PMT-2压力转换器的真空计
嗨，GeekTimes！ 不久前，我开始组装离子-等离子体（磁控管）溅射装置（
第1部分 ）。 在测试和使用安装的过程中，做出了许多决定以对其进行现代化和改进。
这些改进之一是在设备中引入了一个真空计以测量真空深度。 我个人的要求之一是安装的灵活性以及设备中所有组件的位置，因此我不得不放弃外部真空计，例如VIT-2。 除此之外，我还需要观察安装的预算制造，并且购买的真空计还不够便宜。 我选择PMT-2灯作为检测设备，因为我对它的使用经验很少，而且其成本也可以接受。
那么，该仪表转换器如何工作？ PMT-2灯所属的热（热电偶）转换器的工作原理基于气体的分子热导率对其压力的依赖性。 传热发生在室温下，电流从稀薄的金属细丝通过稀有气体加热到真空泵。
在PMT-2热电偶转换器中，将支架（1）固定在玻璃烧瓶中，通过点焊将V形细丝加热器（2）固定在玻璃烧瓶中，在其中点处焊接铂-铂-铑热电偶接头（3）。
恒定电流IH穿过加热丝（2），加热加热电偶结（3），电路中出现热电偶。 由于加热器的温度取决于气体的压力（密度），因此其变化将导致E.D.S. 热电偶由毫伏表（5）测量，灯丝电流IN由变阻器调节，并由设备（6）测量。
PMT-2灯是在HIT下锐化的相当粗的压力表。 密封时校准。 辉光电流以HIT刻度（100格）进行选择-辉光电流。
将灯焊接（切断后，就像一个安瓿瓶），再焊接到真空系统中。
现在让我们继续描述我的真空计的设计：在接收来自灯的读数之前，有必要给灯丝供电并为其施加约100mA（112-116mA）的电流。 为此，需要使用在eBay上购买的调压器，并将其与串联电阻一起连接到灯泡。 由于稳压器在其最低电压值下给出了非常大的电流值，因此我们必须使用电阻器。
真空测量意味着在毫伏范围内的电压测量；为此，所有东西都是从复杂的电子产品在同一交易门户上购买的：Arduino Uno微控制器板，LCD1602模块和16Bit的ADS1115 ADC。
ADC模块具有4个模拟通道，我只使用了一个，将arduino SDA和SCL的输入连接到ADC模块的相应输出。 然后我将热电偶连接到模块的端子GND和A0。
至此，整个连接结束，您可以继续进行固件描述（草图）：
#include <LiquidCrystal.h> #include <EEPROM.h> #include <Wire.h> #include <Adafruit_ADS1015.h> Adafruit_ADS1115 ads; LiquidCrystal lcd(8, 9, 4, 5, 6, 7); long val = 0; long zero = 0; int V = 0; int F = 0; int Time = 100; void setup() { lcd.begin(16, 2); Serial.begin(9600); lcd.setCursor(0,0); lcd.print("CybSys presents"); // // ads.setGain(GAIN_TWOTHIRDS); // 2/3x gain +/- 6.144V 1 bit = 3mV 0.1875mV (default) // ads.setGain(GAIN_ONE); // 1x gain +/- 4.096V 1 bit = 2mV 0.125mV // ads.setGain(GAIN_TWO); // 2x gain +/- 2.048V 1 bit = 1mV 0.0625mV // ads.setGain(GAIN_FOUR); // 4x gain +/- 1.024V 1 bit = 0.5mV 0.03125mV // ads.setGain(GAIN_EIGHT); // 8x gain +/- 0.512V 1 bit = 0.25mV 0.015625mV ads.setGain(GAIN_SIXTEEN); // 16x gain +/- 0.256V 1 bit = 0.125mV 0.0078125mV ads.begin(); } void loop() { int16_t adc0; lcd.setCursor(0,0); lcd.print("Press: "); lcd.setCursor(0,1); lcd.print("Vol:"); adc0 = ads.readADC_SingleEnded(0); float voltage = (adc0 * (0.256/32767.5))*1000; float pres = 2.217*exp(-voltage/0.3134)+0.175*exp(-voltage/1.97)+543.59*exp(- voltage/211689.45)+(-543.57); lcd.setCursor(7,0); lcd.print(pres,5); lcd.setCursor(5,1); lcd.print (voltage,5); Serial.print("Vol:"); Serial.println(voltage, 5); delay(200); }
固件文本既不复杂也不大，因为主要使用库函数。 主要困难仅在将电压值转换为压力值时出现，因为这种依赖性不是线性的。
该校准依赖性被数字化并暴露，从而获得公式，根据该公式可以非常精确地计算出减压。
视频设备操作：
至于我的项目的进一步实施，我想将泵从设备内部扔掉，同样的容量还不够，它占用了很多空间，而是出现了磁控管冷却系统（带有冷却器和泵的散热器，可能还有很小的密封体积的冷却液）。 我想用普通的真空增强管代替软管（它们不是很贵）。 当然，您需要使用灯（至少与PMT-2相同）来构建真空测量系统。 可能是最困难的事情：实现普通底座（现在我拥有纺织用）和磁控管，我想从铝上实现所有这些功能，因为带帽的配套底座平面应打磨（这不适用于纺织用），并且磁控管仍不会重做我想打扰不锈钢，我将在
数控龙门架上加工硬铝的几乎所有零件
，我也要组装。 我还想从LATR扔掉白色磁盘，而是放入驱动器（例如SD），并从仪表板控制电位计。 并且在很遥远的将来，完全摆脱LATR。