荷兰的ASML公司是半导体行业最大的光刻系统供应商，它接管了另一家荷兰的Mapper Lithography公司。
Mapper Lithography成立于2000年，试图将另一种光刻技术推向市场：多个电子束直接书写工具，其中有13,000多个电子束并行运行。 但是，将近20年之后，他们未能成功向市场提供生产级工具。 投资者在2018年终止了该计划，并于2018年12月28日宣布Mapper光刻术破产。
有几家公司有意接管破产的Mapper光刻技术，其中一些公司打算继续开发多种电子束图案化技术，另一家公司则有兴趣将Mapper光刻技术用于不同目的（例如电子束检查）。 ASML极有可能对后者感兴趣，于2019年1月中标并接管了Mapper Lithography。
应当指出的是，Mapper Lithography拥有俄罗斯莫斯科
MEMS工厂Mapper LLC，该工厂于2018年下半年出售给Rusnano。MapperLLC继续作为独立的MEMS铸造厂运营。