рдпрджрд┐ рд╣рдо рдзреНрд╡рдирд┐рдХ рдкреНрд░рдгрд╛рд▓рд┐рдпреЛрдВ рдореЗрдВ рдкреНрд░рдЬрдирди рдХреА рдЙрдЪреНрдЪ рдирд┐рд╖реНрдард╛ рдХреЗ рдмрд╛рд░реЗ рдореЗрдВ рдмрд╛рдд рдХрд░ рд░рд╣реЗ рд╣реИрдВ, рддреЛ рд╣рдореЗрдВ рдпрд╣ рд╕реНрд╡реАрдХрд╛рд░ рдХрд░рдирд╛ рд╣реЛрдЧрд╛ рдХрд┐ рдХрдИ рддрдХрдиреАрдХреА рд╕рдорд╛рдзрд╛рди рдкреНрд░рдгрд╛рд▓реА рдХреА рджрдХреНрд╖рддрд╛ рдФрд░ рд░рд┐рдХреЙрд░реНрдб рдХреА рдЧрдИ рдзреНрд╡рдирд┐ рдХреЛ рд╕рдЯреАрдХ рд░реВрдк рд╕реЗ рдкреБрди: рдкреЗрд╢ рдХрд░рдиреЗ рдХреА рдХреНрд╖рдорддрд╛ рдХреЗ рдмреАрдЪ рдПрдХ рд╕рдордЭреМрддрд╛ рд╣реИред рдЗрд╕реА рд╕рдордп, рдРрд╕реЗ рдирд┐рд░реНрдорд╛рддрд╛ рд╣реИрдВ рдЬреЛ рди рдХреЗрд╡рд▓ рд╕реНрдкрд╖реНрдЯ рд░рдЪрдирд╛рддреНрдордХ рджреГрд╖реНрдЯрд┐рдХреЛрдг рдХреЗ рд╕рдлрд▓ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рд╕реЗ рд╕рдВрддреБрд╖реНрдЯ рд╣реИрдВ, рдмрд▓реНрдХрд┐ рдЙрдЪреНрдЪ рдирд┐рд╖реНрдард╛ рдХреА рдореМрдЬреВрджрд╛ рд╕реАрдорд╛рдУрдВ рдХреЛ рдкрд╛рд░ рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЕрдкрдиреЗ рд╕реНрд╡рдпрдВ рдХреЗ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рдХрд╛ рднреА рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░рддреЗ рд╣реИрдВред

рдмреНрд░рд┐рдЯрд┐рд╢ рдХрдВрдкрдиреА рдореЙрдирд┐рдЯрд░ рдСрдбрд┐рдпреЛ рдХреЛ рдРрд╕реЗ рдирд┐рд░реНрдорд╛рддрд╛рдУрдВ рдореЗрдВ рд╕реЗ рдПрдХ рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ рдЬрд╛рдирд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред рдЕрдВрдЧреНрд░реЗрдЬреЛрдВ рдХреЗ рдЦрд╛рддреЗ рдореЗрдВ рдПрдХ рд╕рд╛рде рдХрдИ рдкреНрд░реМрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХрд┐рдпрд╛рдВ рдЬреЛ рдзреНрд╡рдирд┐ рдкреНрд░рдЬрдирди рдХреА рдЧреБрдгрд╡рддреНрддрд╛ рдХреЛ рдореМрд▓рд┐рдХ рд░реВрдк рд╕реЗ рдмрдврд╝рд╛рдиреЗ рдХреА рдЕрдиреБрдорддрд┐ рджреЗрддреА рд╣реИрдВ, рдЬрдмрдХрд┐ рджрдХреНрд╖рддрд╛ рдХрд╛ рддреНрдпрд╛рдЧ рдирд╣реАрдВ рдХрд░рддреА рд╣реИрдВред рдореИрдВ рдореЙрдирд┐рдЯрд░ рдСрдбрд┐рдпреЛ рдмреЛрд▓рдиреЗ рд╡рд╛рд▓реЛрдВ рдХреЛ рджреБрдирд┐рдпрд╛ рдореЗрдВ рд╕рдмрд╕реЗ рдЕрдзрд┐рдХ рддрдХрдиреАрдХреА рд░реВрдк рд╕реЗ рдЙрдиреНрдирдд рдФрд░ рд╢рд╛рдпрдж, рдпреВрд░реЛрдкреАрдп рдирд┐рд░реНрдорд╛рддрд╛рдУрдВ рдХреЗ рд╕рдорд╛рди рдЙрдкрдХрд░рдгреЛрдВ рдореЗрдВ рд╕реЗ рд╕рдмрд╕реЗ рдирд╡реАрди рдорд╛рдирддрд╛ рд╣реВрдВред рдирд╡рд╛рдЪрд╛рд░ рдФрд░ рдкреНрд░реМрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХреА рдХрд╛ рдПрдХ рдкреНрд░рднрд╛рд╡рд╢рд╛рд▓реА рд╣рд┐рд╕реНрд╕рд╛ рд╡рд┐рд╕рд╛рд░рдХ рд╕рд╛рдордЧреНрд░рд┐рдпреЛрдВ рд╕реЗ рд╕рдВрдмрдВрдзрд┐рдд рд╣реИред рдмрд┐рд▓реНрд▓реА рдХреЗ рддрд╣рдд, рд╣рдо рдЗрди рддрдХрдиреАрдХреЛрдВ рдФрд░ рдЧреБрдгреЛрдВ рдХреЗ рдмрд╛рд░реЗ рдореЗрдВ рдмрд╛рдд рдХрд░ рд░рд╣реЗ рд╣реИрдВ рдЬреЛ рдЙрдирдХреЗ рдЖрд╡реЗрджрди рдХреЗ рдорд╛рдзреНрдпрдо рд╕реЗ рдкреНрд░рд╛рдкреНрдд рдХреА рдЬрд╛ рд╕рдХрддреА рд╣реИрдВред
рд╕реА-рд╕реАрдПрдПрдо - рдбрд┐рдлреНрдпреВрдЬрд╝рд░ рдХреЗ рд▓рд┐рдП cermets
рд╕реА-рд╕реАрдПрдПрдо 20 рд╡реАрдВ рд╕рджреА рдХреЗ 80 рдХреЗ рджрд╢рдХ рдореЗрдВ рдореЙрдирд┐рдЯрд░ рдСрдбрд┐рдпреЛ рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рд╡рд┐рдХрд╕рд┐рдд рдПрдХ рд╕рд┐рд░реЗрдорд┐рдХ-рдореЗрдЯрд▓ рдбрд┐рдлреНрдпреВрдЬрд╝рд░ рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рддрдХрдиреАрдХ рд╣реИ рдФрд░ рдЕрдЧрд▓реЗ 30 рд╡рд░реНрд╖реЛрдВ рдореЗрдВ рд╕реБрдзрд╛рд░ рд╣реБрдЖ рд╣реИред рдпрд╣ рдЖрдЬ рддрдХ рдХрдВрдкрдиреА рдХреЗ рдЙрддреНрдкрд╛рджреЛрдВ рдореЗрдВ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ рдФрд░ рдЗрд╕рдХрд╛ рдХреЛрдИ рд╕рдЯреАрдХ рдПрдирд╛рд▓реЙрдЧ рдирд╣реАрдВ рд╣реИред рдпрд╣ рд╕рдм рдЗрд╕ рддрдереНрдп рдХреЗ рд╕рд╛рде рд╢реБрд░реВ рд╣реБрдЖ рдерд╛ рдХрд┐ 1988 рдореЗрдВ рдбрд┐рдЬрд╛рдЗрдирд░реЛрдВ рдФрд░ рдкреНрд░реМрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХреАрд╡рд┐рджреЛрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдХрд╛рд░реНрдп рдПрдХ рдкреНрд░рддрд┐рдзреНрд╡рдирд┐ рдХреА рдЖрд╡реГрддреНрддрд┐ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдПрдХ рдЖрд░рдПрдл рдПрдорд┐рдЯрд░ рд╡рд┐рдХрд╕рд┐рдд рдХрд░рдирд╛ рдерд╛ рдЬреЛ рдЙрди рдЖрд╡реГрддреНрддрд┐рдпреЛрдВ рд╕реЗ рдкрд░реЗ рд╣реИ рдЬреЛ рдПрдХ рд╡реНрдпрдХреНрддрд┐ рд╕реБрдирдиреЗ рдореЗрдВ рд╕рдХреНрд╖рдо рд╣реИред
рдЗрд╕рдХреЗ рд▓рд┐рдП, рдХрдВрдкрдиреА рдХреЗ рдзрд╛рддреБ рдЯреНрд╡реАрдЯрд░ рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░рдиреЗ рдХрд╛ рдирд┐рд░реНрдгрдп рд▓рд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛, рдЬрд┐рд╕рдореЗрдВ рдПрдХ рдПрд▓реНрдпреВрдореАрдирд┐рдпрдо-рдореИрдЧреНрдиреАрд╢рд┐рдпрдо рдорд┐рд╢реНрд░ рдзрд╛рддреБ рд╢рд╛рдорд┐рд▓ рдереАред рдЙрдиреНрд╣реЛрдВрдиреЗ рдЙрдиреНрд╣реЗрдВ рд▓рдЧрднрдЧ 50 рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрди рдореЛрдЯреА рдПрдХ рд╕рд┐рд░реЗрдорд┐рдХ рдкрд░рдд рдХреЗ рд╕рд╛рде рдХрд╡рд░ рдХрд░рдиреЗ рдХрд╛ рдлреИрд╕рд▓рд╛ рдХрд┐рдпрд╛ред рдзрд╛рддреБ рд╡рд┐рд╕рд╛рд░рдХ рдЕрд╡рд╢рд┐рд╖реНрдЯ рд╡реЛрд▓реНрдЯреЗрдЬ рдХреЛ рд╣рдЯрд╛рдиреЗ рдХреА рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рд╕реЗ рдЧреБрдЬрд░рд╛, рдФрд░ рдлрд┐рд░ рдПрдиреЛрдбрд╛рдЗрдЬрд┐рдВрдЧ рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░рдХреЗ рдПрдХ рдмрд╛рд╣рд░реА рд╕рд┐рд░реЗрдорд┐рдХ рдкрд░рдд рдмрдирд╛рддрд╛ рд╣реИред

рдЗрд╕ рдкреНрд░рдХрд╛рд░, рд╡рд┐рд╕рд╛рд░рдХ рд╢реНрд░рд╡реНрдп рдЖрд╡реГрддреНрддрд┐ рд╕реНрдкреЗрдХреНрдЯреНрд░рдо рдореЗрдВ рд╡рд┐рд░реВрдкрдг, рдЭреБрдХрдиреЗ, рдФрд░ рдкреНрд░рддрд┐рдзреНрд╡рдирд┐ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдкреНрд░рддрд┐рд░реЛрдзреА рдерд╛ред рдкрд╣рд▓реЗ рдЕрдиреБрдирд╛рдж рдХреА рдЖрд╡реГрддреНрддрд┐ рдХреЛ 35 kHz рдХреЗ рдХреНрд╖реЗрддреНрд░ рдореЗрдВ рд▓реЗ рдЬрд╛рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛ред рдЗрд╕рдХреЗ рдЕрд▓рд╛рд╡рд╛, рд╡рд┐рдХреАрд░реНрдг рд╕рддрд╣ рдХреА рдХрдареЛрд░рддрд╛ рдиреЗ рдПрдХ рдЪрд┐рдХрдиреА рд╕рдВрдХреНрд░рдордг рд╡рд┐рд╢реЗрд╖рддрд╛ рд╕реБрдирд┐рд╢реНрдЪрд┐рдд рдХреА, рдЬреЛ рдХрд┐ рдЖрд╡реГрддреНрддрд┐рдпреЛрдВ рдХреЗ рд╕рдЯреАрдХ рд╕рдВрдЪрд░рдг рдореЗрдВ рд╕реНрд╡рдпрдВ рдкреНрд░рдХрдЯ рд╣реЛрддреА рд╣реИ, рдЕрд░реНрдерд╛рддред рдЙрдЪреНрдЪ рдЖрд╡реГрддреНрддрд┐ рд╕реНрдкреЗрдХреНрдЯреНрд░рдо рдХреА рдЖрд╡рд╛рдЬрд╝ рдореЗрдВ рдпрдерд╛рд░реНрдерд╡рд╛рдж рдХреА рднрд╛рд╡рдирд╛ред рдЯреНрд╡реАрдЯрд░ рдХреЗ рд╕реБрдирд╣рд░реЗ рд░рдВрдЧ рдФрд░ рдЧреЛрд▓реНрдб рдореЗрдЯрд▓ рдбреЛрдо (рдмрд╛рдж рдореЗрдВ - рдЧреЛрд▓реНрдб рдбреЛрдо рд╕реА-рд╕реАрдПрдПрдо) рдиреЗ рдЗрд╕ рдХрд┐рдВрд╡рджрдВрддреА рдХреЛ рдЬрдиреНрдо рджрд┐рдпрд╛ рдХрд┐ рд╕реЛрдиреЗ рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдореЗрдВ рдХрд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛, рд╡рд╛рд╕реНрддрд╡ рдореЗрдВ рдпрд╣ рд╕рд┐рд░реНрдл рдПрдХ рд╕рд╛рдорд╛рдиреНрдп рдорд┐рдердХ рд╣реИред
рдирдИ рддрдХрдиреАрдХ рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░рддреЗ рд╣реБрдП рдЯреНрд╡реАрдЯрд░ рдХреЗ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдореЗрдВ рдорд╣рд╛рд░рдд рд╣рд╛рд╕рд┐рд▓ рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рдмрд╛рдж, рдХрдВрдкрдиреА рдХреЗ рдЗрдВрдЬреАрдирд┐рдпрд░реЛрдВ рдиреЗ рдЗрд╕реЗ рдорд┐рдбреЗрдВрдЬ рдФрд░ рд╡реВрдлрд░ рдкрд░ рднреА рд▓рд╛рдЧреВ рдХрд░рдиреЗ рдХрд╛ рдлреИрд╕рд▓рд╛ рдХрд┐рдпрд╛ред рдкрд░рд┐рдгрд╛рдо рдкреНрд░рднрд╛рд╡рд╢рд╛рд▓реА рдерд╛ред рдкреНрд░рдпреЛрдЧрд╛рддреНрдордХ рд╡рд┐рд╕рд╛рд░рдХ рдЕрд╡рд░ рдирд╣реАрдВ рдереЗ, рд▓реЗрдХрд┐рди рдЕрдХреНрд╕рд░ рд╕реЗрд▓реНрдпреВрд▓реЛрдЬ, рдмрд╣реБрд▓рдХ рдФрд░ рдХрдкрдбрд╝рд╛ рдирдореВрдиреЛрдВ рд╕реЗ рдмреЗрд╣рддрд░ рд╣реЛрддреЗ рдереЗред рдорд╛рд░реНрдХреЗрдЯрд░реНрд╕ рдиреЗ рдПрдХ рдирдпрд╛ рдмреНрд░рд╛рдВрдб рд╡рд┐рдХрд╕рд┐рдд рдХрд┐рдпрд╛ рд╣реИ - рд╕реА-рд╕реАрдПрдПрдо, рд╡рд╣ рдирд╛рдо рдЬрд┐рд╕рдХреЗ рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рдЖрдЬ рдЗрди рд╡рдХреНрддрд╛рдУрдВ рдХреЛ рдЬрд╛рдирд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред
рдХрдареЛрд░ рд╕рддрд╣ рдкреНрд░реМрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХреА - рд╡рд┐рд╕рд╛рд░рдХ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдУрд░рд┐рдЧреЗрдореА
RST (Rigid Surface Technology) рдПрдХ рдЕрдкреЗрдХреНрд╖рд╛рдХреГрдд рдирдИ рддрдХрдиреАрдХ рд╣реИ, рдЬрд┐рд╕рдиреЗ рдЕрдкрдиреА рддрд╛рдХрдд рдХреЛ рдХрдо рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд╕рд╛рде-рд╕рд╛рде рдзрд╛рддреБ рдХреЗ рд╡рд┐рд╕рд╛рд░рдХ рдХреА рдореЛрдЯрд╛рдИ рдХреЛ рдХрдо рдХрд░рдиреЗ рдХреА рдЕрдиреБрдорддрд┐ рджреА рд╣реИ, рд╕рд╛рде рд╣реА рдХрдо рд╡рд┐рд░реВрдкрдг, рдПрдВрдЯреАрд░реЗрдиреНрд╕реЗрдВрд╕ рдЧреБрдг рдФрд░ рд╕реНрдерд╛рдпреА рддрд░рдВрдЧреЛрдВ рдХреЗ рдХрдо рдкреНрд░рд╕рд╛рд░ рдХреЛ рдмрдирд╛рдП рд░рдЦрддреЗ рд╣реБрдП рдзреНрд╡рдирд┐ рджрдмрд╛рд╡ рдХреЛ рдмрдврд╝рд╛рдпрд╛ рд╣реИред

рдЗрдВрдЬреАрдирд┐рдпрд░реЛрдВ рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд┐рдП рдЬрд╛рдиреЗ рд╡рд╛рд▓реЗ рд╕рд┐рджреНрдзрд╛рдВрдд рдХреЛ рдЬрд╛рдкрд╛рдиреА рдУрд░рд┐рдЧрд╛рдореА рдХрд▓рд╛ рд╕реЗ рдЙрдзрд╛рд░ рд▓рд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛ рдерд╛ред рдЫреЛрдЯреЗ рдЧреЛрд▓рд╛рд░реНрдз рдХреЗ рдбреЗрдВрдЯ рд╕реНрдкреАрдХрд░ рдХреЗ рдореЗрдЯрд▓ рдбрд┐рдлреНрдпреВрдЬрд╝рд░ рдкрд░ рд▓рдЧрд╛рдП рдЬрд╛рддреЗ рд╣реИрдВ, рдЬрд┐рд╕рдХрд╛ рд╡реНрдпрд╛рд╕ рдХреЗрдВрджреНрд░ рд╕реЗ рдкрд░рд┐рдзрд┐ рддрдХ рдмрдврд╝рддрд╛ рд╣реИред рдЗрд╕ рддрд░рд╣, рддрд╛рдХрдд рдкреНрд░рджрд╛рди рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЕрддрд┐рд░рд┐рдХреНрдд рдХрдареЛрд░ рдкрд╕рд▓рд┐рдпреЛрдВ рдХрд╛ рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ, рдФрд░, рддрджрдиреБрд╕рд╛рд░, рдирд┐рд╖реНрдард╛ рдореЗрдВ рдорд╣рддреНрд╡рдкреВрд░реНрдг рдиреБрдХрд╕рд╛рди рдХреЗ рдмрд┐рдирд╛, рд╡рд┐рд╕рд╛рд░рдХ рдХрд╛ рдЕрдзрд┐рдХрддрдо рдЖрдпрд╛рдо рдмрдврд╝ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ, рдЬрд┐рд╕рдХрд╛ рдЕрд░реНрде рд╣реИ рдЬреЛрд░ред
рд╕реНрдЯреАрд░рд┐рдпреЛ рдСрдбрд┐рдпреЛ рдХреЗ рдЕрдиреБрд╕рд╛рд░, рдореЙрдирд┐рдЯрд░ рдСрдбрд┐рдпреЛ рд╕рд┐рд▓реНрд╡рд░ рдЖрд░рдПрдХреНрд╕ 6 рдЯреЗрд╕реНрдЯ рдХреЗ рджреМрд░рд╛рди рдЗрд╕ рддрд░рд╣ рдХреЗ рд╕реНрдкреАрдХрд░реЛрдВ рдХрд╛ рдЙрдЪреНрдЪрддрдо рдЧреИрд░-рд░реЗрдЦреАрдп рд╡рд┐рд░реВрдкрдг рдЧреБрдгрд╛рдВрдХ, рдЕрдзрд┐рдХрддрдо рдорд╛рддреНрд░рд╛ рдореЗрдВ 2 kHz рдХреА рдЖрд╡реГрддреНрддрд┐ рдкрд░ рдЧреБрдВрдЬрдпрдорд╛рди рд╢рд┐рдЦрд░ рдкрд░ рдиреЛрдЯ рдХрд┐рдпрд╛ рдЧрдпрд╛, рдЬреЛ 4% рд╕реЗ рдЕрдзрд┐рдХ рдирд╣реАрдВ рдерд╛ред рдХреБрд▓ SOI рдХрд╛рдлреА рдХрдо рд╣реИ рдФрд░ рдкреНрд░рдЬрдирди рдпреЛрдЧреНрдп рдЖрд╡реГрддреНрддрд┐рдпреЛрдВ рдХреЗ рд▓рдЧрднрдЧ рдкреВрд░реЗ рд╕реНрдкреЗрдХреНрдЯреНрд░рдо рдореЗрдВ 0.4 - 0.5% рдХреА рд╕реАрдорд╛ рдореЗрдВ рд╣реИред
рдПрдордПрдордкреА (рдзрд╛рддреБ рдореИрдЯреНрд░рд┐рдХреНрд╕ рдкреЙрд▓рд┐рдорд░)
MMP 2003 рдореЗрдВ C-CAM рдХреЗ рд╡рд┐рдХрд▓реНрдк рдХреЗ рд░реВрдк рдореЗрдВ рдЬрд╛рд░реА рдХреА рдЧрдИ рддрдХрдиреАрдХ рд╣реИред рдпрд╣ рдЙрдЪреНрдЪ рджрдмрд╛рд╡ рдореЗрдВ рдзрд╛рддреБ рдХрдгреЛрдВ рдХреЗ рдЗрдВрдЬреЗрдХреНрд╢рди рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рдкреЙрд▓реАрдкреНрд░реЛрдкрд╛рдЗрд▓реАрди рдореЗрдВ рдзрд╛рддреБ-рдмрд╣реБрд▓рдХ рд╡рд┐рд╕рд╛рд░рдХ рдХрд╛ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рд╣реЛрддрд╛ рд╣реИред
рдХреБрдЫ рд╡рд┐рд╢реЗрд╖рдЬреНрдЮреЛрдВ рдХреЗ рдЕрдиреБрд╕рд╛рд░, рдХрдо рд▓рд╛рдЧрдд рдХреЗ рдмрд╛рд╡рдЬреВрдж, рдпрд╣ рдПрдВрдЯреЗрд╕реЛрдиреЗрдВрд╕ рдЧреБрдг рдФрд░ рдзреНрд╡рдирд┐ рджрдмрд╛рд╡ рдореЗрдВ рд╕реА-рд╕реАрдПрдПрдо рд╕реЗ рд▓рдЧрднрдЧ рд╣реАрди рдирд╣реАрдВ рд╣реИред рдХрдо рд▓рд╛рдЧрдд рд╡рд╛рд▓реЗ рдореЙрдирд┐рдЯрд░ рдСрдбрд┐рдпреЛ рд╕реНрдкреАрдХрд░ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рд╡рдХреНрддрд╛рдУрдВ рдореЗрдВ рд╕рдлрд▓рддрд╛рдкреВрд░реНрд╡рдХ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред
RDT: рдФрд░ рдлрд┐рд░ рд╕реЗ рдХрдВрдкреЛрдЬрд┐рдЯ
RDT (Rigid Diaphragm Technology) рдХрдИ рд╕рд╛рд▓ рдкрд╣рд▓реЗ рджрд┐рдЦрд╛рдИ рджрд┐рдпрд╛ рдерд╛ рдФрд░ рдЗрд╕рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдкреНрд░рдореБрдЦ рдкреНрд▓реИрдЯрд┐рдирдо рд╢реНрд░реГрдВрдЦрд▓рд╛ рдореЗрдВ рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред рдПрдХ рднрд╛рд░реА-рд╢реБрд▓реНрдХ, рдмрд╣реБрдд рдкрддрд▓реЗ рдФрд░ рдЕрднреА рддрдХ рд╡рд┐рд╕рд╛рд░рдХ рдмрдирд╛рдиреЗ рдХрд╛ рдПрдХ рд╕рдлрд▓ рдкреНрд░рдпрд╛рд╕ред

рдкреНрд░реМрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХреА рдХрд╛ рд╕рд╛рд░ рдпрд╣ рд╣реИ рдХрд┐, рдПрдиреЛрдбрд╛рдЗрдЬрд┐рдВрдЧ рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░рддреЗ рд╣реБрдП, рдирд┐рдореЗрдХреНрд╕ рдмрд╣реБрд▓рдХ рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдХреА рд╕реЗрд▓реБрд▓рд░ рд╕рдВрд░рдЪрдирд╛ рдореЗрдВ рдПрдХ рд╕реАрд░рдо рдкрд░рдд рдХреЛ рд▓рд╛рдЧреВ рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ, рдЬрд┐рд╕рдореЗрдВ рдордЬрдмреВрдд рдлрд╛рдЗрдмрд░ рд╣реЛрддреЗ рд╣реИрдВред рдЗрд╕ рдкреНрд░рдХрд╛рд░, рд╡рд┐рд╕рд╛рд░рдХ рдХреА рдореЛрдЯрд╛рдИ рдХреЛ 40 рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрди (рд╕реА-рд╕реАрдПрдПрдо рдореЗрдВ 200) рдХрдо рдХрд░рдирд╛, рд╡рдЬрди рдХрдо рдХрд░рдирд╛ рдФрд░ рдПрдХ рд╣реА рд╕рдордп рдореЗрдВ 150 рдЧреБрдирд╛ рддрд╛рдХрдд рдмрдврд╝рд╛рдирд╛ рд╕рдВрднрд╡ рд╣реИред рдкреНрд░реМрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХреА рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдПрдЪрдПрдл рдФрд░ рдПрдордПрдл рджреЛрдиреЛрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИ, рдПрд▓рдПрдл рдЙрддреНрд╕рд░реНрдЬрди рдХрд░рддрд╛ рд╣реИ рдФрд░ рдиреНрдпреВрдирддрдо рд╡рд┐рд░реВрдкрдг рдФрд░ рдПрдХ рдЕрдЧреЛрдЪрд░ рдкреНрд░рддрд┐рдзреНрд╡рдирд┐рдд рдХрд╛рд░рдХ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдкрд┐рд╕реНрдЯрди рдореЛрдб рдореЗрдВ рдЙрдЪреНрдЪ рдорд╛рддреНрд░рд╛, рд╕реНрдкреАрдХрд░ рдСрдкрд░реЗрд╢рди рдХреА рдЧрд╛рд░рдВрдЯреА рджреЗрддрд╛ рд╣реИред
рдкрд░рд┐рдгрд╛рдо
рдбрд┐рдлреНрдпреВрдЬрд╝рд░ рд╕реЗ рдЬреБрдбрд╝реА рд╡рд░реНрдгрд┐рдд рддрдХрдиреАрдХреА рддрдХрдиреАрдХреЛрдВ рдХреЗ рдЕрд▓рд╛рд╡рд╛, рдореЙрдирд┐рдЯрд░ рдСрдбрд┐рдпреЛ рдкрд┐рдЧреА рдмреИрдВрдХ рдХреЗ рдкрд╛рд╕ рдЕрдкрдиреЗ рд╕рдордп рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдмрд╣реБрдд рд╕рд╛рд░реЗ рдЙрдиреНрдирдд рд╕рдорд╛рдзрд╛рди рд╣реИрдВ, рдЬреИрд╕реЗ рдХрд┐ рдЕрд╢рд╛рдВрдд рдШрдЯрдирд╛ рдФрд░ рд╕рдордп рдХреА рджреЗрд░реА рдХреЛ рд░реЛрдХрдиреЗ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЪрд░рдг рдЗрдиреНрд╡рд░реНрдЯрд░ рдкрд╛рдЗрдк рдХрд╛ рдПрдХ рд╡рд┐рд╢реЗрд╖ рдбрд┐рдЬрд╝рд╛рдЗрди рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХрд░рдирд╛, рдФрд░ рдмрд╣реБрдд рдХреБрдЫред рдореБрдЭреЗ рдЙрдореНрдореАрдж рд╣реИ рдХрд┐ рдХрдВрдкрдиреА рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ рдХреА рдЬрд╛рдиреЗ рд╡рд╛рд▓реА рдкреНрд░реМрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХрд┐рдпреЛрдВ рдХрд╛ рд╡рд┐рд╡рд░рдг рдкрд░реНрдпрд╛рдкреНрдд рд░реВрдк рд╕реЗ рд╕реНрдкрд╖реНрдЯ рд╣реИ рдФрд░ рдЙрди рд▓реЛрдЧреЛрдВ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЙрдкрдпреЛрдЧреА рд╣реЛрдЧрд╛ рдЬреЛ рдореЙрдирд┐рдЯрд░ рдСрдбрд┐рдпреЛ рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдЪреБрдирддреЗ рдереЗред рдореИрдВ рдореВрд▓реНрдпрд╛рдВрдХрди рдореЗрдВ рд╡реНрдпрдХреНрддрд┐рдкрд░рдХ рд╣реЛрдЧрд╛, рдореЗрд░реА рд░рд╛рдп рдореЗрдВ, рдореЙрдирд┐рдЯрд░ рдСрдбрд┐рдпреЛ рд╕рд┐рд▓реНрд╡рд░ рд╢реНрд░реГрдВрдЦрд▓рд╛ рдореВрд▓реНрдп-рдЧреБрдгрд╡рддреНрддрд╛ рдЕрдиреБрдкрд╛рдд рдХреЗ рдорд╛рдорд▓реЗ рдореЗрдВ рдмрд╛рдЬрд╛рд░ рдХреА рд╕рдмрд╕реЗ рдЕрдЪреНрдЫреА рд╢реНрд░реЗрдгрд┐рдпреЛрдВ рдореЗрдВ рд╕реЗ рдПрдХ рд╣реИ рдФрд░ рдкреНрд▓реЗрдмреИрдХ рдХреА рдЙрдЪреНрдЪ рдирд┐рд╖реНрдард╛ рд╕реБрдирд┐рд╢реНрдЪрд┐рдд рдХрд░рдиреЗ рдХреЗ рдорд╛рдорд▓реЗ рдореЗрдВ рд╕рдмрд╕реЗ рдЙрдЪреНрдЪ рддрдХрдиреАрдХ рдореЗрдВ рд╕реЗ рдПрдХ рд╣реИред
рдкрд╛рд░рдВрдкрд░рд┐рдХ рд╡рд┐рдЬреНрдЮрд╛рдкрди рдЗрдХрд╛рдИ
рд╣рдорд╛рд░реА рд╕реВрдЪреА рдореЗрдВ рдореЙрдирд┐рдЯрд░ рдСрдбрд┐рдпреЛ рд╕рд╣рд┐рдд рдХрдИ рдЙрдЪреНрдЪ рдирд┐рд╖реНрдард╛ рд╕реНрдкреАрдХрд░ рд╕рд┐рд╕реНрдЯрдо рд╣реИрдВред рд╣рдордиреЗ рдПрдХ рд╡рд┐рд╢реЗрд╖ рдкреЗрдЬ рднреА рдмрдирд╛рдпрд╛ рд╣реИ, рдЬрд┐рд╕ рдкрд░ рдЖрдк рдХрдВрдкрдиреА рдХреЗ рд╡рд┐рд╕реНрддрд╛рд░ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдЦреБрдж рдХреЛ рдкрд░рд┐рдЪрд┐рдд рдХрд░ рд╕рдХрддреЗ рд╣реИрдВред