Pemasangan metalisasi vakum VTT 1000 "U"

Halo, hari ini saya ingin memberi tahu Anda tentang metalisasi vakum dalam kaitannya dengan salah satu pabrik yang ada.
Dalam foto tersebut Anda dapat melihat proses operasi evaporator katoda-busur, yang menyimpan film mikron kromium pada suatu produk dalam beberapa menit.
Mereka yang ingin mengetahui cara kerjanya dan mengapa saya meminta kucing. (Banyak foto)




Mari kita mulai dengan yang paling jelas - foto instalasi di luar dan deskripsi umum elemen, bagi mereka yang berharap akan ada detail di bawah spoiler.



Blok di sebelah kanan adalah kontrol elemen daya individu: magnetron (tidak seperti dalam microwave ), evaporator katoda-busur , unit pembersih ion, unit catu daya meja dengan produk.

Rak kiri berisi PC dengan diagram mnemonik tentang apa yang terjadi dan kemampuan untuk mengontrol proses, manajemen daya, kotak sekering, duplikasi aliran kebocoran gas doping, dan tombol darurat.
Kemampuan kontrol diagram mimik sangat besar - penyertaan setiap elemen individu (evaporator, kebocoran, rotasi tabel, dll.), Pengaturan parameternya (arus, tegangan, aliran gas), dimasukkannya pendinginan dan rotasi meja.
Ini juga memungkinkan Anda untuk mengatur urutan tindakan dan membuat proses teknis untuk tugas-tugas yang diperlukan, yang cukup nyaman dalam pemeliharaan operator.
Satu-satunya ketidaknyamanan disebabkan oleh keyboard, yang pada prinsipnya tidak digunakan oleh operator, di mana panah kanan macet (bergulir melalui menu konteks) dan, ketika memilih mode operasi, mengatur Neraka dan Israel dalam bentuk tindakan spontan, menyebabkan prajurit menjadi sedikit abu-abu.



Bodi kameranya sendiri cukup besar, jadi saya tidak masuk ke dalam bingkai sepenuhnya.

Jika Anda melepas pintu rumah dari ruang vakum

() ().

Beberapa saat kemudian kita akan membukanya dan melihat apa yang ada di dalamnya, dan juga melihat bagaimana proses penyemprotan berlangsung secara langsung.

Sekarang kita akan melewati instalasi untuk memeriksa grup pompa dan memasang katoda penguapan.

Yang pertama menemukan katoda, ada tiga dari mereka berturut-turut di setiap sisi. Ini memungkinkan Anda untuk menempatkan enam bahan berbeda.
Mereka terdiri dari sistem magnetik (di bawah silinder abu-abu - 2 kumparan induktif untuk pemfokusan dan stabilisasi pelepasan), kabel daya (terpasang pada mesin las dan bodi), kabel pengapian (seperti pada pengelasan - disentuh, dinyalakan busur dan kemudian terbakar sendiri) dan selang pendingin.
Di pintu Anda melihat silinder tetap kecil - ini bocormemungkinkan dosis gas paduan yang sangat akurat, karena penting bagi proses untuk menjaga tekanan dalam kisaran tertentu.

Versi Soviet hanya berbeda dalam kemampuan untuk mengamati

Lebih lanjut tentang katoda

( )







, . .

Tepat di bawah mereka adalah unit distribusi pendingin, itu tidak terlalu terlihat, tetapi sepenuhnya otomatis, yang menghangatkan jiwa, karena jika Anda lupa menyalakan pendingin, kecelakaan akan terjadi.



Kami melangkah lebih jauh dan melihat inti dari instalasi - grup pemompaan. Ini terdiri dari tiga pompa yang berbeda, dirancang untuk beroperasi dalam rentang tekanan yang berbeda, yang dapat dikombinasikan secara seri untuk saling mendukung.

Pompa forvacuum ( baling-baling putar ) - menciptakan kekosongan pendahuluan, memungkinkan Anda untuk menghidupkan pompa berikutnya.



Roots pump - menciptakan kekosongan yang sudah terlihat dan memungkinkan Anda untuk melestarikan kamera secara berkala.
Ke kanan pergi ke pintu masuk pompa forevacuum, dan ke kiri pergi ke pintu keluar pompa vakum tinggi.



Nah, bintang acara kami - pompa difusi ( lebih lanjut tentang aplikasinya ), memungkinkan Anda menciptakan kondisi untuk pengoperasian magnetron dan katoda dalam kondisi saluran masuk gas dopan.
Di bagian atas Anda melihat aktuator pneumatik dari rana vakum, yang memungkinkan Anda untuk memotong pompa saat memuat ruang.
Sedikit lebih rendah Anda melihat persegi panjang, yang merupakan perangkap untuk uap minyak mendidih dalam pompa. Refrigeran memasuki jebakan, mendinginkannya dan uap minyak mengembun di atasnya tanpa meninggalkan ruang (meninggalkan tentu saja, tetapi dalam jumlah yang dapat diabaikan).




Pemeriksaan eksternal selesai, sekarang saatnya untuk melihat ke dalam.
Dengan tangan gemetar ketakutan, kami membuka pintu ruang hampa udara dan hal pertama yang menarik perhatian Anda adalah meja tempat detail yang perlu ditutup diperbaiki.
Dia dilengkapiplanetary gear sehingga bagian-bagiannya berputar di sekitar sumbu meja dan di sekitar sumbunya, untuk pelapisan yang lebih merata (warna biru muncul setelah penyemprotan).



Sedikit lebih tinggi kita melihat katoda di sisi depan. Tabung di sekitar adalah elemen pemanas yang memungkinkan Anda menghangatkan dinding ruang dalam ruang hampa untuk menghilangkan uap air.
Peredam yang sedikit ke kanan terlihat (tetapi buruk) melindungi pompa dari produk yang disemprot

Foto katoda

, .

Pembersihan ion terlihat sedikit ke kiri - melepaskan "pita" partikel bermuatan melalui celah celah yang jatuh pada produk dan sedikit menyemprotkan permukaannya untuk menghilangkan kotoran dan adhesi yang lebih baik dari bahan yang disemprotkan.



Mari kita lihat ke kiri, di pintu. Magnetron (titanium di sini) tersembunyi di dalamnya.



Untuk melindungi bahan magnetron dari produk sputtering katoda, mereka dapat disembunyikan di balik daun jendela yang dikendalikan dari PC.

Lebih lanjut tentang magnetron

, — .

Nah, di akhir proses videonya.

Dan hanya video indah karya tanpa penjelasan

Suplemen atas permintaan pekerja

Apa yang kita sendiri buat

( ), , .

- .

.



, .

Apa yang orang lain lakukan

.

. .

Keuntungan dari metode ini adalah keseragaman pelapisan, ketebalan pelapisan hingga nanometer, kemungkinan pelapisan dengan dielektrik, kemungkinan kombinasi bahan yang sengit dan banyak pilihan untuk desain evaporator.

Anda dapat melakukan pemesanan melalui kenalan, baik, atau dengan menemukan karyawan instalasi ini.
Memproses satu batang dengan foto di atas menambahkan 1000r pada biayanya, saya tidak memiliki biaya pekerjaan untuk perorangan.

Source: https://habr.com/ru/post/id385529/