ASML, sebuah perusahaan Belanda, pemasok terbesar sistem fotolitografi untuk industri semikonduktor, mengambil alih perusahaan lain Belanda Mapper Lithography.
Mapper Lithography, yang didirikan pada tahun 2000, mencoba membawa teknologi litografi lain ke pasar: beberapa alat penulisan langsung e-beam dengan lebih dari 13.000 e-beams yang beroperasi secara paralel. Namun, setelah hampir 20 tahun mereka tidak berhasil mengirimkan alat tingkat produksi ke pasar. Investor menarik steker pada tahun 2018 dan pada 28 Desember 2018 Mapper Lithography dinyatakan bangkrut.
Ada beberapa perusahaan, yang tertarik untuk mengambil alih Mapper Lithography yang bangkrut, beberapa dari mereka bermaksud untuk terus mengembangkan teknologi multi-beam patterning, yang lain tertarik untuk menggunakan teknologi Mapper Lithography untuk tujuan yang berbeda (seperti inspeksi e-beam). ASML, kemungkinan besar tertarik pada yang terakhir, memenangkan penawaran dan mengambil alih Mapper Lithography pada Januari 2019.
Perlu dicatat bahwa Mapper Lithography memiliki Mapper LLC, fab
MEMS di Moskow, Rusia, yang dijual ke Rusnano pada paruh kedua tahun 2018. Mapper LLC melanjutkan operasinya sebagai pengecoran MEMS independen.