Instalação de sputtering íon-plasma (magnetron). Parte 1

Olá mentes inquietas. Hoje, falaremos sobre a instalação de pulverização por magnetron, totalmente projetada e fabricada por você.



Para começar, tentarei brevemente responder por que essas instalações são necessárias e o que é a pulverização com íon-plasma.

Um alvo é o material que é pulverizado.
O substrato é o que é a pulverização.

Instalações deste tipo permitem formar as mais finas camadas de materiais condutores (principalmente metais) sobre substratos. Como os substratos podem ser utilizados materiais condutores e dielétricos. E para que uma nanocamada forme, por exemplo, qualquer metal no substrato, primeiro é necessário atacar adequadamente o metal com íons formadores de plasma; para isso, o plasma de ignição de uma descarga de brilho a pressão reduzida e magnetron é usado como uma armadilha para elétrons.



Vamos olhar para o esquema mais simples de magnetrons e seu trabalho, e você entenderá por que é uma armadilha (tentarei sem conhecimento científico especial, mas acho que muitos serão contra, pois alguns pontos não podem ser explicados sem isso, mas tentarei).

Uma descarga de brilho clássica acende a corrente constante, e a corrente flui do ânodo para o cátodo. O cátodo é um alvo plano, sob o qual existe um ímã de anel. Os elétrons que voam do cátodo ionizam o gás em um volume, cujos íons caem no alvo, os átomos são nocauteados que novamente colidem com os elétrons, assim sua parte é ionizada ... Em geral, uma avalanche de elétrons é formada, que é torcida por um campo magnético e os impede de voar para longe após colisões, assim, o ímã retém os elétrons e aumenta a formação de átomos que são depositados no substrato, formando assim um filme.

E agora da teoria à prática. Como estou envolvido em várias tecnologias químicas de plasma à pressão atmosférica, depois de algum tempo, também surgiu o interesse pela pressão reduzida. Eu já tinha uma fonte de energia de descarga luminosa; fiz isso há muito tempo. E depois de comprar uma bomba de vácuo, começaram os experimentos que revelaram algumas dificuldades ao trabalhar com pressão reduzida.



Resumindo os resultados desta parte do artigo, podemos dizer que o trabalho está se movendo, uma experiência considerável e conhecimento adicional são obtidos. No momento, o estojo de ferro está pronto, será pintado, após o que a montagem começará.





Não influei deliberadamente o artigo porque muitas perguntas foram abordadas nos comerciais e, se não, nos comentários, tentarei responder a tudo.

Source: https://habr.com/ru/post/pt402197/


All Articles