
тАЬрдЕрдЪреНрдЫрд╛, рддреБрдордиреЗ рдХреЛрд╢рд┐рд╢ рдХреА рд╣реИ? рдЕрдм рдирд┐рд░реНрджреЗрд╢ рджреЗрдЦреЗрдВред тАЭ рдпрд╣ рдордЬрд╛рдХ рдХреБрдЫ рд▓реЛрдЧреЛрдВ рдХреА рдЕрдирд┐рдЪреНрдЫрд╛ рдХрд╛ рд╡рд░реНрдгрди рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ рдХрд┐ рдкрд╣рд▓реЗ рдпрд╣ рдкрддрд╛ рдХрд░реЗрдВ рдХрд┐ рдирд┐рд░реНрджреЗрд╢реЛрдВ рдХреЗ рдЕрдиреБрд╕рд╛рд░ рдХреНрдпрд╛ рдФрд░ рдХреИрд╕реЗ рдХрд░рдирд╛ рд╣реИ, рдФрд░ рдЙрд╕рдХреЗ рдмрд╛рдж рд╣реА рдХрд╛рд░реНрдп / рд╡рд┐рдзрд╛рдирд╕рднрд╛ / рд╕реНрдерд╛рдкрдирд╛ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЖрдЧреЗ рдмрдврд╝реЗрдВред рдЬрдЯрд┐рд▓ рд╡реИрдЬреНрдЮрд╛рдирд┐рдХ рдЕрдиреБрд╕рдВрдзрд╛рди, рдЦреЛрдЬреЛрдВ рдФрд░ рдЕрдиреБрд╕рдВрдзрд╛рди рдХреА рджреБрдирд┐рдпрд╛ рдореЗрдВ, рдпрд╣ рдЕрдХреНрд╕рд░ рднреА рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИ, рд╣рд╛рд▓рд╛рдВрдХрд┐ рд╡реИрдЬреНрдЮрд╛рдирд┐рдХреЛрдВ рдХреА рдЗрдЪреНрдЫрд╛ рд╕реЗ рдирд╣реАрдВред рдХреБрдЫ рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛рдПрдВ, рдЬрд┐рдирдХреЗ рдкрд░рд┐рдгрд╛рдо рд╕рднреА рдХреЛ рд╕рдордЭ рдореЗрдВ рдЖрддреЗ рд╣реИрдВ рдФрд░ рд╕рднреА рдХреЗ рд▓рд┐рдП рд╕реНрдкрд╖реНрдЯ рд╣реИрдВ, рдЦрд░рд╛рдм рдЕрдзреНрдпрдпрди рдХрд┐рдП рдЬрд╛рддреЗ рд╣реИрдВ, рдЬрд┐рд╕рд╕реЗ рдЙрдиреНрд╣реЗрдВ рд╕реБрдзрд╛рд░рдирд╛ рдореБрд╢реНрдХрд┐рд▓ рд╣реЛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред рдЗрд╕ рддрд░рд╣ рдХреА рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛рдУрдВ рдХрд╛ рдПрдХ рд╣рдбрд╝рддрд╛рд▓реА рдкреНрд░рддрд┐рдирд┐рдзрд┐ рд╕рдВрдХреНрд░рдордг рдзрд╛рддреБ рдбрд╛рдЗрдХреНрд▓реЛрдЬреЗрдирд╛рдЗрдбреНрд╕ рдХрд╛ рдЧрдарди рд╣реИред рд╣рд╛рд▓рд╛рдВрдХрд┐, рд╡реИрдЬреНрдЮрд╛рдирд┐рдХреЛрдВ рдХреА рдЙрддреНрд╕реБрдХ рдЯрдХрдЯрдХреА рд╕реЗ рдХреБрдЫ рднреА рдЫрд┐рдкрд╛ рдирд╣реАрдВ рд╣реЛрдЧрд╛ред рддреЛ, рд╡реИрдЬреНрдЮрд╛рдирд┐рдХреЛрдВ Toshiaki Kato рдФрд░ Toshiro Kaneko рд╡реНрдпрдХреНрддрд┐рдЧрдд рд░реВрдк рд╕реЗ рд╕рдВрдХреНрд░рдордг рдзрд╛рддреБ рдбрд╛рдЗрдХреНрд▓реЛрдЬреЗрдирд╛рдЗрдбреНрд╕ рдХреЗ рд╕рдВрд╢реНрд▓реЗрд╖рдг рдХрд╛ рдирд┐рд░реАрдХреНрд╖рдг рдХрд░рдиреЗ рдореЗрдВ рд╕рдХреНрд╖рдо рдереЗ, рдЬреЛ рдХрдИ рдкрд░рдорд╛рдгреБрдУрдВ рдХреА рдореЛрдЯрд╛рдИ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХ рд╡реЗрдлрд░реНрд╕ рд╣реИрдВред рдЗрди рд╕рдВрдХреНрд░рдордг рдзрд╛рддреБ рдбрд╛рдЗрдХреНрд▓реЛрдЬреЗрдирд╛рдЗрдбреНрд╕ рдХреЗ рдмрд╛рд░реЗ рдореЗрдВ рдЗрддрдирд╛ рдЕрд╕рд╛рдорд╛рдиреНрдп рдХреНрдпрд╛ рд╣реИ, рд╡реИрдЬреНрдЮрд╛рдирд┐рдХреЛрдВ рдиреЗ рдЕрдкрдиреЗ рд░рд╣рд╕реНрдпреЛрдВ рдХреА рдЦреЛрдЬ рдХреИрд╕реЗ рдХреА рдФрд░ рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХреЛрдВ рдХреА рджреБрдирд┐рдпрд╛ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЗрд╕рдХрд╛ рдХреНрдпрд╛ рдорддрд▓рдм рд╣реИ? рд╣рдо рдЗрд╕ рдмрд╛рд░реЗ рдореЗрдВ рдЕрдиреБрд╕рдВрдзрд╛рди рд╕рдореВрд╣ рдХреА рд░рд┐рдкреЛрд░реНрдЯ рд╕реЗ рд╕реАрдЦрддреЗ рд╣реИрдВред рдЪрд▓реЛ рдЪрд▓рддреЗ рд╣реИрдВред
рдЕрдзреНрдпрдпрди рдХрд╛ рдЖрдзрд╛рд░
рд╕рдВрдХреНрд░рдордг рдзрд╛рддреБ рдбрд╛рдЗрдХреНрд▓реЛрдЬреЗрдирд╛рдЗрдбреНрд╕ (рдЗрд╕рдХреЗ рдмрд╛рдж рдкреАрдбреАрдПрдо) рдПрдХ рдкрддрд▓реЗ рдореЛрдиреЛрд▓реЗрдпрд░ рд╕реЗрдореАрдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░ рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИ рдЬрд┐рд╕рдореЗрдВ рдПрдХ рдЯреНрд░рд╛рдВрдЬрд╝рд┐рд╢рди рдореЗрдЯрд▓ рдФрд░ рдЪреЙрдХрди рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИред рдзрд╛рддреБ рдкрд░рдорд╛рдгреБрдУрдВ рдХреА рдПрдХ рдкрд░рдд рдЪрд╛рдХреЛрдЬреЗрди рдкрд░рдорд╛рдгреБрдУрдВ рдХреА рджреЛ рдкрд░рддреЛрдВ рдХреЗ рдмреАрдЪ рд╕реНрдерд┐рдд рд╣реЛрддреА рд╣реИ, рдЬрд┐рд╕реЗ рд╕реВрддреНрд░ рдПрдордПрдХреНрд╕
2 (рдПрдо - рдзрд╛рддреБ рдФрд░ рдПрдХреНрд╕ - рдЪреЗрд▓реНрдХреЛрдЬрди) рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рд╡реНрдпрдХреНрдд рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИред
рдЪрд╛рд▓реНрдХреЛрдЬреЗрдиреЗрд╕ рдореЗрдВ рдРрд╕реЗ рддрддреНрд╡ рд╢рд╛рдорд┐рд▓ рд╣реИрдВ рдЬреЛ рд╣рдорд╛рд░реЗ рд▓рд┐рдП рдХрд╛рдлреА рдкрд░рд┐рдЪрд┐рдд рд╣реИрдВ: рдСрдХреНрд╕реАрдЬрди, рд╕рд▓реНрдлрд░, рд╕реЗрд▓реЗрдирд┐рдпрдо, рдЯреЗрд▓реНрдпреВрд░рд┐рдпрдо, рдкреЛрд▓реЛрдирд┐рдпрдо, рдФрд░ рдХреГрддреНрд░рд┐рдо рд░реВрдк рд╕реЗ рд╕рдВрд╢реНрд▓реЗрд╖рд┐рдд рд▓рд┐рд╡рд░рд╡рд░реНрдо (рд▓рд╡)ред
рдЗрд╕рдХреА рд╕рдВрд░рдЪрдирд╛ рдореЗрдВ рдкреАрдбреАрдПрдо рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ рдЗрди рддрддреНрд╡реЛрдВ (рдзрд╛рддреБ рдФрд░ рдЪреЗрд▓реНрдХреЛрдЬреЗрди) рдХрд╛ рд╕рдВрдпреЛрдЬрди рджреЛ рдЖрдпрд╛рдореА рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рд╣реИ, рдЗрд╕рдХреА рдЕрд╡рд┐рд╢реНрд╡рд╕рдиреАрдп рд░реВрдк рд╕реЗ рдЫреЛрдЯреА рдореЛрдЯрд╛рдИ рдХреЗ рдХрд╛рд░рдг, рдЬреЛ рдЕрд╕рд╛рдорд╛рдиреНрдп рдЧреБрдгреЛрдВ рдФрд░ рд╡рд┐рд╢реЗрд╖рддрд╛рдУрдВ рдХреА рдЙрдкрд╕реНрдерд┐рддрд┐ рдХреА рдУрд░ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред рдЕрдХреНрд╕рд░, рдкреАрдбреАрдПрдо рдХреА рддреБрд▓рдирд╛ рдЧреНрд░рд╛рдлреАрди рд╕реЗ рдХреА рдЬрд╛рддреА рд╣реИ, рдПрдХ рдФрд░ рджреНрд╡рд┐-рдЖрдпрд╛рдореА рд╕рдВрд░рдЪрдирд╛, рдЬрд┐рд╕рдХреЗ рдЧреБрдг рдЙрд╕рдХреЗ рддреАрди-рдЖрдпрд╛рдореА рдЖрдзрд╛рд░ (рдХрд╛рд░реНрдмрди) рд╕реЗ рдмрд╣реБрдд рдЕрд▓рдЧ рд╣реИрдВред рдкреАрдбреАрдПрдо рдХреЗ рдХрдИ рджрд┐рд▓рдЪрд╕реНрдк рдЧреБрдгреЛрдВ рдореЗрдВ рд╢рд╛рдорд┐рд▓ рд╣реИрдВ:
- MoS 2 , WS 2 , MoSe 2 , WSe 2 , MoTe 2 рдкреНрд░рддреНрдпрдХреНрд╖-рдЕрдВрддрд░ рд╣реИрдВ, рдЕрд░реНрдерд╛рддреНред рдЙрди рдореЗрдВ, рдЪрд╛рд▓рди рдмреИрдВрдб рд╕реЗ рд╡реИрд▓реЗрдВрд╕ рдмреИрдВрдб рддрдХ рдПрдХ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрди рдХрд╛ рд╕рдВрдХреНрд░рдордг рдЧрддрд┐ рдХреЗ рдиреБрдХрд╕рд╛рди рдХреЗ рд╕рд╛рде рдирд╣реАрдВ рд╣реИ, рдЬреЛ рдЗрди рдпреМрдЧрд┐рдХреЛрдВ рдХреЛ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХреНрд╕ рдпрд╛ рдЙрддреНрд╕рд░реНрдЬрдХреЛрдВ рдФрд░ рдкреНрд░рдХрд╛рд╢рд┐рдХреА рдореЗрдВ рд╕реЗрдВрд╕рд░ рдмрдирд╛рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЙрддреНрдХреГрд╖реНрдЯ рдмрдирд╛рддрд╛ рд╣реИ;
- PDM рдореЗрдВ рдПрдХ рдЙрд▓рдЯрд╛ рдХреЗрдВрджреНрд░ * рдирд╣реАрдВ рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИ , рдЬреЛ рд╣рдореЗрдВ рд╢реБрд▓реНрдХ рд╡рд╛рд╣рдХ $ рдХреА рдПрдХ рдирдИ рдбрд┐рдЧреНрд░реА рдкреНрд░рд╛рдкреНрдд рдХрд░рдиреЗ рдХреА рдЕрдиреБрдорддрд┐ рджреЗрддрд╛ рд╣реИ
- рдкреАрдбреАрдПрдо рдореЛрдиреЛрд▓рдпрд░реНрд╕ рдореЗрдВ рдордЬрдмреВрдд рд╕реНрдкрд┐рди-рдСрд░реНрдмрд┐рдЯ рдЗрдВрдЯрд░реИрдХреНрд╢рди, рд╡реИрд▓реЗрдВрд╕ рдмреИрдВрдб рдореЗрдВ рд╕реИрдХрдбрд╝реЛрдВ meV рдХреЗ рд╕реНрдкрд┐рди-рдСрд░реНрдмрд┐рдЯ рд╡рд┐рднрд╛рдЬрди рдФрд░ рдХрдВрдбрдХреНрд╢рди рдмреИрдВрдб рдореЗрдВ рдХрдИ meV рдХреА рдУрд░ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ, рдЬреЛ рдЖрдкрдХреЛ рд▓реЗрдЬрд░ рдлреЛрдЯреЙрди рдКрд░реНрдЬрд╛ рдХреЛ рд╕рдорд╛рдпреЛрдЬрд┐рдд рдХрд░рдХреЗ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрди рд╕реНрдкрд┐рди рдХреЛ рд╕рдорд╛рдпреЛрдЬрд┐рдд рдХрд░рдиреЗ рдХреА рдЕрдиреБрдорддрд┐ рджреЗрддрд╛ рд╣реИ;
- MoS 2 рдХреА рджреЛ-рдЖрдпрд╛рдореАрддрд╛ рдФрд░ рдЗрд╕ рдпреМрдЧрд┐рдХ рдХреЗ рдЙрдЪреНрдЪ рд╕реНрдкрд┐рди-рдСрд░реНрдмрд┐рдЯ рдпреБрдЧреНрдорди рдореЗрдВ рд╕реНрдкрд┐рдВрдЯреНрд░реЛрдирд┐рдХреНрд╕ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдХрд╛рдлреА рд╕рдВрднрд╛рд╡рдирд╛рдПрдВ рд╣реИрдВред
рд╡реНрдпреБрддреНрдХреНрд░рдо рдХрд╛ рдХреЗрдВрджреНрд░ * рдЖрдХреГрддрд┐ (рдЗрд╕ рдорд╛рдорд▓реЗ рдореЗрдВ рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓) рдХреЗ рдЕрдВрджрд░ рдХрд╛ рдмрд┐рдВрджреБ рд╣реИ, рдЬрд┐рд╕ рдкрд░ рдХрд┐рд╕реА рднреА рд░реЗрдЦрд╛ рдХреЛ рдЗрд╕рдХреЗ рджреЛрдиреЛрдВ рдУрд░ рдФрд░ рд╕рдорд╛рди рджреВрд░реА рдкрд░ рдЗрд╕рдХреЗ рдорд╛рдзреНрдпрдо рд╕реЗ рдЦреАрдВрдЪреА рдЧрдИ рдЖрдХреГрддрд┐ рдХреЗ рд╕рдВрдЧрдд рдмрд┐рдВрджреБрдУрдВ рдХреЛ рдкреВрд░рд╛ рдХрд░реЗрдЧрд╛ред
рдФрд░ рдпрд╣ рдкреАрдбреАрдПрдо рдореЗрдВ рдирд┐рд╣рд┐рдд рд╕реБрд╡рд┐рдзрд╛рдУрдВ рдХрд╛ рдХреЗрд╡рд▓ рдПрдХ рдЫреЛрдЯрд╛ рд╕рд╛ рд╣рд┐рд╕реНрд╕рд╛ рд╣реИред рдФрд░ рдХреНрд╖рдорддрд╛рдУрдВ рдХреА рдЗрд╕ рд╕реАрдорд╛ рдХрд╛ рд╡рд┐рд╕реНрддрд╛рд░ рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рд╡рд┐рднрд┐рдиреНрди рд╕реНрдерд┐рддрд┐рдпреЛрдВ рдореЗрдВ рдкреАрдбреАрдПрдо рдХреЗ рдЧрдарди рдХреА рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдХрд╛ рдЕрдзреНрдпрдпрди рдХрд░рдХреЗ рдЕрдзрд┐рдХ рд╡рд┐рд╕реНрддрд╛рд░ рд╕реЗ рд╣реА рд╕рдВрднрд╡ рд╣реИред рд╣рдорд╛рд░реЗ рдХрд╛рдо рдореЗрдВ рдЖрдЬ, рд╡реИрдЬреНрдЮрд╛рдирд┐рдХреЛрдВ рдиреЗ рдЯрдВрдЧрд╕реНрдЯрди рдбрд╛рдЗрд╕рд▓реНрдлрд╝рд╛рдЗрдб (WS
2 ) рдХреА рд╡реГрджреНрдзрд┐ рдХреЗ рджреМрд░рд╛рди рдкреНрд░рд╕рд╛рд░ рдФрд░ рдиреНрдпреВрдХреНрд▓рд┐рдПрд╢рди рдХреА рдЧрддрд┐рд╢реАрд▓рддрд╛ рдХрд╛ рдЕрд╡рд▓реЛрдХрди рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдПрдХ рдирдИ рд╡рд┐рдзрд┐ рдХрд╛ рд╡рд░реНрдгрди рдХрд┐рдпрд╛ рд╣реИред рд╡реЗ
рдкреВрд░реНрд╡рд╡рд░реНрддреА * рдХреЗ рдкреНрд░рд╕рд╛рд░ рдХреА рд▓рдВрдмрд╛рдИ (рдПрд▓
рдбреА ) рдХреЛ рднреА рд╕рдЯреАрдХ рд░реВрдк рд╕реЗ рдирд┐рд░реНрдзрд╛рд░рд┐рдд рдХрд░рдиреЗ рдореЗрдВ рдХрд╛рдордпрд╛рдм рд░рд╣реЗред
Precursor * - рдЕрдВрддрд┐рдо рдкрджрд╛рд░реНрде рдХреЗ рдЧрдарди рдХреА рдкреНрд░рддрд┐рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдореЗрдВ рд╢рд╛рдорд┐рд▓ рдПрдХ рдкрджрд╛рд░реНрдеред
рдЕрдзреНрдпрдпрди рдХреЗ рдЕрдиреБрд╕рд╛рд░, L
d рдХрд╛ рдорд╛рди ~ 750 рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрди рддрдХ рдкрд╣реБрдВрдЪ рдЧрдпрд╛, рдЬреЛ рдХрд┐ рдкрд╛рд░рдВрдкрд░рд┐рдХ рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХреЛрдВ рдЬреИрд╕реЗ Si
12 , GaAs
13 рдФрд░ SiC
14 рдХреА рддреБрд▓рдирд╛ рдореЗрдВ рдкрд░рд┐рдорд╛рдг рдХреЗ рд▓рдЧрднрдЧ рджреЛ рдСрд░реНрдбрд░ рдЕрдзрд┐рдХ рд╣реИред WS
2 рдХреЗ рдЧрдарди рдХреЗ рджреМрд░рд╛рди рджреЗрдЦреА рдЧрдИ рдЕрдЧреНрд░рджреВрдд рдмреВрдВрджреЛрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рд╡реИрдЬреНрдЮрд╛рдирд┐рдХ рдЗрддрдиреЗ рдмрдбрд╝реЗ рд╕рдВрдХреЗрддрдХ рдХрд╛ рд╢реНрд░реЗрдп рджреЗрддреЗ рд╣реИрдВред
рдЕрдиреБрд╕рдВрдзрд╛рди рдХреЗ рдкрд░рд┐рдгрд╛рдо
рдФрд░ рдЕрдм рд╣рдо рд╡рд┐рдЪрд╛рд░ рдХрд░рдирд╛ рд╢реБрд░реВ рдХрд░реЗрдВрдЧреЗ рдХрд┐ рд╡реИрдЬреНрдЮрд╛рдирд┐рдХ рдЕрдкрдиреА рдЯрд┐рдкреНрдкрдгрд┐рдпреЛрдВ рдХреЗ рджреМрд░рд╛рди рдХреНрдпрд╛ рдЦреЛрдЬрдиреЗ рдореЗрдВ рд╕рдХреНрд╖рдо рдереЗред
рд╕рдмрд╕реЗ рдкрд╣рд▓реЗ, рд╡реИрдЬреНрдЮрд╛рдирд┐рдХ рдзреНрдпрд╛рди рджреЗрдВ рдХрд┐ рджреНрд╡рд┐-рдЖрдпрд╛рдореА рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рдХреЗ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рдХреА рдЧрддрд┐рд╢реАрд▓рддрд╛ рдХрд╛ рдЕрдзреНрдпрдпрди рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдиреНрдпреВрдХреНрд▓рд┐рдПрд╢рди рдХреНрд╖реЗрддреНрд░реЛрдВ (рдЪрд░рдг рд╕рдВрдХреНрд░рдордг рдХрд╛ рдкрд╣рд▓рд╛ рдЪрд░рдг) рдкрд░ рдирд┐рдпрдВрддреНрд░рдг рд░рдЦрдирд╛ рдмрд╣реБрдд рдЙрдкрдпреЛрдЧреА рд╣реИред рдЕрдкрдиреЗ рдХрд╛рдо рдореЗрдВ, рд╢реЛрдзрдХрд░реНрддрд╛рдУрдВ рдиреЗ рд╕реЛрдиреЗ (рдПрдпреВ) рдХреЗ рдмрд┐рдВрджреБ рд╕рдорд╛рд╡реЗрд╢рди рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд┐рдпрд╛, рдЬрд┐рд╕рд╕реЗ рдиреНрдпреВрдХреНрд▓рд┐рдпреЗрд╢рди рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ WS
2 рдФрд░ рдиреНрдпреВрдХреНрд▓рд┐рдПрд╢рди рдХреНрд╖реЗрддреНрд░реЛрдВ рдХреЗ рдШрдирддреНрд╡ (
1a -
1c ) рдХреЛ рдареАрдХ рд╕реЗ рдирд┐рдпрдВрддреНрд░рд┐рдд рдХрд░рдирд╛ рд╕рдВрднрд╡ рд╣реЛ рдЧрдпрд╛ред
рдЪрд┐рддреНрд░ рд╕рдВрдЦреНрдпрд╛ 1рдЫрд╡рд┐
1d рдПрдпреВ рдЕрдВрдХ рдХреЗ рдПрдХ рд╕рд░рдгреА рд╡рд╛рд▓реЗ рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдкрд░ рдбрдмреНрд▓реНрдпреВрдПрд╕
2 рдХреЗ рд╕рдВрд╢реНрд▓реЗрд╖рдг рдХреЗ рдкрд░рд┐рдгрд╛рдореЛрдВ рдХреЛ рджрд┐рдЦрд╛рддрд╛ рд╣реИ, рдЬрд┐рд╕рдореЗрдВ рдПрдпреВ рдЕрдВрдХ (рдПрд▓
рдПрдпреВ ) рдХреЗ рдХреЗрдВрджреНрд░реЛрдВ рдХреЗ рдмреАрдЪ рдХреА рджреВрд░реА 20 рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрди рдереАред рдПрдпреВ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдХреНрд╖реЗрддреНрд░реЛрдВ рдореЗрдВ рддреНрд░рд┐рдХреЛрдгреАрдп WS
2 рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рдХреА рд╡реГрджреНрдзрд┐, рдиреНрдпреВрдХреНрд▓рд┐рдПрд╢рди рдХреНрд╖реЗрддреНрд░реЛрдВ рдкрд░ рдирд┐рдпрдВрддреНрд░рдг рдХреА рдЙрдкрд╕реНрдерд┐рддрд┐ рдФрд░ рдЙрдирдХреЗ рдШрдирддреНрд╡ рдХреЛ рджрд░реНрд╢рд╛рддреА рд╣реИред
рдЗрд╕рдХреЗ рдЕрд▓рд╛рд╡рд╛, рдкреНрд░рд╕рд╛рд░ рдХреА рд▓рдВрдмрд╛рдИ (рдПрд▓
рдбреА ), рдЬреЛ рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ (
1 рд╕реА ) рдХрд╛ рдПрдХ рдорд╣рддреНрд╡рдкреВрд░реНрдг рдЧрддрд┐рдЬ рдкреИрд░рд╛рдореАрдЯрд░ рд╣реИ, рдкреНрд░рдпреЛрдЧрд╛рддреНрдордХ рд░реВрдк рд╕реЗ рдирд┐рд░реНрдзрд╛рд░рд┐рдд рдХрд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛ред рдпрд╣ рджреЗрдЦрддреЗ рд╣реБрдП рдХрд┐ WS
2 рдХрд╛ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рдХреЗрд╡рд▓ Au рдХреЗ рд╕рд╛рде рдХреНрд╖реЗрддреНрд░реЛрдВ рдореЗрдВ рджреЗрдЦрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛, Au рдЕрдВрдХ рдХреЗ рдмреАрдЪ рдХреЗ рд╕реНрдерд╛рдиреЛрдВ рдореЗрдВ SiO
2 рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдирдВрдЧреЗ (
1d ) рдмрдиреЗ рд░рд╣реЗред
рдЗрд╕ рдЕрд╡рд▓реЛрдХрди рдиреЗ рд╡реИрдЬреНрдЮрд╛рдирд┐рдХреЛрдВ рдХреЛ рджреЛ рдиреНрдпреВрдХреНрд▓рд┐рдпреЗрд╢рди рддрдВрддреНрд░ рдХрд╛ рд╕реБрдЭрд╛рд╡ рджрд┐рдпрд╛ред рдпрджрд┐ рд╡рд╛рд╖реНрдк рдЪрд░рдг рд╕реЗ рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдХреЛ рд╡рд┐рддрд░рд┐рдд рд▓рдЧрднрдЧ рд╕рднреА рдкреВрд░реНрд╡рд╡рд░реНрддреА рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдХреЛ рдПрдпреВ рдЕрдВрдХ рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рдкреНрд░рднрд╛рд╡реА рд░реВрдк рд╕реЗ рдЖрдХрд░реНрд╖рд┐рдд рдХрд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛ рдФрд░ рдбрдмреНрд▓реНрдпреВрдПрд╕
2 рд╡реГрджреНрдзрд┐ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛, рддреЛ рдПрд▓
рдбреА рдХреЛ рдирд┐рдореНрди рд╕реВрддреНрд░ рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рдирд┐рд░реНрдзрд╛рд░рд┐рдд рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИ:
рдПрд▓
рдбреА тЙИ d2L
рдПрдпреВ / 2
рджрд┐рд▓рдЪрд╕реНрдк рдмрд╛рдд рдпрд╣ рд╣реИ рдХрд┐ рд╡реНрдпрдХреНрддрд┐рдЧрдд WS
2 рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рдХрд╛ рдЧрдарди рдХреЗрд╡рд▓ Au рдХреНрд╖реЗрддреНрд░реЛрдВ рдореЗрдВ рддрдм рднреА рджреЗрдЦрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛ рдЬрдм L
Au m 200 рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрди (
1e рдФрд░
1f ) рдерд╛ред рдФрд░ рдпрд╣ рдмрддрд╛рддрд╛ рд╣реИ рдХрд┐ рдЕрдзрд┐рдХрддрдо рд╕рдВрдХреЗрддрдХ L
d 140 рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрди рд╕реЗ рдЕрдзрд┐рдХ рдирд╣реАрдВ рд╣реЛрдЧрд╛ред рдпрд╣ рдЕрд╡рд▓реЛрдХрди рднреА рджрд┐рд▓рдЪрд╕реНрдк рд╣реИ рдХрд┐ рдПрд▓
рдбреА рдкрд╛рд░рдВрдкрд░рд┐рдХ рд╕реЗрдореАрдХрдВрдбрдХреНрдЯрд░ рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА (рд╕реА
12 , рдЧреИрд╕
13 рдФрд░ рд╕реАрд╕реАрд╕реА
14 ) 0.2 рд╕реЗ 30 рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрди рдХреА рд╕реАрдорд╛ рдореЗрдВ рд╣реИред
L
d рдХреЗ рдЕрдзрд┐рдХ рд╕рдЯреАрдХ рдирд┐рд░реНрдзрд╛рд░рдг рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдФрд░ рдЕрдЧреНрд░рджреВрдд рдХреЗ рд╕реБрдкрд░рд▓рдВрдЧ рд╡рд┐рд╕рд░рдг рдХреЗ рдЕрд╡рд▓реЛрдХрди рдХреЗ рд▓рд┐рдП, Au рдмрд┐рдВрджреБрдУрдВ (
2a ) рдХреЗ рдЪрд╛рд░реЛрдВ рдУрд░ рдкреНрд░рд╕рд╛рд░ рдЕрд╡рд░реЛрдз рд╕реНрдерд╛рдкрд┐рдд рдХрд┐рдП рдЧрдП рдереЗред
рдЪрд┐рддреНрд░ рд╕рдВрдЦреНрдпрд╛ 2рдкреНрд░рд╛рд░рдВрднрд┐рдХ рдЪрд░рдг рдореЗрдВ рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рдХреА рд╡реГрджреНрдзрд┐ рд░реБрдХ тАЛтАЛрдЧрдИ, рдЬрдм рддреНрд░рд┐рдХреЛрдгреАрдп рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ WS
2 (L
WS 2 ) рдХреЗ рдкреНрд░рддреНрдпреЗрдХ рдкрдХреНрд╖ рдХреА рд▓рдВрдмрд╛рдИ рд╡реГрджреНрдзрд┐ рдХреЗ рд╕рдордп рдХреЗ рд╕рд╛рде рдмрдврд╝ рдЧрдИред рдЗрд╕ рдореЙрдбрд▓ рдореЗрдВ L
WS 2 рдХрд╛ рдорд╛рди рдмрд╣реБрдд рд╕рдВрдмрдВрдзрд┐рдд рд╣реИ ()
eff t)
0.5 , рдЬрд╣рд╛рдВ is
eff , WS
2 рдХреЗ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рдХреЗ рдХрд┐рдирд╛рд░реЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдкреНрд░рднрд╛рд╡реА рдЕрдЧреНрд░рдЧрд╛рдореА рдкреНрд░рд╡рд╛рд╣ рд╣реИ, рдФрд░ t рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рдХрд╛ рд╕рдордп рд╣реИред рдЗрд╕рдХреЗ рдЕрд▓рд╛рд╡рд╛,
d d 2 0 L
d 2 рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЖрдиреБрдкрд╛рддрд┐рдХ рдерд╛, рдЬрд╣рд╛рдВ the
0 рд╡рд╛рд╖реНрдк-рдЪрд░рдг рдЕрдЧреНрд░рджреВрддреЛрдВ рдХрд╛ рдкреНрд░рд╡рд╛рд╣ рдкреНрд░рддрд┐ рдЗрдХрд╛рдИ рдХреНрд╖реЗрддреНрд░ рдореЗрдВ рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рд╣реИред ╬У
eff рдбрд┐рдлреНрдпреВрдЬрди рдмреИрд░рд┐рдпрд░ рд╡реЙрд▓ (L
BW ) рдХреА рд▓рдВрдмрд╛рдИ рдкрд░ рдирд┐рд░реНрднрд░ рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ; рдЗрд╕рд▓рд┐рдП, L
WS 2 , L
BW (
2a рдФрд░
2b ) рдХреЗ рдЖрдзрд╛рд░ рдкрд░ рдЕрд▓рдЧ-рдЕрд▓рдЧ рд╣реЛрдЧрд╛ред
рдЗрд╕ рдореЙрдбрд▓ рдХреЗ рдЖрдзрд╛рд░ рдкрд░, рд╡реИрдЬреНрдЮрд╛рдирд┐рдХреЛрдВ рдиреЗ рдПрдХ рдХреНрд╖реЗрддреНрд░ рдХрд╛ рд╕реБрдЭрд╛рд╡ рджрд┐рдпрд╛ рдЬрд┐рд╕рдореЗрдВ L
WS 2 рдХреА рд╡реГрджреНрдзрд┐ рджреНрд╡рд┐рдШрд╛рдд рд╕рдорд╛рд░реЛрд╣ L
BW рд╕реЗ рд╕рдВрддреГрдкреНрддрд┐ рдЕрд╡рд╕реНрдерд╛ (
2b ) рдореЗрдВ рдкрд░рд┐рд╡рд░реНрддрд┐рдд рд╣реЛ рдЬрд╛рдПрдЧреАред рдЗрд╕ рдкреНрд░рдХрд╛рд░, L
BW ,
2b рдЧреНрд░рд╛рдл рдкрд░ рд╡рд┐рднрдХреНрддрд┐ рдмрд┐рдВрджреБ рдкрд░ 2L
d рдХреЗ рдмрд░рд╛рдмрд░ рд╣реЛрдЧрд╛ред
рд╡рд╛рд╕реНрддрд╡рд┐рдХ рдкреНрд░рдпреЛрдЧ рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рд╡реИрдЬреНрдЮрд╛рдирд┐рдХреЛрдВ рдиреЗ рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдкрд░ рд╡рд┐рднрд┐рдиреНрди рдЖрдХрд╛рд░реЛрдВ рдХреЗ рд╡рд░реНрдЧ рдкреНрд░рд╕рд╛рд░ рдЕрд╡рд░реЛрдзреЛрдВ рдХреЛ рд░рдЦрд╛, рдЬрд┐рдирдореЗрдВ рд╕реЗ рдкреНрд░рддреНрдпреЗрдХ рдПрдпреВ (
2 рд╕реА ) рдмрд┐рдВрджреБ рдХреЗ рдЖрд╕рдкрд╛рд╕ рдХреЗрдВрджреНрд░рд┐рдд рдерд╛ред рдЬреИрд╕рд╛ рдХрд┐ рдЕрдкреЗрдХреНрд╖рд┐рдд рдерд╛, L
WS 2 рдФрд░ L
BW (
2d -
2g ) рдХреЗ рдмреАрдЪ рдПрдХ рд╕реНрдкрд╖реНрдЯ рд╕рдВрдмрдВрдз рдерд╛ред
рдЬрдм L
BW рдЫреЛрдЯрд╛ рдерд╛, L
WS 2 L
BW рдХреЗ рд╕рд╛рде рдмрдврд╝ рдЧрдпрд╛ рдФрд░ рдорд╣рддреНрд╡рдкреВрд░реНрдг рд╕реАрдорд╛ L
BW рддрдХ рдкрд╣реБрдВрдЪрдиреЗ рдХреЗ рдмрд╛рдж рд╕рдВрддреГрдкреНрддрд┐ рдмрд┐рдВрджреБ рдкрд░ рдкрд╣реБрдВрдЪ рдЧрдпрд╛ред рдЗрд╕рд╕реЗ рд╕рдВрдХреЗрдд рдорд┐рд▓рд╛ рдХрд┐ WS
2 рдХрд╛ рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рдЖрдХрд╛рд░ рдкреНрд░рд╕рд╛рд░ рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рдирд┐рдпрдВрддреНрд░рд┐рдд рдХрд┐рдпрд╛
рдЧрдпрд╛ рдерд╛ , рдФрд░ рдпрд╣ рдХрд┐ L
d рдХреЛ рджрд╣рд▓реАрдЬ L
BW рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рдирд┐рд░реНрдзрд╛рд░рд┐рдд рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИред рдпрд╣ рднреА рдкрд╛рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдХрд┐ рдПрд▓
рдбреА рдореЗрдВ рдкрд░рд┐рд╡рд░реНрддрди рдЙрд╕ рдХреНрд╖реЗрддреНрд░ рдореЗрдВ рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ (рдкреА 1, рдкреА 2, рдкреА 3, рдкреА 4) рдкрд░ рдиреНрдпреВрдХреНрд▓рд┐рдПрд╢рди рдХреА рд╕реНрдерд┐рддрд┐ рдкрд░ рдирд┐рд░реНрднрд░ рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ, рдЬрд╣рд╛рдВ рддрд╛рдкрдорд╛рди ~ 721 рдбрд┐рдЧреНрд░реА рд╕реЗрд▓реНрд╕рд┐рдпрд╕ рд╕реЗ ~ 654 рдбрд┐рдЧреНрд░реА рд╕реЗрд▓реНрд╕рд┐рдпрд╕ рддрдХ рдХрдо рд╣реЛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ, рдФрд░ рдПрд▓
рдбреА рдХреЗ рдЕрдзрд┐рдХрддрдо рдореВрд▓реНрдп ~ 750 рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрди рдкрд░ рджреЗрдЦрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛ред 721 ┬░ C (P1) рдФрд░ 698 ┬░ C (P2)ред
рдкрд╛рд░рдВрдкрд░рд┐рдХ рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХреЛрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рдкреНрд░рдореБрдЦ рдЪрд╛рд░реНрдЬ рдЯреНрд░рд╛рдВрд╕рдлрд░ рдореЙрдбрд▓ рдХреЛ рд░реЛрдХ рджрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ, рдЬрдм рдкреВрд░реНрд╡рд╡рд░реНрддреА рдирд┐рдХрдЯрддрдо рдкрдбрд╝реЛрд╕реА (рдирд┐рдХрдЯрддрдо рдкрдбрд╝реЛрд╕реА рд╕реЗ рдПрдирдПрди) рд╕реНрдерд┐рд░ рдХреНрд╖реЗрддреНрд░реЛрдВ рдХреЗ рдмреАрдЪ рдХреВрджрддреЗ рд╣реИрдВред рдкреНрд░рд╕рд╛рд░ рдХрдИ рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрдореАрдЯрд░ рдкрд░ рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИред рдЗрд╕ рдореЙрдбрд▓ рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░рддреЗ рд╣реБрдП WS
2 рдЕрдЧреНрд░рджреВрддреЛрдВ рдХреЗ рдЕрддрд┐рд░рд┐рдХреНрдд-рд▓рдВрдмреЗ рдкреНрд░рд╕рд╛рд░ рдХреЛ рд╕рдордЭрд╛рдиреЗ рдХреЗ рдкреНрд░рдпрд╛рд╕реЛрдВ рдиреЗ NN рдХреНрд╖реЗрддреНрд░реЛрдВ рдХреЗ рдмреАрдЪ рдХреА рджреВрд░реА рдХреА рддреБрд▓рдирд╛ рдореЗрдВ рдПрдХ рдЫрд▓рд╛рдВрдЧ рдореЗрдВ 100 рдЧреБрдирд╛ рд╕реЗ рдЕрдзрд┐рдХ рджреВрд░реА рддрдп рдХреА рд╣реИред рдЗрд╕рд╕реЗ рдкрд╣рд▓реЗ, рд╡реИрдЬреНрдЮрд╛рдирд┐рдХреЛрдВ рдХреЗ рдЕрдиреБрд╕рд╛рд░, рд╕рдорд╛рди рдЫрд▓рд╛рдВрдЧ рдкрд╣рд▓реЗ рд╕реЗ рд╣реА рджреЗрдЦреА рдЧрдИ рдереА, рд▓реЗрдХрд┐рди рдЗрддрдиреА рдмрдбрд╝реА рдирд╣реАрдВ рдереА, рдЕрд░реНрдерд╛рддреНред рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рд╕рддрд╣ рдкрд░ рдбрдмреНрд▓реНрдпреВ рдХреЗ рдкреНрд░рд╕рд╛рд░ рдХреЗ рджреМрд░рд╛рди, рдПрдирдПрди рдХреНрд╖реЗрддреНрд░реЛрдВ рдХреЗ рдмреАрдЪ рдХреА рджреВрд░реА рдХреА рддреБрд▓рдирд╛ рдореЗрдВ рд╕рдмрд╕реЗ рд▓рдВрдмреА рдЫрд▓рд╛рдВрдЧ рдХреЗрд╡рд▓ рдХрдИ рдмрд╛рд░ рд▓рдВрдмреА рдереАред
рдпрд╣ рджреЗрдЦрддреЗ рд╣реБрдП рдХрд┐ WS
2 рдореЗрдВ рдЗрд╕ рддрд░рд╣ рдХреЗ рд▓рдВрдмреЗ рдХреВрдж рдкрд╣рд▓реЗ рдХрд╣реАрдВ рднреА рдирд╣реАрдВ рджреЗрдЦреЗ рдЧрдП рдереЗ, рд╣рдо рдорд╛рди рд╕рдХрддреЗ рд╣реИрдВ рдХрд┐ WS
2 рдЕрдЧреНрд░рджреВрддреЛрдВ рдХрд╛ рдкреНрд░рд╕рд╛рд░ рдкреВрд░реА рддрд░рд╣ рд╕реЗ рдЕрд▓рдЧ рддрдВрддреНрд░ рдХреЗ рдЕрдиреБрд╕рд╛рд░ рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИред
рдЪрд┐рддреНрд░ рд╕рдВрдЦреНрдпрд╛ 3рдбрдмреНрд▓реНрдпреВрдПрд╕
2 рдЧрдарди рдХреА рдЧрддрд┐рд╢реАрд▓рддрд╛ рдХреЛ рдмреЗрд╣рддрд░ рдврдВрдЧ рд╕реЗ рд╕рдордЭрдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рдкреНрд░рдпреЛрдЧреЛрдВ рдХрд╛ рдЖрдпреЛрдЬрди рдХрд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛ рдЬрд┐рд╕рдореЗрдВ рд╕реЛрдиреЗ рдХреЗ рд╕рдорд╛рд╡реЗрд╢рди (рдбреА
рдПрдпреВ ) рдХреЗ рдЖрдХрд╛рд░ рдФрд░ рд╡реНрдпрд╛рд╕ рд╡рд┐рд╡рд┐рдз рдереЗ (
3 рдП )ред Nucleation рдмрд┐рдВрджреБ рдХреА рд╕рдВрд░рдЪрдирд╛ рдФрд░ WS
2 (
3a рдФрд░
3b ) рдХреЗ nucleation рдХреА рд╕рдВрднрд╛рд╡рдирд╛ рдХреЗ рдмреАрдЪ рдПрдХ рдордЬрдмреВрдд рд╕рд╣рд╕рдВрдмрдВрдз рджреЗрдЦрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛ред
рдпрд╣ рднреА рдиреЛрдЯ рдХрд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛ рдХрд┐ WS
2 рдореЛрдиреЛрд▓реЗрдпрд░ рдХрд╛ рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓реАрдХрд░рдг рд╕реЛрдиреЗ рдХреЗ рд╕рдорд╛рд╡реЗрд╢рди рдХреЗ рдЖрдХрд╛рд░ рдкрд░ рдирд┐рд░реНрднрд░ рдирд╣реАрдВ рдерд╛, WS
2 рд╕рд┐рдВрдЧрд▓ рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рд╕рдорд╛рди рд░реВрдк рд╕реЗ рдЧреЛрд▓, рддреНрд░рд┐рдХреЛрдгреАрдп, рд╡рд░реНрдЧ рдФрд░ рд░реЙрдб рдХреЗ рдЖрдХрд╛рд░ рд╡рд╛рд▓реЗ рдХреНрд╖реЗрддреНрд░реЛрдВ рдореЗрдВ рд╕рдорд╛рди рд░реВрдк рд╕реЗ рд╡рд┐рдХрд╕рд┐рдд рд╣реБрдПред
рдлрд┐рд░, рд╡реИрдЬреНрдЮрд╛рдирд┐рдХреЛрдВ рдиреЗ рдЕрдкрдиреА рд╢реВрдЯрд┐рдВрдЧ рдХреЛ рд╕реЛрдиреЗ рдХреЗ рдЧреЛрд▓ рдкреНрд░рд╕рд╛рд░ рдкрд░ рдареАрдХ рд╕реЗ рдХреЗрдВрджреНрд░рд┐рдд рдХрд┐рдпрд╛, рдЙрдирдХреЗ рд╡реНрдпрд╛рд╕ рдХреЛ рдмрджрд▓ рджрд┐рдпрд╛, рдФрд░ рд╡рд┐рднрд┐рдиреНрди рддрд╛рдкрдорд╛рдиреЛрдВ рдХреЗ рдкреНрд░рднрд╛рд╡ рдкрд░ рднреА рдирдЬрд░ рд░рдЦреА рдЧрдИред рдкреНрд░рдпреЛрдЧ рд╕реЗ рдкрддрд╛ рдЪрд▓рд╛ рдХрд┐ рдбреА
рдПрдпреВ ~ 1 рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрди рдкрд░, рдПрдХрд▓ рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рдбрдмреНрд▓реНрдпреВрдПрд╕
2 рдХреА рдПрдХрд╛рдЧреНрд░рддрд╛ рдбреА
рдПрдпреВ i 4 рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрди рд╕реЗ рдЕрдзрд┐рдХ рдереА, рдЕрд░реНрдерд╛рддред рд╕реЛрдирд╛ (
3s ) рдХреЗ рдЫреЛрдЯреЗ рд╕рдорд╛рд╡реЗрд╢рди рдкрд░ рд╡реГрджреНрдзрд┐ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдПрдХрд╛рдЧреНрд░рддрд╛ рдЕрдзрд┐рдХ рдереАред
рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рддрд╛рдкрдорд╛рди рдХреЛ рдмрджрд▓рдиреЗ рд╕реЗ рд╣рдореЗрдВ L
WS 2 рдХрд╛ рдорд╛рди рдмрджрд▓рдиреЗ рдХреА рдЕрдиреБрдорддрд┐ рдорд┐рд▓реАред L
WS 2 / D
Au рдкрд░ рдПрдХрд▓ рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рд╕рд╛рдВрджреНрд░рддрд╛ рдХреА рдирд┐рд░реНрднрд░рддрд╛ рдХреА рд╕рд╛рдЬрд┐рд╢ рдиреЗ рдПрдХ рд╕реНрдкрд╖реНрдЯ рд╕рд╣рд╕рдВрдмрдВрдз рджрд┐рдЦрд╛рдпрд╛: WS
2 рдПрдХрд▓ рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рдХреА рдПрдХрд╛рдЧреНрд░рддрд╛ LWS
2 / D
Au рдХреЗ рд╕рд╛рде рдмрдврд╝ рдЧрдИ рдФрд░ рд╕рдВрддреГрдкреНрддрд┐ (L
WS 2 / D
Au )> 6 (
3 рдбреА ) рдкрд░ рдкрд╣реБрдВрдЪ рдЧрдИред
рдЕрд╡рд▓реЛрдХрди рдбреЗрдЯрд╛ рдХреЛ рдирд┐рдореНрдирд╛рдиреБрд╕рд╛рд░ рд╕рд╛рд░рд╛рдВрд╢рд┐рдд рдХрд░рдирд╛:
рдЕрдЧреНрд░рджреВрдд рдХреА рдкреНрд░рд╕рд╛рд░ рд▓рдВрдмрд╛рдИ рд╕реБрдкрд░рд▓реЙрдЧ (~ 750 рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрди) рдереА;
рдПрдХрд▓ рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рд╡рд┐рднрд┐рдиреНрди рдЖрдХреГрддрд┐рдпреЛрдВ рдХреЗ рдЕрдиреНрддрд░реНрдирд┐рд░реНрдорд┐рдд рд╕реЛрдиреЗ (рдПрдпреВ) рдкрд░ рд╡рд┐рдХрд╕рд┐рдд рд╣реЛ рд╕рдХрддреЗ рд╣реИрдВ;
рдПрдХрд▓ рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рдФрд░ рдПрд▓
рдбрдмреНрд▓реНрдпреВрдПрд╕ 2 / рдбреА
рдПрдпреВ рдХреА рдПрдХрд╛рдЧреНрд░рддрд╛ рдХреЗ рдмреАрдЪ рдПрдХ рд╕реНрдкрд╖реНрдЯ рд╕рдВрдмрдВрдз рд╣реИред
рдЕрд╡рд▓реЛрдХрдиреЛрдВ рд╕реЗ рдкреНрд░рд╛рдкреНрдд рдЖрдВрдХрдбрд╝реЛрдВ рдХреЗ рдЖрдзрд╛рд░ рдкрд░, рд╡реИрдЬреНрдЮрд╛рдирд┐рдХреЛрдВ рдиреЗ рдЕрдЧреНрд░рджреВрдд (
3e ) рдХреЗ рдкреНрд░рд╕рд╛рд░ рдФрд░ рдиреНрдпреВрдХреНрд▓рд┐рдпреЗрд╢рди рдХреЗ рдЕрдкрдиреЗ рдореЙрдбрд▓ рдХрд╛ рдкреНрд░рд╕реНрддрд╛рд╡ рд░рдЦрд╛ред рдЪреВрдБрдХрд┐ рд╕реЛрдиреЗ рдХреЗ рд╕рдорд╛рд╡реЗрд╢рди рдХрд╛ рдЖрдХрд╛рд░ рдХрд┐рд╕реА рднреА рддрд░рд╣ рд╕реЗ WS
2 рдХреЗ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рд╕реЗ рдЬреБрдбрд╝рд╛ рдирд╣реАрдВ рд╣реИ, рдЗрд╕рд▓рд┐рдП рдпрд╣ рдорд╛рдирд╛ рдЬрд╛рдирд╛ рдЪрд╛рд╣рд┐рдП рдХрд┐ рдЕрдЧреНрд░рджреВрддреЛрдВ рдХрд╛ рдПрдХ рдЧреЛрд▓ "puddle" (
3e "
puddle ") рджреЛ рдЖрдпрд╛рдореА рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рдХреА рд╢реБрд░реБрдЖрдд рд╕реЗ рдкрд╣рд▓реЗ рднреА intersp Au рдХреЗ рдЖрд╕рдкрд╛рд╕ рдмрди рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИред рдЗрд╕рдХреЗ рдЕрд▓рд╛рд╡рд╛, рдкреЙрд▓реАрдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓рд╛рдЗрди WS
2 рдХреА рд╡реГрджреНрдзрд┐ рд╕рдВрднрд╡ рд╣реЛрдЧреАред рдЕрдЧреНрд░рджреВрдд рдкреЛрдЦрд░ рдХрд╛ рд╡реНрдпрд╛рд╕ рд╕реЛрдиреЗ (рдбреА
рдПрдпреВ ) рдХреЗ рд╕рдорд╛рд╡реЗрд╢рди рдХреЗ рд╡реНрдпрд╛рд╕ рд╕реЗ рдЫреЛрдЯрд╛ рд╣реЛрдЧрд╛ред рдирддреАрдЬрддрди, рдЕрдЧреНрд░рджреВрдд рдмреВрдВрджреЛрдВ рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдкрд░ рдЕрд▓рдЧ-рдЕрд▓рдЧ рд╣реЛрдЧрд╛, рдмрдЬрд╛рдп рд╡реНрдпрдХреНрддрд┐рдЧрдд рдЕрдгреБрдУрдВ рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ, рдЬреЛ SiO
2 рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдкрд░ рдЕрдЧреНрд░рджреВрддреЛрдВ рдХреЗ рдЕрддрд┐рд░рд┐рдХреНрдд рд▓рдВрдмреЗ рдкреНрд░рд╕рд╛рд░ рдХреЛ рд╕рдордЭрд╛рддрд╛ рд╣реИред
рдЗрд╕рдХреЗ рдЕрд▓рд╛рд╡рд╛, рдмреВрдВрджреЛрдВ рдФрд░ рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдХреЗ рдмреАрдЪ рдмрд╛рддрдЪреАрдд рд░рд╛рд╕рд╛рдпрдирд┐рдХ рдХреЗ рдмрдЬрд╛рдп рднреМрддрд┐рдХ рд╕реЛрдЦрдирд╛ рдХреЗ рдорд╛рдзреНрдпрдо рд╕реЗ рд╣реЛрддреА рд╣реИред рдФрд░ рдпрд╣ рдкрд░рдорд╛рдгреБ рдФрд░ рдЖрдгрд╡рд┐рдХ рдкреНрд░рд╕рд╛рд░ рд╕реЗ рдкреВрд░реА рддрд░рд╣ рд╕реЗ рдЕрд▓рдЧ рд╣реИ, рдЬрд╣рд╛рдВ рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдХреА рд╕рддрд╣ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдордЬрдмреВрдд рд░рд╛рд╕рд╛рдпрдирд┐рдХ рдЗрдВрдЯрд░реИрдХреНрд╢рди рдХреЗ рдХрд╛рд░рдг рдПрдирдПрди рдХреВрдж рдкреНрд░рдореБрдЦ рд╣реИред рд╢рд╛рд░реАрд░рд┐рдХ рд░реВрдк рд╕реЗ adsorbed рдмреВрдВрджреЗрдВ рдЖрд╕рд╛рдиреА рд╕реЗ рдЕрдкреЗрдХреНрд╖рд╛рдХреГрдд рд▓рдВрдмреЗ рд╕рдордп рдХреЗ рд▓рд┐рдП SiO
2 рдХреА рд╕рддрд╣ рдкрд░ рдЪрд▓рддреА рд╣реИрдВ, рдЬреЛ рдЕрд▓реНрдЯреНрд░рд╛-рд▓реЙрдиреНрдЧ рдбрд┐рдлреНрдпреВрдЬрд╝рди рд╕реБрдирд┐рд╢реНрдЪрд┐рдд рдХрд░рддреА рд╣реИрдВред
рд╡реИрдЬреНрдЮрд╛рдирд┐рдХреЛрдВ рдиреЗ рдпрдВрдЧ-рд▓рд╛рдкреНрд▓рд╛рд╕ рд╕рдореАрдХрд░рдг рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░рддреЗ рд╣реБрдП рдмреВрдВрджреЛрдВ рдХреА рд╕реНрдерд┐рд░рддрд╛ рдХрд╛ рдирд┐рд░реНрдзрд╛рд░рдг рдХрд┐рдпрд╛: ╬│P = 2 the / r, рдЬрд╣рд╛рдВ isP рдбреНрд░реЙрдк рджрдмрд╛рд╡ (рдкреА) рдФрд░ рд╡рд╛рд╖реНрдк рджрдмрд╛рд╡ (рдкреА
рдЖрдЙрдЯ ) рдХреЗ рдмреАрдЪ рдЕрдВрддрд░ рд╣реИ; t рдЫреЛрдЯреА рдмреВрдВрдж рдХрд╛ рд╕рддрд╣реА рддрдирд╛рд╡ рд╣реИ; r рдбреНрд░реЙрдк рдХрд╛ рддреНрд░рд┐рдЬреНрдпрд╛ рд╣реИред
WillP рдорд╛рди рдЬрд┐рддрдирд╛ рдЫреЛрдЯрд╛ рд╣реЛрдЧрд╛, рдбреНрд░реЙрдк рдЙрддрдиреА рд╣реА рд╕реНрдерд┐рд░ рд╣реЛрдЧреАред рдЗрд╕рдХрд╛ рдорддрд▓рдм рдпрд╣ рд╣реИ рдХрд┐ рдХрдо low рдХреЗ рд╕рд╛рде рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдЕрдзрд┐рдХ рд╕реНрдерд┐рд░ рд╣реЛрддреА рд╣реИ, рдЦрд╛рд╕рдХрд░ рдиреИрдиреЛрд╕реНрдХреЗрд▓ рд░реЗрдВрдЬ (рдЖрд░ <500 рдПрдирдПрдо) рдореЗрдВред рдкрд┐рдШрд▓рд╛ рд╣реБрдЖ рдзрд╛рддреБрдУрдВ рдХреЗ value рдмреВрдВрджреЛрдВ рдХреЗ рдореВрд▓реНрдп рдХреЛ рддрд╛рдкрдорд╛рди рдореЗрдВ рд╡реГрджреНрдзрд┐, рдмреВрдВрджреЛрдВ рдХреЗ рдЖрдХрд╛рд░ рдХреЛ рдХрдо рдХрд░рдиреЗ рдФрд░ рдЙрдиреНрд╣реЗрдВ рдСрдХреНрд╕реАрдЬрди рдХреЗ рд╕рд╛рде рдорд┐рд▓рд╛рдХрд░ рдХрдо рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИред рдпрд╣ рдорд╛рдирд╛ рдЬрд╛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИ рдХрд┐ рдЙрдЪреНрдЪ рддрд╛рдкрдорд╛рди рдкрд░ WxSyOz рдпреБрдХреНрдд рдиреИрдиреЛрд╕реНрдХреЗрд▓ рдмреВрдВрджреЗрдВ рд╕рддрд╣ рдХреА рдмрд╣реБрдд рдХрдо рддрдирд╛рд╡ рджрд░реНрд╢рд╛рддреА рд╣реИрдВ, рдЬреЛ рдЙрдиреНрд╣реЗрдВ рдЕрдЧреНрд░рджреВрдд рдмреВрдВрджреЛрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЙрдореНрдореАрджрд╡рд╛рд░ рдмрдирд╛рддреА рд╣реИрдВред рд╢реЛрдзрдХрд░реНрддрд╛рдУрдВ рдиреЗ рдзреНрдпрд╛рди рджрд┐рдпрд╛ рдХрд┐ WS
2 рдХреЗ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рдХреА рдЧрддрд┐рд╢реАрд▓рддрд╛ рдХреЛ рдмреЗрд╣рддрд░ рдврдВрдЧ рд╕реЗ рд╕рдордЭрдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рдЕрдЧреНрд░рджреВрдд рдмреВрдВрджреЛрдВ рдХреЗ рдШрдЯрдХреЛрдВ рдХрд╛ рд╕рд╛рд╡рдзрд╛рдиреАрдкреВрд░реНрд╡рдХ рдЕрдзреНрдпрдпрди рдХрд░рдирд╛ рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХ рд╣реИред
рд╕рднреА рдЧрдгрдирд╛рдУрдВ, рд╕рд┐рджреНрдзрд╛рдВрддреЛрдВ рдФрд░ рдкреНрд░рдпреЛрдЧрд╛рддреНрдордХ рдкрд░рд┐рдгрд╛рдореЛрдВ рдХреА рдкреБрд╖реНрдЯрд┐ рдмрд╣реБрдд рд╣реА рд╕рд░рд▓ рддрд░реАрдХреЗ рд╕реЗ рдХреА рдЬрд╛ рд╕рдХрддреА рд╣реИ, рд▓реЗрдХрд┐рди рдПрдХ рд╣реА рд╕рдордп рдореЗрдВ рдЬрдЯрд┐рд▓ рддрд░реАрдХреЗ рд╕реЗ, рдиреНрдпреВрдХреНрд▓рд┐рдпреЗрд╢рди рдЪрд░рдг рдХреЗ рдкреНрд░рддреНрдпрдХреНрд╖ рдЕрд╡рд▓реЛрдХрди рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ред
рдЪрд┐рддреНрд░ рд╕рдВрдЦреНрдпрд╛ 4рдкреНрд░рддреНрдпрдХреНрд╖ рдЕрд╡рд▓реЛрдХрди (рд╡рд╛рд╕реНрддрд╡рд┐рдХ рд╕рдордп рдореЗрдВ) рдХреЗ рджреМрд░рд╛рди, LWS
2 рдореЗрдВ рд╡реГрджреНрдзрд┐ рджреЗрдЦреА рдЧрдИ, рдЬреЛ WS
2 рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ (
4a -
4c ) рдХреЗ рд╡рд╛рд╕реНрддрд╡рд┐рдХ рд╕рдордп рдХреЗ рдЕрд╡рд▓реЛрдХрди рдХреА рдмрд╣реБрдд рд╕рдВрднрд╛рд╡рдирд╛ рдХреА рдкреБрд╖реНрдЯрд┐ рдХрд░рддрд╛ рд╣реИред
рдиреНрдпреВрдХреНрд▓рд┐рдпреЗрд╢рди рдХреЗ рдПрдХ рд╡рд┐рд╕реНрддреГрдд рдЕрдзреНрдпрдпрди рд╕реЗ рдПрдХ рджрд┐рд▓рдЪрд╕реНрдк рдкрд░рд┐рд╡рд░реНрддрди (
4d -
4f ) рдХрд╛ рдкрддрд╛ рдЪрд▓рд╛ред рд╡реГрджреНрдзрд┐ рдХреА рд╢реБрд░реБрдЖрдд рдореЗрдВ, рд░рд┐рдВрдЧ рд╕рдВрд░рдЪрдирд╛рдПрдВ (
4d рдФрд░
4g ) рдкреНрд░рд╛рдХреГрддрд┐рдХ рдиреНрдпреВрдХреНрд▓рд┐рдПрд╢рди рдХреЗрдВрджреНрд░ рдХреЗ рдЖрд╕рдкрд╛рд╕ рдмрдирддреА рд╣реИрдВред рд╡реЗ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рдЪрд░рдг (
4e ,
4f ,
4h рдФрд░
4i ) рдореЗрдВ рддреНрд░рд┐рдХреЛрдгреАрдп рдЖрдХреГрддрд┐рдпреЛрдВ рдореЗрдВ рдмрджрд▓ рдЧрдПред рдпреЗ рдЕрд╡рд▓реЛрдХрди рдкрд╣рд▓реЗ рд╡рд░реНрдгрд┐рдд рдореЙрдбрд▓ (
3e ) рдХреЗ рдЕрдиреБрд░реВрдк рд╣реИрдВред рдЗрд╕рд▓рд┐рдП, рдпрд╣ рдЕрдкрдиреЗ рдХреЗрдВрджреНрд░ рдХреЗ рдЪрд╛рд░реЛрдВ рдУрд░ nucleation рдХреЗ рддреБрд░рдВрдд рдмрд╛рдж рдЧрдард┐рдд рдЕрдЧреНрд░рджреВрдд рдХрд╛ рдПрдХ рдкреВрд▓ рдЗрдВрдЧрд┐рдд рдХрд░рддрд╛ рд╣реИред WS
2 рдореЗрдВ рдЕрдЧреНрд░рджреВрддреЛрдВ рдХреЗ рдкреВрд▓ рд╕реЗ рд╕рдорд╛рди рдкрд░рд┐рд╡рд░реНрддрди рдХрдИ рдиреНрдпреВрдХреНрд▓рд┐рдпреЗрд╢рди рд╕рд╛рдЗрдЯреЛрдВ (
4j ) рдореЗрдВ
рджреЗрдЦреЗ рдЧрдП , рдЬрд┐рд╕рдиреЗ рдбреНрд░реЙрдкреНрд╕ (
3e рдФрд░
4g -
4i ) рдХреЗ рдХрд╛рд░рдг рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рдХреА рдЧрддрд┐рд╢реАрд▓рддрд╛ рдХреА рд╡рд┐рд╢реНрд╡рд╕рдиреАрдпрддрд╛ рд╕реНрдерд╛рдкрд┐рдд рдХреАред
рдпрд╣ рдкрд╛рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдХрд┐ рд▓рдЧрднрдЧ 41% рдЕрдЧреНрд░рджреВрдд рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рдХреА рдЕрд╡рд╕реНрдерд╛ рдХреЗ рджреМрд░рд╛рди WS
2 рдореЗрдВ рдкрд░рд┐рд╡рд░реНрддрд┐рдд рд╣реЛ рдЬрд╛рддреЗ рд╣реИрдВред
рдореБрдЦреНрдп рддрдереНрдп рдпрд╣ рд╣реИ рдХрд┐ рдПрдХ рдмрд╛рд░ рдореЗрдВ рдкреАрдбреАрдПрдо рдХреЗ рдХрдИ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рддрдВрддреНрд░реЛрдВ рдХреА рдЙрдкрд╕реНрдерд┐рддрд┐ рдХреА рдкреБрд╖реНрдЯрд┐ рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ, рдЬреЛ рдХрд┐ рдкреВрд░реНрд╡рдЬреЛрдВ рдХреЗ рдкреВрд▓ рдХреЗ рдмрд┐рдирд╛ рднреА WS
2 рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рдХреЗ рдПрдХ рд╣рд┐рд╕реНрд╕реЗ рдХрд╛ рдЧрдарди рд╣реИред
рдЗрд╕рдХреЗ рдЕрд▓рд╛рд╡рд╛, рдЕрдзреНрдпрдпрди рдХрд┐рдП рдЧрдП рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рдореЙрдбрд▓ рдХреЗ рдЖрдзрд╛рд░ рдкрд░, рд╡реИрдЬреНрдЮрд╛рдирд┐рдХреЛрдВ рдиреЗ рдбреА
рдПрдпреВ , рдПрд▓
рдПрдпреВ рдФрд░ рдПрдХ рджрд╣рдирд╢реАрд▓ рдкреНрд░рдпреЛрдЧ рдореЗрдВ рд╡реГрджреНрдзрд┐ рддрд╛рдкрдорд╛рди рдХреЗ рд▓рд┐рдП рд╕рдЯреАрдХ рд╕рдорд╛рдпреЛрдЬрди рдХрд┐рдпрд╛ред рдЗрди рд╡реНрдпрд╡рд╕реНрдерд┐рдд рд╕рдорд╛рдпреЛрдЬрдиреЛрдВ рдиреЗ рдбрдмреНрд▓реНрдпреВрдПрд╕
2 рдПрдХрд▓ рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рдХреЗ рдПрдХреАрдХреГрдд рд╕рдВрд╢реНрд▓реЗрд╖рдг рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХ рдкрд░рд┐рд╕реНрдерд┐рддрд┐рдпреЛрдВ рдХрд╛ рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдХрд┐рдпрд╛, рдЬреЛ рдХрд┐ рдиреНрдпреВрдХреНрд▓рд┐рдпреЗрд╢рди рдХреА рд╕рдВрднрд╛рд╡рдирд╛ рдФрд░ рдПрдХрд▓ рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рдХреА рд╡реГрджреНрдзрд┐ рдХреЗ рдмреАрдЪ рд╕рдВрддреБрд▓рди рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рдирд┐рд░реНрдзрд╛рд░рд┐рдд рдХрд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛ред рд╕рдмрд╕реЗ рдЙрдкрдпреБрдХреНрдд рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рд╕реНрдерд┐рддрд┐рдпреЛрдВ рдХреЗ рддрд╣рдд, рдПрдХреАрдХреГрдд WS
2 рдХреЛ 1.5 рд╕реЗрдореА x 1.5 рд╕реЗрдореА рдХреЗ рдХреНрд╖реЗрддреНрд░ рдореЗрдВ рдЙрдЧрд╛рдпрд╛
рдЧрдпрд╛ рдерд╛ , рдЬрд┐рд╕рдиреЗ рдкреВрд░реЗ рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ (
5a ) рдХреЛ рдХрд╡рд░ рдХрд┐рдпрд╛ рдерд╛ред
рдЪрд┐рддреНрд░ рд╕рдВрдЦреНрдпрд╛ 5рдПрдХ рдСрдкреНрдЯрд┐рдХрд▓ рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрд╕реНрдХреЛрдк (
5 рдмреА ) рдФрд░ рд╕реНрдХреИрдирд┐рдВрдЧ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрди рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрд╕реНрдХреЛрдк (
5 рд╕реА ) рдХреЗ рд╕рд╛рде рдкреНрд░рд╛рдкреНрдд рдЫрд╡рд┐рдпреЛрдВ рд╕реЗ рдкрддрд╛ рдЪрд▓рд╛ рдХрд┐ рддреНрд░рд┐рдХреЛрдгреАрдп рдбрдмреНрд▓реНрдпреВрдПрд╕
2 рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рдПрдпреВ рдЕрдВрдХ рдкрд░> 87% рдХреЗ рдкрд░рд┐рдгрд╛рдо рдХреЗ рд╕рд╛рде рдмрдврд╝реЗ рд╣реИрдВред рдкрд░рдорд╛рдгреБ рдмрд▓ рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрд╕реНрдХреЛрдкреА рдиреЗ рджрд┐рдЦрд╛рдпрд╛ рдХрд┐ WS
2 рдХреА рдореЛрдЯрд╛рдИ рд▓рдЧрднрдЧ 0.8 рдПрдирдПрдо (
5d ) рдереАред рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯреЛрд▓рд┐рди WS
2 рдХреЛ рдлреЛрдЯреЛрд▓реНрдпреВрдорд┐рдиреЗрд╕реЗрдВрд╕ рдЗрдВрдЯреЗрдВрд╕рд┐рдЯреА рдореИрдк (
5e ) рдкрд░ рджрд┐рдЦрд╛рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рд╣реИ, 1.97 eV (
5f ) рдкрд░ рдПрдХ рддреЗрдЬ рдЙрддреНрд╕рд░реНрдЬрди рдЪреЛрдЯреА рдХреЗ рд╕рд╛рде рдЙрдЬреНрдЬреНрд╡рд▓ рдлреЛрдЯреЛрд▓реБрдорд┐рдиреЗрд╕рд┐рд╕рд┐рд╕ рджрд┐рдЦрд╛рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рд╣реИред
WS
2 рдХреЗ рд░рдорди рд╕реНрдкреЗрдХреНрдЯреНрд░рд╛ рдореЗрдВ рджреЛ рдЪреЛрдЯрд┐рдпреЛрдВ рдХреЛ 61 рд╕реЗрдореА 51 (
5g рдФрд░
5h ) рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рдЕрд▓рдЧ рдХрд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛ред рдЗрд╕рд╕реЗ рдкрддрд╛ рдЪрд▓рддрд╛ рд╣реИ рдХрд┐ рдЗрд╕ рд╡рд┐рдзрд┐ рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рдЙрдЧрд╛рдП рдЧрдП WS
2 рдПрдХ рдПрдХрд▓ рдПрдХрд▓-рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рд╕рдВрд░рдЪрдирд╛ рд╣реИред
рдкреАрдПрд▓ рддреАрд╡реНрд░рддрд╛ рдХрд╛ рдорд╛рдирдЪрд┐рддреНрд░рдг рдП рдФрд░ рдмреА (
5 рдП ) рдХреЗ рдмреАрдЪ рдПрдХ рдмрдбрд╝реЗ рдХреНрд╖реЗрддреНрд░ рдореЗрдВ рдХрд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛ред рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ (
5i ) рдХреА рдкреВрд░реА рдЪреМрдбрд╝рд╛рдИ (1.5 рд╕реЗрдореА) рдкрд░ рд╡рд░реНрджреА рдлреЛрдЯреЛрд▓реБрдорд┐рдиреЗрд╕реЗрдВрд╕ рдХрд╛ рдкрддрд╛ рдЪрд▓рд╛ рдерд╛ред
рдЗрди рд╕рднреА рдЯрд┐рдкреНрдкрдгрд┐рдпреЛрдВ рдиреЗ рдкреБрд╖реНрдЯрд┐ рдХреА рд╣реИ рдХрд┐> 35,000 рд╡реНрдпрдХреНрддрд┐рдЧрдд WS
2 рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рд╕рдЯреАрдХ рд╕реНрдерд┐рддрд┐ рдирд┐рдпрдВрддреНрд░рдг рдХреЗ рд╕рд╛рде рдЙрдЧрд╛рдП рдЬрд╛ рд╕рдХрддреЗ рд╣реИрдВред
рдЕрдзреНрдпрдпрди рдХреА рдмрд╛рд░реАрдХрд┐рдпреЛрдВ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдПрдХ рдЕрдзрд┐рдХ рд╡рд┐рд╕реНрддреГрдд рдкрд░рд┐рдЪрд┐рдд рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рдореИрдВ рд╕реБрдЭрд╛рд╡ рджреЗрддрд╛ рд╣реВрдВ рдХрд┐ рдЖрдк
рд╡реИрдЬреНрдЮрд╛рдирд┐рдХреЛрдВ рдХреА
рд░рд┐рдкреЛрд░реНрдЯ рдФрд░
рдЗрд╕рдХреЗ рд▓рд┐рдП
рдЕрддрд┐рд░рд┐рдХреНрдд рд╕рд╛рдордЧреНрд░рд┐рдпреЛрдВ рдкрд░ рдзреНрдпрд╛рди рджреЗрдВред
рдЙрдкрд╕рдВрд╣рд╛рд░
рдЗрд╕ рдХрд╛рдо рдореЗрдВ, рд╡реИрдЬреНрдЮрд╛рдирд┐рдХ рджреБрдирд┐рдпрд╛ рдХреЗ рдкрд╣рд▓реЗ рдкреНрд░рддреНрдпрдХреНрд╖ рд╡рд╛рд╕реНрддрд╡рд┐рдХ рд╕рдордп рдХреЗ рдкрд░рд┐рдгрд╛рдореЛрдВ рдХреЛ рдкреНрд░рджрд░реНрд╢рд┐рдд рдХрд░рдиреЗ рдореЗрдВ рд╕рдХреНрд╖рдо рдереЗ рдЬреЛ рдХрд┐ рдбрдмреНрд▓реНрдпреВрдПрд╕
реи рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рдХреЗ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рдХрд╛ рдерд╛ред рдЗрд╕рдиреЗ рдореЛрдиреЛрд▓рд░ рдФрд░ рд╕рд┐рдВрдЧрд▓ рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рдбрдмреНрд▓реВрдПрд╕
2 рдХреЗ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рдХреА рдЧрддрд┐рд╢реАрд▓рддрд╛ рдХреА рдмреЗрд╣рддрд░ рд╕рдордЭ рджреАред рдПрдпреВ рдЕрдВрдХ рдФрд░ рдкреНрд░рд╕рд╛рд░ рдмрд╛рдзрд╛рдУрдВ рдХреЗ рдХрд╛рд░рдг рдиреНрдпреВрдХреНрд▓рд┐рдПрд╢рди рдХреЛ рдирд┐рдпрдВрддреНрд░рд┐рдд рдХрд░рдХреЗ, рдкреНрд░рд╕рд╛рд░ рд▓рдВрдмрд╛рдИ рдПрд▓
рдбреА ~ 750 рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрди рдХрд╛ рдПрдХ рд░рд┐рдХреЙрд░реНрдб рдореВрд▓реНрдп рдкреНрд░рд╛рдкреНрдд рдХрд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛, рдЬреЛ рдХрд┐ рдкрд╛рд░рдВрдкрд░рд┐рдХ рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХ рд╕рд╛рдордЧреНрд░рд┐рдпреЛрдВ рдХреА рддреБрд▓рдирд╛ рдореЗрдВ рдкрд░рд┐рдорд╛рдг рдХреЗ рд▓рдЧрднрдЧ рджреЛ рдСрд░реНрдбрд░ рдЕрдзрд┐рдХ рд╣реИред
рдЕрдкрдиреЗ рд╕рднреА рд╕рд┐рджреНрдзрд╛рдВрддреЛрдВ, рдЧрдгрдирд╛рдУрдВ рдФрд░ рдЯрд┐рдкреНрдкрдгрд┐рдпреЛрдВ рдХреЛ рдПрдХ рд╕рд╛рде рд░рдЦрдХрд░, рд╡реИрдЬреНрдЮрд╛рдирд┐рдХ рдПрдХ рдЬреБрдЭрд╛рд░реВ рдкреНрд░рдпреЛрдЧ рдХреЛ рд▓рд╛рдЧреВ рдХрд░рдиреЗ рдореЗрдВ рд╕рдХреНрд╖рдо рдереЗ, рдЬрд┐рд╕рдХреЗ рдкрд░рд┐рдгрд╛рдорд╕реНрд╡рд░реВрдк рдХреЗрд╡рд▓ 1.5 рд╕реЗрдореА рдХреА рдЪреМрдбрд╝рд╛рдИ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдПрдХ рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯ рдкрд░ 35,000 рд╕реЗ рдЕрдзрд┐рдХ WS
2 рд╕рд┐рдВрдЧрд▓ рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓ рдХреА рд╕рдлрд▓ рд╡реГрджреНрдзрд┐ рд╣реБрдИред
рд╢реЛрдзрдХрд░реНрддрд╛ рдЦреБрдж рдорд╛рдирддреЗ рд╣реИрдВ рдХрд┐ рдЙрдирдХреЗ рдХрд╛рдо рдХреЗ рдкрд░рд┐рдгрд╛рдо рд╕рдВрдХреНрд░рдордгрдХрд╛рд░реА рдзрд╛рддреБ рдбрд╛рдЗрдХреНрд▓реЛрдХреЗрдиреЛрдЬрд╛рдЗрдб рдХреЗ рдЧрдарди рдХреЗ рдореВрд▓рднреВрдд рд╕рд┐рджреНрдзрд╛рдВрддреЛрдВ рдХрд╛ рдЕрдзреНрдпрдпрди рдХрд░рдиреЗ рд╕реЗ рд▓реЗрдХрд░ рд╡реНрдпрд╛рд╡рд╣рд╛рд░рд┐рдХ рдЕрдиреБрднрд╡реЛрдВ рдФрд░ рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдореЗрдВ рдкреНрд░рд╛рдкреНрдд рдЬреНрдЮрд╛рди рдХреЗ рдХрд╛рд░реНрдпрд╛рдиреНрд╡рдпрди рддрдХ рдХреЗ рд╕рдлрд▓ рд╕рдВрдХреНрд░рдордг рдХреЗ рдЖрдзрд╛рд░ рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ рдХрд╛рдо рдХрд░реЗрдВрдЧреЗред
рдРрд╕реЗ рдЕрд╕рд╛рдорд╛рдиреНрдп рдпреМрдЧрд┐рдХреЛрдВ рдХреА рдкреНрд░рдХреГрддрд┐, рдЧреБрдг рдФрд░ рд╡рд┐рд╢реЗрд╖рддрд╛рдУрдВ рдХреЛ рдкреВрд░реА рддрд░рд╣ рд╕реЗ рд╕рдордЭрдХрд░, рд╕рдВрдХреНрд░рдордг рдзрд╛рддреБ рдбрд╛рдЗрдХреНрд▓реЛрдЬреЗрдирд╛рдЗрдбреНрд╕ рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ, рдирдП рдкреНрд░рдХрд╛рд░ рдХреЗ рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХреЛрдВ рдХрд╛ рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рдПрдЧрд╛, рдЬрд┐рдирдореЗрдВ рд╕реЗ рдореЛрдЯрд╛рдИ рдХреЗрд╡рд▓ рдХреБрдЫ рдкрд░рдорд╛рдгреБ рд╣реЛрдЧреА, рдФрд░ рджрдХреНрд╖рддрд╛ рд╢рд╛рд╕реНрддреНрд░реАрдп рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХ рд╕реЗ рдиреАрдЪ рдирд╣реАрдВ рд╣реЛрдЧреАред рдЗрд╕ рддрд░рд╣ рдХреЗ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рд╕рднреА рдкреНрд░рдХрд╛рд░ рдХреЗ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЙрдирд┐рдХреНрд╕ рдореЗрдВ рдмреЗрд╣рдж рдЙрдкрдпреЛрдЧреА рд╣реЛрдВрдЧреЗ, рдЦрд╛рд╕рдХрд░ рд▓рдЪреАрд▓реЗ рд▓реЛрдЧреЛрдВ рдореЗрдВред
рдХреНрдпрд╛ рд╣рдо рд╕рднреА рд╕рдВрдХреНрд░рдордг рдзрд╛рддреБ рдбрд╛рдЗрдХреНрд▓реЛрдЬреЗрдирд╛рдЗрдбреНрд╕ рдХреЗ рдмрд╛рд░реЗ рдореЗрдВ рдЬрд╛рдирддреЗ рд╣реИрдВ? рдмреЗрд╢рдХ, рд╕рднреА рд╕реЗ рдмрд╣реБрдд рджреВрд░ред рд╣рд╛рд▓рд╛рдВрдХрд┐, рдЗрд╕ рддрд░рд╣ рдХреЗ рдЕрдиреБрд╕рдВрдзрд╛рди рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдзрдиреНрдпрд╡рд╛рдж, рд╣рдорд╛рд░реЗ рдЬреНрдЮрд╛рди рдХреА рд╕реАрдорд╛ рдХрд╛ рд╡рд┐рд╕реНрддрд╛рд░ рд╣реЛ рд░рд╣рд╛ рд╣реИ, рдЬреЛ рднрд╡рд┐рд╖реНрдп рдореЗрдВ рд╣рдореЗрдВ рди рдХреЗрд╡рд▓ рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХ, рдмрд▓реНрдХрд┐ рд╣рдорд╛рд░реЗ рдЖрд╕рдкрд╛рд╕ рдХреА рджреБрдирд┐рдпрд╛ рдХреА рд╣рдорд╛рд░реА рд╕рдордЭ рдХреЛ рдкреВрд░реА рддрд░рд╣ рд╕реЗ рдмрджрд▓рдиреЗ рдХреА рдЕрдиреБрдорддрд┐ рджреЗрдЧрд╛ред
рдЖрдкрдХрд╛ рдзреНрдпрд╛рди рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдзрдиреНрдпрд╡рд╛рдж, рдЬрд┐рдЬреНрдЮрд╛рд╕реБ рдмрдиреЗ рд░рд╣реЗрдВ рдФрд░ рдПрдХ рдЕрдЪреНрдЫрд╛ рдХрд╛рдо рдХрд░рдиреЗ рдХрд╛ рд╕рдкреНрддрд╛рд╣ рд╣реИ, рджреЛрд╕реНрддреЛрдВ! :)
рд╣рдорд╛рд░реЗ рд╕рд╛рде рдмрдиреЗ рд░рд╣рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдзрдиреНрдпрд╡рд╛рджред рдХреНрдпрд╛ рдЖрдк рд╣рдорд╛рд░реЗ рд▓реЗрдЦ рдкрд╕рдВрдж рдХрд░рддреЗ рд╣реИрдВ? рдЕрдзрд┐рдХ рджрд┐рд▓рдЪрд╕реНрдк рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рджреЗрдЦрдирд╛ рдЪрд╛рд╣рддреЗ рд╣реИрдВ? рдПрдХ рдЖрджреЗрд╢ рд░рдЦрдХрд░ рдпрд╛ рдЕрдкрдиреЗ рджреЛрд╕реНрддреЛрдВ рдХреЛ рдЗрд╕рдХреА рдЕрдиреБрд╢рдВрд╕рд╛ рдХрд░рдХреЗ рд╣рдореЗрдВ рд╕рдорд░реНрдерди рджреЗрдВ,
рдПрдВрдЯреНрд░реА-рд▓реЗрд╡рд▓ рд╕рд░реНрд╡рд░реЛрдВ рдХреЗ рдЕрдиреВрдареЗ рдПрдирд╛рд▓реЙрдЧ рдкрд░ рд╣реИрдмрд░ рдЙрдкрдпреЛрдЧрдХрд░реНрддрд╛рдУрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП 30% рдЫреВрдЯ рдЬреЛ рд╣рдордиреЗ рдЖрдкрдХреЗ рд▓рд┐рдП рдИрдЬрд╛рдж рдХреА рд╣реИ: VPS (KVM) E5-2650 v4 (6 рдХреЛрд░) 10GB DDR4 240GB SSD 1Gbps рд╕реЗ рдкреВрд░рд╛ рд╕рдЪ $ 20 рдпрд╛ рд╕рд░реНрд╡рд░ рдХреЛ рдХреИрд╕реЗ рд╡рд┐рднрд╛рдЬрд┐рдд рдХрд░реЗрдВ? (рд╡рд┐рдХрд▓реНрдк RAID1 рдФрд░ RAID10 рдХреЗ рд╕рд╛рде рдЙрдкрд▓рдмреНрдз рд╣реИрдВ, 24 рдХреЛрд░ рддрдХ рдФрд░ 40GB DDR4 рддрдХ)ред
рдбреЗрд▓ R730xd 2 рдмрд╛рд░ рд╕рд╕реНрддрд╛? рдХреЗрд╡рд▓ рд╣рдорд╛рд░реЗ рдкрд╛рд╕
2 x Intel TetraDeca-Core Xeon 2x E5-2697v3 2.6GHz 14C 64GB DDR4 4x960GB SSD 1Gbps 100 TV рдиреАрджрд░рд▓реИрдВрдб рдХреЗ 199 рдбреЙрд▓рд░ рдореЗрдВ рд╕реЗ рд╣реИ! рдбреЗрд▓ R420 - 2x E5-2430 2.2Ghz 6C 128GB DDR3 2x960GB SSD 1Gbps 100TB - $ 99 рд╕реЗ! рдЗрдиреНрдлреНрд░рд╛рд╕реНрдЯреНрд░рдХреНрдЪрд░ Bldg рдХреИрд╕реЗ рдмрдирд╛рдПрдБ рдХреЗ рдмрд╛рд░реЗ рдореЗрдВ рдкрдврд╝реЗрдВ
ред рдПрдХ рдкреИрд╕рд╛ рдХреЗ рд▓рд┐рдП 9,000 рдпреВрд░реЛ рдХреА рд▓рд╛рдЧрдд рдбреЗрд▓ R730xd E5-2650 v4 рд╕рд░реНрд╡рд░ рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░ рд╡рд░реНрдЧ?