Halo pikiran gelisah. Hari ini kita akan berbicara tentang pemasangan magnetron sputtering, dirancang sepenuhnya dan dibuat sendiri.
Untuk mulai dengan, saya akan mencoba secara singkat untuk menjawab mengapa instalasi seperti itu diperlukan dan apa penyemprotan ion-plasma.
Target adalah bahan yang disemprotkan.
Substrat adalah tempat penyemprotan.
Pemasangan jenis ini memungkinkan untuk membentuk lapisan paling tipis dari bahan konduktif (terutama logam) pada media. Sebagai substrat dapat digunakan baik bahan konduktif maupun dielektrik. Dan agar nanolayer terbentuk, misalnya, dari logam apa pun pada substrat, pertama-tama perlu untuk menyerang logam dengan benar dengan ion pembentuk plasma, karena ini, plasma penyalaan pelepasan cahaya pada tekanan rendah dan magnetron digunakan sebagai perangkap untuk elektron.
Mari kita lihat skema magnetron yang paling sederhana dan pekerjaannya, dan Anda akan mengerti mengapa ini adalah jebakan (Saya akan mencoba tanpa pengetahuan ilmiah khusus, tetapi saya pikir banyak yang akan menentangnya, karena beberapa poin tidak dapat dijelaskan tanpa ini, tetapi saya akan coba).
Cahaya debit klasik menyala pada arus konstan, dan arus mengalir dari anoda ke katoda. Katoda adalah target datar, di mana ada magnet cincin. Elektron yang terbang dari katoda, mengionisasi gas dalam volume, ion yang jatuh ke dalam target, atom terlempar keluar dari itu yang lagi bertabrakan dengan elektron, sehingga bagian mereka terionisasi ... Secara umum, longsoran elektron terbentuk, yang dipelintir oleh medan magnet dan mencegah mereka terbang menjauh setelah tabrakan, dengan demikian, magnet menahan elektron dan dengan demikian meningkatkan pembentukan atom yang diendapkan pada substrat, sehingga membentuk film.
Dan sekarang dari teori ke praktek. Karena saya terlibat dalam berbagai teknologi kimia plasma pada tekanan atmosfer, setelah beberapa waktu minat dalam pengurangan tekanan juga muncul. Saya sudah memiliki sumber daya debit cahaya, saya membuatnya sejak lama. Dan setelah membeli pompa vakum, percobaan dimulai yang mengungkapkan beberapa kesulitan ketika bekerja dengan tekanan yang berkurang.
Merangkum hasil dari bagian artikel ini, kita dapat mengatakan bahwa pekerjaan itu bergerak, pengalaman yang cukup dan pengetahuan tambahan diperoleh. Saat ini, kasing besi sudah siap, akan dicat, setelah itu perakitan akan dimulai.
Saya tidak sengaja mengembang artikel karena banyak pertanyaan tercakup dalam iklan, dan jika tidak, dalam komentar saya akan mencoba menjawab semuanya.