安装真空金属化VTT 1000“ U”



您好,今天我想告诉您有关现有工厂之一的真空金属化的信息。
在照片中,您可以看到阴极电弧蒸发器的运行过程,该蒸发器会在几分钟内在产品上沉积一层微米的铬膜。
那些想知道它是如何工作的以及为什么我要猫的人(很多照片)




让我们从最显而易见的开始-外部安装的照片和元素的一般描述,对于那些希望在扰流板下有细节的人。

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右边的块是对各个功率元件的控制:磁控管与微波不同),阴极电弧蒸发器,离子清洁单元,带有产品的台式电源单元。

左侧机架包含一台PC,该PC上带有正在发生的事件助记符图,并具有控制过程,电源管理,保险丝盒,重复掺杂气体泄漏流和紧急按钮的能力。
控制助记符图的可能性非常大-包括每个单独的元素(蒸发器,泄漏,工作台旋转等),设置其参数(电流,电压,气体流量),包括冷却和工作台旋转。
它还允许您设置一系列操作并为所需任务创建技术流程,这在操作员维护中非常方便。
唯一的不便是键盘,操作人员原则上不使用键盘,其中右箭头卡住了(在上下文菜单中滚动),并且在选择操作模式时,以自发动作的形式安排了地狱和以色列人,使军人略微变灰。

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相机机身本身足够大,所以我没有完全装入框架。

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如果卸下真空室的门壳
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过一会儿,我们将打开它,看看里面有什么,也看看喷涂过程是如何直接进行的。

现在,我们将绕过安装检查泵组和连接蒸发阴极的安装。

第一个碰到阴极,每边连续三个。这使您可以放置​​六种不同的材料。
它们包括一个磁系统(在灰缸下方-2个用于聚焦和稳定放电的感应线圈),电源线(连接到焊接机和车身上),点火电缆(如在焊接中-接触,点燃电弧然后自行燃烧)和冷却软管。
在门上,您会看到小的固定气瓶-这些是泄漏允许非常精确地计量合金气体,因为将压力保持在一定范围内对于该过程很重要。

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苏联版本仅在观察能力上有所不同
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有关阴极的更多信息
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在它们的正下方是一个制冷分配单元,它不是很引人注目,但是它是全自动的,它使人心温暖,因为如果您忘记打开制冷系统,则会发生事故。

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我们走得更远,看到了安装的核心-泵组。它由三个不同的泵组成,这些泵设计为在不同的压力范围内运行,可以串联组合以相互支持。

Forvacuum泵(旋转叶片)-产生初步真空,使您可以打开下一个泵。

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根泵 -产生已经明显的真空,并允许您定期维护相机。
右边到前排泵的入口,左边到高真空泵的出口。

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好吧,我们展示的明星-扩散泵(有关应用的更多信息),使您可以在掺杂气体入口的条件下为磁控管和阴极的运行创造条件。
在顶部,您可以看到真空百叶窗的气动执行器,可以在装载腔室时切断泵。
在下方稍微看到一个矩形,该矩形是泵中沸腾的油蒸气的陷阱。制冷剂进入疏水阀,对其进行冷却,油蒸气在其上凝结,而没有离开腔室(当然可以离开,但数量可忽略不计)。

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外部检查完成,现在该看看内部了。
颤抖的手惊恐地打开了真空室的门,引起您注意的第一件事是一张桌子,上面固定了需要遮盖的细节。
他装备行星齿轮,使零件绕工作台轴线和其轴线旋转,以获得更均匀的涂层(喷涂后呈蓝色)。

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稍微高一点,我们可以看到正面的阴极。周围的管子是加热元件,可让您在真空中加热室壁以去除水蒸气。
可以看到稍微偏右(但较差)的风门,防止泵喷涂产品

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光阴极
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离子清洁在左侧稍微可见一些-它通过落在产品上的间隙释放一点带电粒子,并对其表面进行一点喷涂以去除杂质并更好地粘附喷涂材料。

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让我们向左看,在门口。磁控管(此处为钛)隐藏在其中。

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为了保护磁控管材料免受阴极溅射产物的影响,可以将它们隐藏在PC控制的百叶窗后面。

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有关磁控管的更多信息
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好吧,在视频过程结束时。




只是一段美丽的工作视频,没有任何解释



应工人要求补充

我们自己做的
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别人做什么
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这种方法的优点是涂层均匀,涂层厚度可达纳米,可以用电介质涂层,材料剧烈组合的可能性以及用于蒸发器设计的许多选择。

您可以通过熟人订购,也可以通过找到此安装的员工来订购。
用上面的照片加工一根杆,其价值增加了​​1000r,我不承担个人的工作成本。

Source: https://habr.com/ru/post/zh-CN385529/


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