安装离子等离子(磁控管)溅射。 第一部分

你好躁动不安。 今天,我们将讨论完全由您自己设计和制造的磁控溅射的安装。



首先,我将简要尝试回答为什么需要这样的安装以及什么是等离子喷涂。

目标是被喷涂的材料。
基材就是喷涂的对象。

这种安装方式可以在基板上形成最薄的导电材料层(主要是金属)。 作为基底,可以使用导电和介电材料。 并且为了使纳米层例如在基板上形成任何金属,首先必须用形成等离子体的离子适当地腐蚀金属;为此,在降低的压力下辉光放电的点火等离子体和磁控管被用作电子的陷阱。



让我们看一下最简单的磁控管方案及其工作,您将了解为什么它是一个陷阱(我会在没有特殊科学知识的情况下尝试,但我认为很多人都会反对它,因为如果没有这些就无法解释某些观点,但我会尝试)。

经典的辉光放电以恒定电流点亮,电流从阳极流向阴极。 阴极是一个平面靶,在其下方有一个环形磁铁。 从阴极飞行的电子将一定体积的气体电离,其中的离子落入目标中,原子被击中并再次与电子碰撞,从而使其部分被电离...通常,形成电子雪崩,其被磁场扭曲并防止碰撞后飞走,由此,磁体保持电子,从而增加沉积在基板上的原子的形成,从而形成膜。

现在从理论到实践。 由于我在大气压下从事各种等离子体化学技术的研究,因此一段时间后人们对减压产生了兴趣。 我已经有了辉光放电电源;很久以前就做到了。 购买真空泵后,开始进行实验,发现在减压下工作时会遇到一些困难。



总结本文这一部分的结果,我们可以说工作在不断发展,获得了可观的经验和更多的知识。 目前,铁制外壳已经准备就绪,将被涂漆,然后开始组装。





我没有刻意给这篇文章加注,因为广告中涵盖了许多问题,如果没有,在评论中我将尽力回答所有问题。

Source: https://habr.com/ru/post/zh-CN402197/


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