आयन-प्लाज्मा (मैग्नेट्रॉन) स्पटरिंग की स्थापना। भाग 1

बेचैन मन को नमस्कार। आज हम मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग की स्थापना के बारे में बात करेंगे, पूरी तरह से डिजाइन और खुद के द्वारा बनाई गई।



शुरुआत करने के लिए, मैं संक्षेप में यह जवाब देने की कोशिश करूंगा कि इस तरह के प्रतिष्ठानों की आवश्यकता क्यों है और आयन-प्लाज्मा छिड़काव क्या है।

एक लक्ष्य वह सामग्री है जिसका छिड़काव किया जाता है।
सब्सट्रेट वह है जो छिड़काव पर है।

इस तरह के प्रतिष्ठान सब्सट्रेट पर प्रवाहकीय सामग्रियों (मुख्य रूप से धातुओं) की सबसे पतली परतों को बनाना संभव बनाते हैं। के रूप में substrates प्रवाहकीय और ढांकता हुआ सामग्री दोनों का उपयोग किया जा सकता है। और एक नैनोलेयर बनाने के लिए, उदाहरण के लिए, सब्सट्रेट पर किसी भी धातु का, प्लाज्मा बनाने वाले आयनों के साथ धातु पर ठीक से हमला करने के लिए सबसे पहले आवश्यक है, इसके लिए वे कम दबाव पर एक चमक निर्वहन प्लाज्मा के प्रज्वलन और इलेक्ट्रॉनों के लिए एक जाल के रूप में एक चुंबक का उपयोग करते हैं।



आइए सरलतम मैग्नेट्रोन योजना और इसके काम को देखें, और आप समझेंगे कि यह एक जाल क्यों है (मैं विशेष वैज्ञानिक ज्ञान के बिना प्रयास करूंगा, लेकिन मुझे लगता है कि कई इसके खिलाफ होंगे, क्योंकि कुछ बिंदुओं को इसके बिना नहीं समझाया जा सकता है, लेकिन मैं कोशिश करूंगा)।

एक क्लासिक ग्लो डिस्चार्ज लाइट लगातार चालू होता है, और एनोड से कैथोड तक करंट प्रवाहित होता है। कैथोड एक सपाट लक्ष्य है, जिसके नीचे एक रिंग चुंबक है। कैथोड से उड़ने वाले इलेक्ट्रॉन, गैस को आयतन में आयनित करते हैं, जिनमें से आयन लक्ष्य में गिर जाते हैं, परमाणुओं को इस तरह से खटखटाया जाता है कि फिर से इलेक्ट्रॉनों से टकराते हैं, जिससे उनका भाग आयनित हो जाता है ... सामान्य तौर पर, एक इलेक्ट्रॉन हिमस्खलन बनता है, जो एक चुंबकीय क्षेत्र से मुड़ जाता है और टक्करों के बाद उन्हें उड़ान भरने की अनुमति नहीं देता है। इसके अलावा, चुंबक इलेक्ट्रॉनों को धारण करता है और इस प्रकार सब्सट्रेट पर जमा होने वाले परमाणुओं के गठन को बढ़ाता है, जिससे एक फिल्म बनती है।

और अब सिद्धांत से अभ्यास तक। चूंकि मैं वायुमंडलीय दबाव में विभिन्न प्लाज्मा-रासायनिक तकनीकों में संलग्न हूं, कुछ समय बाद कम दबाव में भी रुचि पैदा हुई। मेरे पास पहले से ही एक चमक निर्वहन शक्ति स्रोत था, मैंने इसे बहुत पहले बनाया था। और वैक्यूम पंप खरीदने के बाद, प्रयोग शुरू हुए जिन्होंने कम दबाव के साथ काम करते समय कुछ कठिनाइयों का खुलासा किया।



लेख के इस भाग के परिणामों को सारांशित करते हुए, हम कह सकते हैं कि काम आगे बढ़ रहा है, काफी अनुभव और अतिरिक्त ज्ञान प्राप्त किया जाता है। फिलहाल, लोहे में मामला तैयार है, इसे चित्रित किया जाएगा, जिसके बाद विधानसभा शुरू हो जाएगी।





मैंने लेख को जानबूझकर नहीं बढ़ाया है क्योंकि विज्ञापनों में कई प्रश्न शामिल थे, और यदि नहीं, तो टिप्पणियों में मैं हर बात का जवाब देने की कोशिश करूंगा।