Instalação de metalização a vácuo VTT 1000 "U"

Olá, hoje eu gostaria de falar sobre a metalização a vácuo em relação a uma das plantas existentes.
Na foto, você pode ver o processo de operação de um evaporador de arco catódico, que deposita um filme de mícron de cromo em um produto em alguns minutos.
Aqueles que desejam descobrir como funciona e por que peço um gato. (Muitas fotos)




Vamos começar com o mais óbvio - uma foto da instalação externa e uma descrição geral dos elementos, para quem deseja que haja detalhes no spoiler.



Os blocos à direita são o controle de elementos de potência individuais: magnétrons (não como no microondas ), evaporadores de arco catódico , unidade de limpeza de íons, unidade de alimentação de mesa com produtos.

O rack esquerdo contém um PC com um diagrama mnemônico do que está acontecendo e a capacidade de controlar o processo, gerenciamento de energia, caixa de fusíveis, duplicação do fluxo de vazamentos de gás dopante e um botão de emergência.
As possibilidades de controlar o diagrama mnemônico são muito grandes - a inclusão de cada elemento individual (evaporadores, vazamentos, rotação da mesa etc.), a configuração de seus parâmetros (corrente, tensão, fluxo de gás), a inclusão do resfriamento e a rotação da mesa.
Também permite definir uma sequência de ações e criar um processo técnico para as tarefas necessárias, o que é bastante conveniente na manutenção do operador.
O único inconveniente foi causado pelo teclado, que não era usado pelo operador em princípio, onde a seta direita travava (rolando pelo menu de contexto) e, ao escolher os modos de operação, organizava o Inferno e Israel na forma de ações espontâneas, fazendo com que os militares ficassem cinza um pouco.



O corpo da câmera é grande o suficiente, então eu não me encaixei completamente no quadro.

Se você remover o compartimento da porta da câmara de vácuo

() ().

Um pouco mais tarde, abriremos e veremos o que está dentro, além de ver como o processo de pulverização ocorre diretamente.

Agora ignoraremos a instalação para inspecionar o grupo de bombas e anexar os cátodos evaporativos.

Os primeiros a encontrar os cátodos, são três seguidos de cada lado. Isso permite que você coloque seis materiais diferentes.
Eles consistem em um sistema magnético (embaixo do cilindro cinza - 2 bobinas indutivas para foco e estabilização da descarga), cabos de energia (conectados à máquina de solda e ao corpo), cabos de ignição (como na soldagem - tocados, inflamaram o arco e depois se queimaram) e mangueiras de refrigeração.
Na porta, você vê pequenos cilindros fixos - são vazamentospermitindo uma dosagem muito precisa do gás contaminante, pois é importante que o processo mantenha a pressão em um determinado intervalo.

A versão soviética difere apenas na capacidade de observar

Mais sobre cátodos

( )







, . .

Imediatamente abaixo deles está a unidade de distribuição de resfriamento, que não é muito perceptível, mas é completamente automatizada, o que aquece a alma, porque se você esquecer de ligar o resfriamento, ocorrerá um acidente.



Vamos mais longe e vemos o coração da instalação - o grupo de bombeamento. Consiste em três bombas diferentes, projetadas para operar em uma faixa de pressão diferente, que pode ser combinada em série para se apoiar.

Bomba de vácuo ( palheta rotativa ) - cria um vácuo preliminar, que permite ligar a bomba seguinte.



Bomba de raízes - cria um vácuo já visível e permite preservar a câmera em intervalos.
À direita, vá para a entrada da bomba de pré-vácuo e, à esquerda, para a saída da bomba de alto vácuo.



Bem, a estrela do nosso show - uma bomba de difusão ( mais sobre a aplicação ), permite criar condições para a operação de magnetrons e cátodos sob condições de entrada de gás contaminante.
Na parte superior, você vê o atuador pneumático do obturador a vácuo, que permite desligar a bomba enquanto carrega a câmara.
Um pouco mais baixo, você vê um retângulo, que é uma armadilha para o vapor de óleo fervendo na bomba. Um refrigerante entra na armadilha, resfriando-a e o vapor de óleo se condensa nela sem sair da câmara (saindo, é claro, mas em uma quantidade desprezível).




O exame externo é concluído, é hora de olhar para dentro.
Com as mãos trêmulas horrorizadas, abrimos a porta da câmara de vácuo e a primeira coisa que chama sua atenção é uma mesa na qual os detalhes que precisam ser cobertos são fixos.
Ele está equipadoengrenagem planetária, de modo que as peças giram em torno do eixo da mesa e do eixo, para um revestimento mais uniforme (o azul apareceu após a pulverização).



Um pouco mais alto, vemos os cátodos na frente. Os tubos ao redor são um elemento de aquecimento que permite aquecer a parede da câmara no vácuo para remover o vapor de água.
Um amortecedor ligeiramente à direita é visível (mas mal), protegendo as bombas contra produtos de pulverização

Catodos fotográficos

, .

A limpeza de íons é visível um pouco à esquerda - libera uma “fita” de partículas carregadas através de uma lacuna que cai sobre os produtos e pulveriza um pouco sua superfície para remover impurezas e melhor adesão do material pulverizado.



Vamos olhar para a esquerda, na porta. Magnetrons (titânio aqui) estão escondidos nele.



Para proteger o material dos magnétrons dos produtos crepitantes dos catodos, eles podem ser escondidos atrás das persianas controladas por um PC.

Mais sobre magnetron

, — .

Bem, no final do processo de vídeo.

E apenas um lindo vídeo de trabalho sem explicação

Suplementos a pedido dos trabalhadores

O que nós mesmos fizemos

( ), , .

- .

.



, .

O que os outros fazem

.

. .

A vantagem deste método é a uniformidade do revestimento, a espessura do revestimento até nanômetros, a possibilidade de revestimento com dielétricos, a possibilidade de combinações ferozes de materiais e várias opções para o projeto de evaporadores.

Você pode fazer um pedido por conhecido, bem, ou encontrando um funcionário desta instalação.
Ao processar uma haste com a foto acima, acrescentou 1000r ao seu custo, não possuo o custo do trabalho para indivíduos.

Source: https://habr.com/ru/post/pt385529/