ рдЕрд╢реБрджреНрдзрддрд╛ рдкрд░рдорд╛рдгреБрдУрдВ рдХреА рдПрдХрд╛рдЧреНрд░рддрд╛ рдЕрдзрд┐рдХрддрдо рд╣реЛрдЧреА, рдФрд░ рдлрд┐рд░ рдЧрд╣рд░реА рдпрд╛ рд╡рд┐рдкрд░реАрдд рджрд┐рд╢рд╛ рдореЗрдВ рдЬрд╛рдиреЗ рдкрд░ рдШрдЯ рдЬрд╛рдПрдЧреАред рдпрджрд┐ рд╣рдо рд╕реНрд░реЛрдд рдХреЛ рдЧрд╣рд░рд╛ рдХрд░рддреЗ рд╣реИрдВ рдФрд░ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЛрдб рдХреЛ рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХ рдореЗрдВ рдмрджрд▓рддреЗ рд╣реИрдВ, рддреЛ рд╣рдо рдЙрдиреНрд╣реЗрдВ рдЕрд╢реБрджреНрдзрддрд╛ рдкрд░рдорд╛рдгреБрдУрдВ рдХреЗ рдЙрдЪреНрдЪрддрдо рдПрдХрд╛рдЧреНрд░рддрд╛ рдХреЗ рд╕реНрдерд╛рдиреЛрдВ рдореЗрдВ рд░рдЦ рд╕рдХрддреЗ рд╣реИрдВред рдпрд╣ рдирд╛рдЯрдХреАрдп рд░реВрдк рд╕реЗ рд╕рдВрдкрд░реНрдХ рдкреНрд░рддрд┐рд░реЛрдз рдХреА рд╕рдорд╕реНрдпрд╛ рдХреЛ рдХрдо рдХрд░рддрд╛ рд╣реИред


рд╕рдВрдкрд░реНрдХ рдЕрд╢реБрджреНрдзрддрд╛ рдкрд░рдорд╛рдгреБрдУрдВ рдХреА рдЕрдзрд┐рдХрддрдо рдПрдХрд╛рдЧреНрд░рддрд╛ рдХреА рдЧрд╣рд░рд╛рдИ рддрдХ рдбреВрдмреЗ рд╣реБрдП рд╣реИрдВ

рднрд▓реЗ рд╣реА рдЪрд┐рдк рдирд┐рд░реНрдорд╛рддрд╛ рдЬрд░реНрдордиреА рдореЗрдВ рд╢реЛрдЯреНрдХреА рдмрд╛рдзрд╛ рдХреЛ рдХрдо рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЗрд╕ рджреГрд╖реНрдЯрд┐рдХреЛрдг рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░реЗрдВрдЧреЗ, рдпрд╣ рдЕрдкрдиреА рдХреНрд╖рдорддрд╛рдУрдВ рдХрд╛ рдПрдХ рдЙрдкрдпреЛрдЧреА рдкреНрд░рджрд░реНрд╢рди рд╣реИред рд╣рдорд╛рд░реЗ рдЕрдзреНрдпрдпрди рдХреА рд╢реБрд░реБрдЖрдд рдореЗрдВ, рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдПрдирдПрдлрдИрдЯреА рдиреЗ рдЬреЛ рд╕рдмрд╕реЗ рдЕрдЪреНрдЫрд╛ рджрд┐рдЦрд╛рдпрд╛ рд╡рд╣ рдЪреМрдбрд╝рд╛рдИ рдХреЗ рдкреНрд░рддреНрдпреЗрдХ рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрди рдХреЗ рд▓рд┐рдП 100 ╬╝A рдХреА рдзрд╛рд░рд╛рдПрдВ рдереАрдВред 2014 рдореЗрдВ, рд╣рд╡рд╛рдИ рдореЗрдВ рд╡реАрдПрд▓рдПрд╕рдЖрдИ рдкреНрд░реМрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХреА рдФрд░ рд╕рд░реНрдХрд┐рдЯ рд╕рдВрдЧреЛрд╖реНрдареА рдореЗрдВ, рд╣рдордиреЗ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдПрдирдПрдлрдИрдЯреА рдкрд░ рд╕реВрдЪрдирд╛ рджреА рдЬреЛ 10 рдЧреБрдирд╛ рдЕрдзрд┐рдХ рд╡рд░реНрддрдорд╛рди рд╕рдВрдЪрд╛рд░рд┐рдд рдХрд░рдиреЗ рдореЗрдВ рд╕рдХреНрд╖рдо рд╣реИ, рдЬреЛ рд▓рдЧрднрдЧ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреЗ рдмрд░рд╛рдмрд░ рд╣реИред рдЫрд╣ рдорд╣реАрдиреЗ рдмрд╛рдж, рд╣рдордиреЗ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдПрдирдПрдлрдИрдЯреА рдФрд░ рдкреАрдПрдлрдИрдЯреА рдпреБрдХреНрдд рдкрд╣рд▓реЗ рд╕рд░реНрдХрд┐рдЯ рдХрд╛ рдкреНрд░рджрд░реНрд╢рди рдХрд┐рдпрд╛, рдЖрдзреБрдирд┐рдХ рд▓реЙрдЬрд┐рдХ рдЪрд┐рдкреНрд╕ рдХреЗ рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдПрдХ рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХ рд╢рд░реНрддред

рддрдм рд╕реЗ, рд╣рдордиреЗ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдЕрдзрд┐рдХ рдЙрдиреНрдирдд рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдмрдирд╛рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдХрд┐рдпрд╛ рд╣реИ, рдЬреИрд╕реЗ рдХрд┐ FinFET, рдХрд▓рд╛ рдХреА рд╕реНрдерд┐рддрд┐ред рд╣рдордиреЗ рдЬрд░реНрдордиреА рдореЗрдВ рдиреИрдиреЛрд╡рд╛рдпрд░ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рднреА рдмрдирд╛рдП, рдЬреЛ рдЖрдиреЗ рд╡рд╛рд▓реЗ рд╡рд░реНрд╖реЛрдВ рдореЗрдВ рдлрд┐рдирдлреЗрдЯ рдХреА рдЬрдЧрд╣ рд▓реЗ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИред

рдЬрд░реНрдордиреА рдХреЛ рдмрдбрд╝реЗ рдкреИрдорд╛рдиреЗ рдкрд░ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдореЗрдВ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЗрди рд╡рд┐рдХрд╛рд╕реЛрдВ рдХреА рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХрддрд╛ рд╣реЛрдЧреА, рдХреНрдпреЛрдВрдХрд┐ рдЙрдирдХреА рдорджрдж рд╕реЗ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдЪреИрдирд▓ рдХреЛ рдмреЗрд╣рддрд░ рдврдВрдЧ рд╕реЗ рдирд┐рдпрдВрддреНрд░рд┐рдд рдХрд░рдирд╛ рд╕рдВрднрд╡ рд╣реИред рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдХреЗ рдЫреЛрдЯреЗ рдирд┐рд╖рд┐рджреНрдз рдХреНрд╖реЗрддреНрд░ рдХреЗ рдХрд╛рд░рдг, рдЗрд╕ рддрд░рд╣ рдХреЗ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдХреЛ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдХреА рд╕рдВрд╡рд╛рд╣рдХ рд╕реНрдерд┐рддрд┐ рдореЗрдВ рд╕реНрд╡рд┐рдЪ рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХ рдКрд░реНрдЬрд╛ рдХрд╛ рдХреЗрд╡рд▓ рдПрдХ рдЪреМрдерд╛рдИ рд╣реЛрдирд╛ рдЪрд╛рд╣рд┐рдПред рдпрд╣ рдХрдо-рдКрд░реНрдЬрд╛ рд╕рдВрдЪрд╛рд▓рди рдХреЗ рдЕрд╡рд╕рд░реЛрдВ рдХреЛ рдЦреЛрд▓рддрд╛ рд╣реИ, рд▓реЗрдХрд┐рди рдпрд╣ рдРрд╕реЗ рд╕рдордп рдореЗрдВ рдХрд░рдВрдЯ рдХрд╛ рд░рд┐рд╕рд╛рд╡ рднреА рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ, рдЬрдм рдЗрд╕реЗ рдРрд╕рд╛ рдирд╣реАрдВ рдХрд░рдирд╛ рдЪрд╛рд╣рд┐рдПред рдЪреИрдирд▓ рдкрд░ рдмреЗрд╣рддрд░ рдирд┐рдпрдВрддреНрд░рдг рд╡рд╛рд▓рд╛ рдПрдХ рдЙрдкрдХрд░рдг рдирд┐рд░реНрдорд╛рддрд╛рдУрдВ рдХреЛ рдЧрддрд┐ рдкрд░ рд╕рдордЭреМрддрд╛ рдХрд┐рдП рдмрд┐рдирд╛ рдЫреЛрдЯреЗ рдкреНрд░рддрд┐рдмрдВрдзрд┐рдд рдХреНрд╖реЗрддреНрд░ рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░рдиреЗ рдХреА рдЕрдиреБрдорддрд┐ рджреЗрдЧрд╛ред

рд╣рдорд╛рд░реЗ рдкрд╛рд╕ рдЕрдЪреНрдЫреА рд╢реБрд░реБрдЖрдд рд╣реИ, рд▓реЗрдХрд┐рди рд╣рдорд╛рд░реЗ рдкрд╛рд╕ рдЕрднреА рднреА рдХрд╛рдо рд╣реИред рдЙрджрд╛рд╣рд░рдг рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдЕрддрд┐рд░рд┐рдХреНрдд рдкреНрд░рдпреЛрдЧреЛрдВ рдХреА рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХрддрд╛ рд╣реЛрддреА рд╣реИ, рдЬреЛ рдЙрдЪреНрдЪ-рдЧреБрдгрд╡рддреНрддрд╛ рд╡рд╛рд▓реЗ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдЪреИрдирд▓реЛрдВ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рджрд┐рдЦрд╛рдирд╛ рдЪрд╛рд╣рд┐рдПред рдбрд┐рдЬрд╛рдЗрди рдореЗрдВ рд╕реБрдзрд╛рд░ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рднреА рддреЗрдЬреА рд▓рд╛рдиреЗ рдХреА рдЬрд░реВрд░рдд рд╣реИред

рдмреЗрд╢рдХ, рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рднрд╡рд┐рд╖реНрдп рдХреЗ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдПрдХрдорд╛рддреНрд░ рд╡рд┐рдХрд▓реНрдк рдирд╣реАрдВ рд╣реИред рд╢реЛрдзрдХрд░реНрддрд╛ рдП III рдмреА рд╡реА рдХреЗ рдпреЛрдЧреЛрдВ рдХрд╛ рдЕрдзреНрдпрдпрди рдХрд░рдирд╛ рдЬрд╛рд░реА рд░рдЦрддреЗ рд╣реИрдВ , рдЬрд┐рд╕рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдФрд░ рдЕрд▓рдЧ-рдЕрд▓рдЧ рджреЛрдиреЛрдВ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИред рд╕рдВрднрд╛рд╡рд┐рдд рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рд╕реБрдзрд╛рд░реЛрдВ рдХреА рд╕рдВрдЦреНрдпрд╛ рдмрд╣реБрдд рдмрдбрд╝реА рд╣реИред рдЗрд╕ рд╕реВрдЪреА рдореЗрдВ рдХрд╛рд░реНрдмрди рдиреИрдиреЛрдЯреНрдпреВрдм рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ , рд▓рдВрдмрд╡рдд рдЙрдиреНрдореБрдЦ рд╕реНрд╡рд┐рдЪ, рддреАрди рдЖрдпрд╛рдореА рд╕рд░реНрдХрд┐рдЯ, рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдФрд░ рдЯрд┐рди рдХреЗ рдорд┐рд╢реНрд░рдг рд╕реЗ рдЪреИрдирд▓, рдХреНрд╡рд╛рдВрдЯрдо рдЯрдирд▓рд┐рдВрдЧ рдХреЗ рд╕рд┐рджреНрдзрд╛рдВрдд рдкрд░ рдЖрдзрд╛рд░рд┐рдд рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рд╢рд╛рдорд┐рд▓ рд╣реИрдВред

рдЖрдиреЗ рд╡рд╛рд▓реЗ рд╡рд░реНрд╖реЛрдВ рдореЗрдВ, рд╢рд╛рдпрдж рд╣рдо рдХреБрдЫ рд╕реВрдЪреАрдмрджреНрдз рддрдХрдиреАрдХреЛрдВ рдХреЛ рдЕрдиреБрдХреВрд▓рд┐рдд рдХрд░реЗрдВрдЧреЗред рд▓реЗрдХрд┐рди рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдХреЗ рдЕрд▓рд╛рд╡рд╛ - рдпрд╣рд╛рдВ рддрдХ тАЛтАЛрдХрд┐ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХреЙрди рдХреЗ рд╕рд╛рде рдорд┐рд╢реНрд░рдг рдореЗрдВ - рдПрдХ рд╕рдорд╛рдзрд╛рди рд╣реИ рдЬреЛ рдирд┐рд░реНрдорд╛рддрд╛рдУрдВ рдХреЛ рдирд┐рдХрдЯ рднрд╡рд┐рд╖реНрдп рдореЗрдВ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдореЗрдВ рд╕реБрдзрд╛рд░ рдЬрд╛рд░реА рд░рдЦрдиреЗ рдХреА рдЕрдиреБрдорддрд┐ рджреЗрдЧрд╛ред рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо, рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХ рдпреБрдЧ рдХреА рдореВрд▓ рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА, рдЗрд╕рдХреЗ рдЕрдЧрд▓реЗ рджрд╢рдХ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рд░рд╛рдордмрд╛рдг рд╣реЛ рд╕рдХрддреА рд╣реИред

Source: https://habr.com/ru/post/hi399717/


All Articles