, , , FinFET-70 – [John Bardeen and Walter Brattain] – , . , , . – , , , 20- . , , 1950-.
, . , , . – . , , . , , , .
A
IIIB
V, , , , . .
, , .
FinFET , ( – , – ). «» – ., A
IIIB
V . , , . : , . ( --) [CMOS, complementary metal-oxide-semiconductor]. , , , . . , , , FinFET, .
, , , . , , , 2015 , IBM. , . , , , .
XIX . , . , – , . . , , 1946 45 1960- . ; .
. -, , . , , . , . , , .
, – . – . , . – , , – .
-, 2015, , -. : p- FET (pFET), , n- FET (nFET), . , . , , .
, – . A
IIIB
V, , , , . 30 , . , – , . pFET, pFET -, nFETs pFETs.
– . , , Imec IBM,
, nFET A
IIIB
V, pFET – . , .
. , .
| (Si) | (Ge) | (GaAs) | (InAs) | |
| 1.12 | 0.66 | 1.42 | 0.35 | eV |
300 | 1,350 | 3,900 | 8,500 | 40,000 | cm2/(V·s) |
300 K | 450 | 1,900 | 400 | 500 | cm2/(V·s) |
| 1 | 0.6 | 2 | 3.5 | x107 cm/s |
| 0.25 | 0.1 | 0.004 | 0.002 | x106 V/cm |
| 1.5 | 0.58 | 0.5 | 0.27 | W/(cm·K) |
– – , , . , , . – , .
, . .
- (-- – -; metal-oxide-semiconductor field effect transistor — MOSFET). . – ; , ; , , .
. – , . , , , A
IIIB
V, . , , , . , , , . « », , , , , .
: nFET AIIIBV, pFET , .
: , ., , : (SiO
2). , , . SiO
2 , SiO
2 99 999 100 000 – .
A
IIIB
V , – , , . , (GeO
2) , SiO
2, , . , GeO
2 . GeO
2 1-2 , 20 .
. , [Krishna Saraswat], , 2000-,
, , . Imec , .
2011 , [Shinichi Takagi]
. , , . . , , ( , GeO
2). , .

, pFET A
IIIB
V, . , Soitec. , 100 .
, – , – . , .
, . - , . , , . . , – . , nFET, , , .
– . , : . . .
, , . . , .
, , . , . : , . , . .

, , . , nFET, 100 . 2014 VLSI Technology and Circuits nFET, 10 , . , nFET pFET, .
, , FinFET – . , FinFET.
, , . , , . , , . .
, . , , . .
, – . A
IIIB
V, , . .
, , , , , .
, , - . – – , . , , .