Ведущие производители чипов присматриваются к фотолитографии в глубоком ультрафиолете


EUV- ASML NXE:3300B SUNY

, Fab 8, . -«», GlobalFoundries $12 , . -. , , . , , , , . , , . : , .



60 «». , , , , .

. « !» , Fab 8, [Tom Caulfield], « ».

, , 45 . , , , , . 1970- .

GlobalFoundries . , .

, . . (EUV) – , , , EUV , .

: . 13,5 , 10 , , , , , .


EUVL-. .

EUV-, , 24 , 365 , . EUV , .

. , ASML Holding, . ASML EUV-, 2018 . .

. , , , $330 ., 5-10 , , . . , , 15% , , , .

. – . , , .


– 193 , – EUV-. 24 .

1980- , 365 248 . , . [Hiroo Kinoshita], 1986 NTT, 11 . , AT&T Bell Laboratories . 1989 . .

ASML EUVL 1990-. [Anton van Dijsseldonk], , - ASML, , . « »,- , . – . « ,- ,- EUV []».

ASML , – . 10 , , .

, , . 13,5 . « », , . , , .

. EUV , . – . — , .




. .

EUV- 40 , . Zeiss . , , « , 70% ». , . , , . 2%.

, . = . . . .

, , . , , . , . EUV, – .

, , , 250 . 125 . , , 193 .

, . 2011 , ASML, , Cymer, , 11 . « , »,- [Hans Meiling], ASML . ASML Cymer €3,1 . 2013 .

EUV Cymer , . 50 000 , , , . , EUV. . , .

« , , - »,- [Alberto Pirati], EUV 2013 . . , Cymer . , , , . EUV 1% 5%. 200 . , Gigaphoton, . 250 . ASML.

, EUV- . EUV , .

, EUV – . . ASML €100 ., 193 . , 747-. 1,5 , , 193 .


. , .

. 193 . . — , . — , . , , , – . , , . , . .

GlobalFoundries 14 , Fab 8. , , , . 7 – [George Gomba], .

GlobalFoundries 7 2018 EUV, , . – EUV . , , EUV- , EUV.




GlobalFoundries IBM EUV. 2012 Intel, Samsung Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. (TSMC) €1,38 . , ASML ( €3,85 ). , 4000 , , , .

, EUV , , , . [Anthony Yen], EUV- TSMC, EUV : « 100%. , ». TSMC EUV 2020 , 5 .

. – , , . .

, 193 , [pelicula (.) — ], . , , , . , .

13,5 . ASML , . « ,- ,- . ». , .

ASML , EUV-. , . EUV , , – .

, . , , . – , , .

, . EUV, [Andrew Grenville], EUV-, Inpria. , , . « », . Inpria , EUV .

, ? [Chris Mack] , 2018 . . EUV , , .

, EUV, Lotus Elise, , . . , , . EUV, : « , EUV ».

, . EUV , , , . , , , – , . , : «, , ».

, , , . , . .

Source: https://habr.com/ru/post/id398967/


All Articles